下载宽温域自润滑MoN-VN多层涂层的制备方法及应用的技术资料

文档序号:24598207

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本发明公开了一种宽温域自润滑MoN‑VN多层涂层的制备方法及其应用,所述多层涂层由MoN和VN交替叠加组成,该制备方法是在氮气环境中,利用磁控溅射技术,通过调控基底样品的转速,制备出具有不同调制周期的MoN/VN多层涂层,与现有技术相比,通...
该专利属于江苏金晟元特种阀门股份有限公司;中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过江苏金晟元特种阀门股份有限公司;中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。

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