【技术实现步骤摘要】
装置、方法、介质、感光性树脂组合物及层叠体制造方法
本专利技术涉及装置、方法、程序、感光性树脂组合物的制造方法和感光性树脂层叠体的制造方法。
技术介绍
迄今，在制造感光性树脂组合物的情况下，为了获得所期望的特性，通过熟练的操作员的反复试验来找出优选的组成(例如参见专利文献1)。专利文献1：日本特开2017-114080号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，通过反复试验来得到组成的效率差。用于解决问题的方案为了解决上述问题，在本专利技术的第1方式中提供一种装置。装置可以具备组成获取部，该组成获取部获取表示感光性树脂组合物的组成的组成数据。装置可以具备特性获取部，该特性获取部获取表示感光性树脂组合物的特性的特性数据。装置可以具备学习处理部，该学习处理部使用包括所获取到的组成数据和特性数据的学习数据，来执行模型的学习处理，所述模型用于响应于输入了表示作为目标的感光性树脂组合物的特性的目标特性数据，来输出表示所推荐的感光性树脂组合物的组成的推荐组成数据。在本专利技...
【技术保护点】
1.一种装置，其特征在于，具备：/n组成获取部，其获取表示感光性树脂组合物的组成的组成数据；/n特性获取部，其获取表示所述感光性树脂组合物的特性的特性数据；以及/n学习处理部，其使用包括所获取到的所述组成数据和所述特性数据的学习数据，来执行模型的学习处理，所述模型用于响应于输入了表示作为目标的感光性树脂组合物的特性的目标特性数据，来输出表示所推荐的感光性树脂组合物的组成的推荐组成数据。/n
【技术特征摘要】
20181109 JP 2018-2118051.一种装置，其特征在于，具备：
组成获取部，其获取表示感光性树脂组合物的组成的组成数据；
特性获取部，其获取表示所述感光性树脂组合物的特性的特性数据；以及
学习处理部，其使用包括所获取到的所述组成数据和所述特性数据的学习数据，来执行模型的学习处理，所述模型用于响应于输入了表示作为目标的感光性树脂组合物的特性的目标特性数据，来输出表示所推荐的感光性树脂组合物的组成的推荐组成数据。
2.一种装置，其特征在于，具备：
目标特性获取部，其获取表示作为目标的感光性树脂组合物的特性的目标特性数据；
目标特性供给部，其向模型供给由所述目标特性获取部获取到的所述目标特性数据，所述模型用于响应于输入了所述目标特性数据来输出表示所推荐的感光性树脂组合物的组成的推荐组成数据；以及
推荐组成获取部，其获取响应于向所述模型供给了所述目标特性数据而由所述模型输出的所述推荐组成数据。
3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，
所述感光性树脂组合物为薄膜状。
4.根据权利要求1～3中的任一项所述的装置，其特征在于，
所述感光性树脂组合物用于金属布线形成。
5.根据权利要求1～4中的任一项所述的装置，其特征在于，
所述感光性树脂组合物的所述组成为：
碱溶性高分子、含烯属不饱和键化合物、光聚合引发剂、具有含可酸解基团的重复单元的树脂、酚醛树脂、光酸产生剂、溶解抑止剂、敏化剂、阻聚剂、密合剂以及增塑剂中的至少1种的有无，
碱溶性高分子、含烯属不饱和键化合物、光聚合引发剂、具有含可酸解基团的重复单元的树脂、酚醛树脂、光酸产生剂、溶解抑止剂、敏化剂、阻聚剂、密合剂以及增塑剂中的至少1种所含有的化合物，或者，
碱溶性高分子、含烯属不饱和键化合物、光聚合引发剂、具有含可酸解基团的重复单元的树脂、酚醛树脂、光酸产生剂、溶解抑止剂、敏化剂、阻聚剂、密合剂以及增塑剂中的至少1种所含有的化合物的含有比例。
6.根据权利要求1～5中的任一项所述的装置，其特征在于，
所述感光性树脂组合物的所述特性为：
所述感光性树脂组合物的膜厚、最短显影时间、对光的灵敏度、透射性、分辨率、最小的抗蚀剂线宽、与基板的密合性、显影液发泡性、显影液凝聚性、熔边特性、固化膜柔软性、与基膜或覆盖膜的粘性、色相稳定性、剥离时间、剥离片尺寸以及遮盖性中的至少1个。
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