【技术实现步骤摘要】
一种阳极封孔堵头及其密封方法
本专利技术涉及半导体装备领域,具体涉及一种阳极封孔堵头技术。
技术介绍
阳极封孔是常用的表面处理方法,对于在工件上已经加工好的盲孔,为了保证其才尺寸精度,必须在阳极封孔时采取措施堵住盲孔。现有的硅胶堵头在工件的阳极封孔过程中容易脱落,导致盲孔失去加工精度,严重时甚至会产生废品。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种阳极封孔堵头及其密封方法,以使盲孔获得可靠的密封效果。为了解决以上技术问题,本专利技术采用的具体技术方案如下:一种阳极封孔堵头,包括升封盖(1)、堵头(2)、内塞(3)、弹簧(4)和挡块(5);其特征在于:封盖(1)覆盖在堵头(2)的左端;堵头(2)的密封面(22)为圆锥面,密封面(22)的锥度为1:6,堵头(2)内部开设有圆锥孔(21),圆锥孔(21)的锥度为1:9;内塞(3)的圆锥面(31)与堵头(2)的圆锥孔(21)相配合,圆锥面(31)的锥度为1:9;内塞(3)的右端通过弹簧(4)与挡块(5)相连,弹簧(4)内有预紧拉力;挡块(5)开设有透气孔(51);堵头(2)安装在工件(6)的盲孔(61)内。所述的堵头(2)为硅胶材料制成。所述的内塞(3)为铝合金材料制成。一种阳极封孔堵头的密封方法,包括下列步骤:步骤一:将堵头(2)右侧的封盖(1)移除;步骤二:将堵头(2)塞入工件(6)的盲孔(61)内;步骤三:将内塞(3)向右移动5mm;步骤四:保持内塞(3)的位置,使用真 ...
【技术保护点】
1.一种阳极封孔堵头,包括升封盖(1)、堵头(2)、内塞(3)、弹簧(4)和挡块(5),其特征在于还包括:封盖(1)覆盖在堵头(2)的左端;堵头(2)的密封面(22)为圆锥面,密封面(22)的锥度为1:6,堵头(2)内部开设有圆锥孔(21),圆锥孔(21)的锥度为1:9;内塞(3)的圆锥面(31)与堵头(2)的圆锥孔(21)相配合,圆锥面(31)的锥度为1:9;内塞(3)的右端通过弹簧(4)与挡块(5)相连,弹簧(4)内有预紧拉力;挡块(5)开设有透气孔(51);堵头(2)安装在工件(6)的盲孔(61)内。/n
【技术特征摘要】
1.一种阳极封孔堵头,包括升封盖(1)、堵头(2)、内塞(3)、弹簧(4)和挡块(5),其特征在于还包括:封盖(1)覆盖在堵头(2)的左端;堵头(2)的密封面(22)为圆锥面,密封面(22)的锥度为1:6,堵头(2)内部开设有圆锥孔(21),圆锥孔(21)的锥度为1:9;内塞(3)的圆锥面(31)与堵头(2)的圆锥孔(21)相配合,圆锥面(31)的锥度为1:9;内塞(3)的右端通过弹簧(4)与挡块(5)相连,弹簧(4)内有预紧拉力;挡块(5)开设有透气孔(51);堵头(2)安装在工件(6)的盲孔(61)内。
2.根据权利要求1所述的一种阳极封孔堵头,其特征在于:所述的堵头(2)为硅胶材料制...
【专利技术属性】
技术研发人员:程石涛,牛建新,戴峰泽,叶云霞,任旭东,
申请(专利权)人:托伦斯半导体设备启东有限公司,江苏大学,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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