一种传样夹具制造技术

一种传样夹具，其特征在于：包括手柄、第一夹瓣及第二夹瓣，其中：所述第一夹瓣及第二夹瓣设于手柄上；所述第一夹瓣上至少设有两个夹持点，分别为第一夹持点及第二夹持点；所述第二夹瓣上至少设有三个夹持点，且三个夹持点确定一个夹持面，三个夹持点分别为第四夹持点、第五夹持点及第六夹持点；在夹持状态下，所述第一夹持点及第二夹持点与所述夹持面之间对应于待夹持件构成一夹持空间，且第一夹持点及第二夹持点分别位于夹持面中心的两侧；所述第一夹瓣和第二夹瓣之间相对活动设置，以此能够彼此相互靠近及远离。本实用新型专利技术提高了夹持的稳定性，大大降低了夹取传送过程中待夹持件晃动甚至掉落的风险，并且有效减少夹具对待夹持件产生的磨损。

A kind of sample transfer fixture

【技术实现步骤摘要】
一种传样夹具
本技术涉及半导体制备领域，尤其涉及一种传样夹具，用于加工过程中样品的传送。
技术介绍
微纳加工和制备过程中，具有超高的真空度（≥10-10Torr）真空的设备，与大气环境相比，具有较低的氧气和水分以及其他粉尘颗粒等污染物含量，并且以其稳定的密封性和良好的高真空环境为样品的制备，储存，工艺操作提供良好的洁净条件，防止样品的污染。因此保证真空设备的密封环境和洁净度是在微纳加工中防止污染的根本所在，然而在使用超高真空设备进行微纳加工过程中，能够引起设备真空污染的因素有很多，其中主要的是传样过程引起的污染，因为传样过程将样品在外部环境和超高真空环境中取放，是必不可少的，同时也是频繁操作的。在进行样品传递过程中，样品或者其他传样设备掉落至真空腔体内，则会引起真空密封性变差或者引起真空腔体污染。如何防止样品或者其他配件在传样过程中掉落，使得整个传样过程更加稳定，是降低真空腔体污染的关键步骤。现有技术中，针对于样品的传递，是通过长柄尖嘴镊子进行夹取传放，直接用尖嘴镊子夹取时，往往直接夹取样品中心，直接对样品施力，这样容易使得一些本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种传样夹具，其特征在于：包括手柄（3）、第一夹瓣（1）及第二夹瓣（2），其中：/n所述第一夹瓣（1）及第二夹瓣（2）设于手柄（3）上；/n所述第一夹瓣（1）上至少设有两个夹持点，分别为第一夹持点及第二夹持点；/n所述第二夹瓣（2）上至少设有三个夹持点，且三个夹持点确定一个夹持面；/n在夹持状态下，所述第一夹持点及第二夹持点与所述夹持面之间对应于待夹持件（6）构成一夹持空间，且第一夹持点及第二夹持点分别位于夹持面中心的两侧，在第一夹持点和第二夹持点之间对应于待夹持件形成有窗口（12）；/n所述第一夹瓣（1）和第二夹瓣（2）之间相对活动设置，以此能够彼此相互靠近及远离。/n

【技术特征摘要】
1.一种传样夹具，其特征在于：包括手柄（3）、第一夹瓣（1）及第二夹瓣（2），其中：
所述第一夹瓣（1）及第二夹瓣（2）设于手柄（3）上；
所述第一夹瓣（1）上至少设有两个夹持点，分别为第一夹持点及第二夹持点；
所述第二夹瓣（2）上至少设有三个夹持点，且三个夹持点确定一个夹持面；
在夹持状态下，所述第一夹持点及第二夹持点与所述夹持面之间对应于待夹持件（6）构成一夹持空间，且第一夹持点及第二夹持点分别位于夹持面中心的两侧，在第一夹持点和第二夹持点之间对应于待夹持件形成有窗口（12）；
所述第一夹瓣（1）和第二夹瓣（2）之间相对活动设置，以此能够彼此相互靠近及远离。


2.根据权利要求1所述的传样夹具，其特征在于：所述第一夹瓣（1）包括两根夹持杆（11），两夹持杆（11）位于同一平面上，所述第一夹持点与第二夹持点分别位于两夹持杆上，两夹持杆之间形成所述窗口（12）。


3.根据权利要求2所述的传样...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘中华，李颖，杨国文，赵卫东，张艳春，张继宇，沈佳铌，
申请(专利权)人：度亘激光技术苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32