【技术实现步骤摘要】
一种可光交联的聚酰亚胺树脂
本专利技术涉及负性光刻胶领域,尤其涉及一类光交联型的聚酰亚胺树脂(PSPI)结构及其制备方法。
技术介绍
近年来,聚酰亚胺由于具备优异的性能而被广泛的用于塑料工程、航天和微电子等领域。其中,感光型聚酰亚胺(PSPI)在光刻领域倍受重视,尤其是没有添加光引发剂和增感剂的自增感体系,因为,自增感型感光聚酰亚胺体系光交联后没有低分子量的小分子残留,因此,不会影响光刻胶的力学性能、电性能和热性能等等。自从J.Pfeifer在1985年首次报道了由酮酐(BTDA)合成的自增感聚酰亚胺,以后的研究人员一直在致力于提高自增感型聚酰亚胺的感光灵敏度。因为,聚酰亚胺主链高度刚性,不易发生链运动而产生光化学反应,因此,酮基在主链上必定会限制聚酰亚胺的感光灵敏度。自增感的负性光敏型聚酰亚胺一直以来备受研究人员的关注,比如申请号为CN200610020873.4、CN200610023217.X和CN02137747.2的专利都是围绕增感这个主题展开的。本专利技术则是为了保有二苯甲酮型PSPI的自感光特性 ...
【技术保护点】
1.一种可光交联型聚酰亚胺树脂及其制备方法,其特征在于其侧基含有二苯甲酮结构,所述负性光敏聚酰亚胺树脂的化学结构式如下:/n
【技术特征摘要】
1.一种可光交联型聚酰亚胺树脂及其制备方法,其特征在于其侧基含有二苯甲酮结构,所述负性光敏聚酰亚胺树脂的化学结构式如下:
其中Ar1是二酐单体片段,Ar2是含有活泼氢的二胺单体片段,x=0.1-0.9,n=5-200。
2.其中亚胺环可以均在醚键的对位或均在醚键的间位。
3.进一步地,所述Ar1型二酐单体包括但不限于以下6种:
式中,Ar1=,,,,,。
4.所述Ar2型二胺单体包括但不限于以下8种:
Ar2=,,,,
,,,。
5.如权利要求1中所述的可光交联的聚酰亚胺树脂,其特征在于光敏基团酮羰基在聚酰亚胺骨架的侧基上,其中基团Q可以是:氢原子-H,苯基,甲基-CH3,甲氧基-OCH3,联苯基,等。
6.如权利要求1中所述的可光交联的聚酰亚胺树脂,其制备方法包括如下步骤:
在氮气保护下向干燥的三颈瓶中依次加入侧基含有二苯甲酮结构的二胺单体、含有可夺取的活泼氢的二胺单体、二酐单体和有机溶剂,室温下搅拌2-12小时,然后,向反应瓶中缓慢滴加三乙胺和乙酸酐的混合物,并在室温下继续反应4-18小时。
7.反应结束后,将所得到的高度粘稠的聚合物溶液缓慢倒入大量甲醇中,析出的固体用甲醇充分洗涤,放入真空烘箱中干燥5小时。
8.或在...
【专利技术属性】
技术研发人员:不公告发明人,
申请(专利权)人:上海极紫科技有限公司,
类型:发明
国别省市:上海;31
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