【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带着具有主延伸平面的衬底的转速传感器，用于转速传感器的制造方法
本专利技术涉及一种根据权利要求1的前序部分的转速传感器。
技术介绍
这种转速传感器是专门的微机电系统(MEMS)，通过该微机电系统可以测量转速。典型地，在基于硅的衬底上制造这种传感器。尤其地，在汽车应用中经常使用转速传感器，所述转速传感器典型地可以测量围绕仅一个轴的转速。由现有技术也已知用于汽车应用的双轴的转速传感器。然而由现有技术已知的传感器具有以下缺点：不能以高精度并且以高可靠性/稳固性实现会沿不同的方向起作用的转速的测量。
技术实现思路
本专利技术的任务是，提出一种转速传感器，该转速传感器允许围绕三个轴线的转速测量并且同时相对于外部的直线和/或旋转加速度是稳固的，以便尤其确保有利的可靠性/安全性。根据主权利要求的根据本专利技术的转速传感器相对于现有技术具有以下优点：转速传感器具有传感器组件，其中，传感器组件构造成用于探测垂直于衬底的主延伸平面起作用的转速，其中，构造成用于探测沿衬底的第一主延伸轴线和衬底的垂直于第一主延伸...
【技术保护点】
1.转速传感器(1)，该转速传感器带着具有主延伸平面(100、200)的衬底，其中，所述转速传感器(1)包括旋转元件组件(10、20)，其中，所述旋转元件组件(10、20)构造成用于探测沿所述衬底的第一主延伸轴线(100)起作用的转速和沿所述衬底的垂直于所述第一主延伸轴线(100)的第二主延伸轴线(200)起作用的转速，其特征在于，所述转速传感器(1)具有传感器组件(40)，其中，所述传感器组件(40)构造成用于探测所述衬底的垂直于所述主延伸平面(100、200)起作用的转速，其中，所述传感器组件(40)和所述旋转元件组件(10、20)都能够借助于驱动组件(30)被驱动，其...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171109 DE 102017219933.41.转速传感器(1)，该转速传感器带着具有主延伸平面(100、200)的衬底，其中，所述转速传感器(1)包括旋转元件组件(10、20)，其中，所述旋转元件组件(10、20)构造成用于探测沿所述衬底的第一主延伸轴线(100)起作用的转速和沿所述衬底的垂直于所述第一主延伸轴线(100)的第二主延伸轴线(200)起作用的转速，其特征在于，所述转速传感器(1)具有传感器组件(40)，其中，所述传感器组件(40)构造成用于探测所述衬底的垂直于所述主延伸平面(100、200)起作用的转速，其中，所述传感器组件(40)和所述旋转元件组件(10、20)都能够借助于驱动组件(30)被驱动，其中，所述驱动组件(30)构造成用于沿着所述第一主延伸轴线(100)驱动运动。
2.根据权利要求1所述的转速传感器(1)，其中，所述旋转元件组件(10、20)包括第一旋转元件(10)和第二旋转元件(20)，其中，所述第一旋转元件(10)能够借助于所述驱动组件(30)围绕第一旋转轴被驱动，其中，所述第二旋转元件(20)能够借助于所述驱动组件(30)围绕第二旋转轴被驱动，其中，所述第一旋转轴垂直于所述主延伸平面(100、200)地布置，其中，所述第二旋转轴垂直于所述主延伸平面(100、200)地布置。
3.根据前述权利要求中任一项所述的转速传感器(1)，其中，所述传感器组件(40)包括第一质量(41)、第二质量(42)和第三质量(43)，其中，所述第一质量和所述第二质量(41、42)构造成至少部分地在所述驱动运动期间同向地运动，其中，所述第三质量(43)构造成至少部分地在所述驱动运动期间相对于所述第一质量和所述第二质量(41、42)的运动反向地运动，其中，所述第三质量(43)尤其沿平行于所述衬底的所述第二主延伸轴线(200)的方向布置在所述第一质量(41)和所述第二质量(42)之间。
4.根据权利要求3所述的转速传感器(1)，其中，所述第一质量(41)配属有所述驱动组件(30)的第一驱动结构(31)，其中，所述第一驱动结构(31)与所述第一旋转元件(10)机械连接，其中，所述第二质量(42)配属有所述驱动组件(30)的第二驱动结构(32)，其中，所述第二驱动结构(32)与所述第二旋转元件(20)机械连接。
5.根据权利要求3或4中任一项所述的转速传感器(1)，其中，所述第三质量(43)配属有所述驱动组件(30)的第三驱动结构(33)。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：R·诺伊，A·拉斯尔，B·库尔曼，P·德根费尔德舍恩堡，N·F·库尔曼，JT·利韦德，N·博德，M·屈内尔，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE
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