一种阳极封孔堵头及其密封方法技术

本发明专利技术公开了一种阳极封孔堵头其密封方法，具体为一种真空插板开关阀的密封结构，包括升降轴、气缸、阀门、密封垫和阀体；升降轴上安装有四个气缸；气缸的活动端安装有阀门；阀门的右端加工有燕尾止口；阀门的右端安装有密封圈，密封圈的密封面为平面型密封面；阀体的左端设有微织构密封面；密封状态时，密封圈的平面型密封面与阀体的微织构密封面相接触；四个气缸均匀分布于阀门的四个角点，且正对于密封圈。本发明专利技术大幅度提高了真空插板开关阀的密封效果和可靠性，可应用于半导体刻蚀反应腔的密封。

An anode sealing head and its sealing method

【技术实现步骤摘要】
一种阳极封孔堵头及其密封方法
本专利技术涉及半导体装备领域，具体涉及一种阳极封孔堵头技术。
技术介绍
阳极封孔是常用的表面处理方法，对于在工件上已经加工好的盲孔，为了保证其才尺寸精度，必须在阳极封孔时采取措施堵住盲孔。现有的硅胶堵头在工件的阳极封孔过程中容易脱落，导致盲孔失去加工精度，严重时甚至会产生废品。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种阳极封孔堵头及其密封方法，以使盲孔获得可靠的密封效果。为了解决以上技术问题，本专利技术采用的具体技术方案如下：一种阳极封孔堵头，包括升封盖(1)、堵头(2)、内塞(3)、弹簧(4)和挡块(5)；其特征在于：封盖(1)覆盖在堵头(2)的左端；堵头(2)的密封面(22)为圆锥面，密封面(22)的锥度为1：6，堵头(2)内部开设有圆锥孔(21)，圆锥孔(21)的锥度为1：9；内塞(3)的圆锥面(31)与堵头(2)的圆锥孔(21)相配合，圆锥面(31)的锥度为1：9；内塞(3)的右端通过弹簧(4)与挡块(5)相连，弹簧(4)内有预紧拉力；挡块(5)开设有透气孔(5本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种阳极封孔堵头，包括升封盖(1)、堵头(2)、内塞(3)、弹簧(4)和挡块(5)，其特征在于还包括：封盖(1)覆盖在堵头(2)的左端；堵头(2)的密封面(22)为圆锥面，密封面(22)的锥度为1：6，堵头(2)内部开设有圆锥孔(21)，圆锥孔(21)的锥度为1：9；内塞(3)的圆锥面(31)与堵头(2)的圆锥孔(21)相配合，圆锥面(31)的锥度为1：9；内塞(3)的右端通过弹簧(4)与挡块(5)相连，弹簧(4)内有预紧拉力；挡块(5)开设有透气孔(51)；堵头(2)安装在工件(6)的盲孔(61)内。/n

【技术特征摘要】
1.一种阳极封孔堵头，包括升封盖(1)、堵头(2)、内塞(3)、弹簧(4)和挡块(5)，其特征在于还包括：封盖(1)覆盖在堵头(2)的左端；堵头(2)的密封面(22)为圆锥面，密封面(22)的锥度为1：6，堵头(2)内部开设有圆锥孔(21)，圆锥孔(21)的锥度为1：9；内塞(3)的圆锥面(31)与堵头(2)的圆锥孔(21)相配合，圆锥面(31)的锥度为1：9；内塞(3)的右端通过弹簧(4)与挡块(5)相连，弹簧(4)内有预紧拉力；挡块(5)开设有透气孔(51)；堵头(2)安装在工件(6)的盲孔(61)内。


2.根据权利要求1所述的一种阳极封孔堵头，其特征在于：所述的堵头(2)为硅胶材料制...

【专利技术属性】
技术研发人员：程石涛，牛建新，戴峰泽，叶云霞，任旭东，
申请(专利权)人：托伦斯半导体设备启东有限公司，江苏大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32