装置、方法、介质、感光性树脂组合物及层叠体制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供装置、方法、介质、感光性树脂组合物及层叠体制造方法，以解决通过反复试验得到组成的效率差这一问题。本发明专利技术提供的装置具备：组成获取部，其获取表示感光性树脂组合物的组成的组成数据；特性获取部，其获取表示感光性树脂组合物的特性的特性数据；以及学习处理部，其使用包括所获取到的组成数据和特性数据的学习数据，来执行模型的学习处理，所述模型用于响应于输入了表示作为目标的感光性树脂组合物的特性的目标特性数据，来输出表示所推荐的感光性树脂组合物的组成的推荐组成数据。

Device, method, medium, photosensitive resin composition and manufacturing method of lamination

【技术实现步骤摘要】
装置、方法、介质、感光性树脂组合物及层叠体制造方法
本专利技术涉及装置、方法、程序、感光性树脂组合物的制造方法和感光性树脂层叠体的制造方法。
技术介绍
迄今，在制造感光性树脂组合物的情况下，为了获得所期望的特性，通过熟练的操作员的反复试验来找出优选的组成(例如参见专利文献1)。专利文献1：日本特开2017-114080号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，通过反复试验来得到组成的效率差。用于解决问题的方案为了解决上述问题，在本专利技术的第1方式中提供一种装置。装置可以具备组成获取部，该组成获取部获取表示感光性树脂组合物的组成的组成数据。装置可以具备特性获取部，该特性获取部获取表示感光性树脂组合物的特性的特性数据。装置可以具备学习处理部，该学习处理部使用包括所获取到的组成数据和特性数据的学习数据，来执行模型的学习处理，所述模型用于响应于输入了表示作为目标的感光性树脂组合物的特性的目标特性数据，来输出表示所推荐的感光性树脂组合物的组成的推荐组成数据。在本专利技术的第2方式中提供一种装置。装置可以具备目标特性获取部，该目标特性获取部获取表示作为目标的感光性树脂组合物的特性的目标特性数据。装置可以具备目标特性供给部，该目标特性供给部向模型供给由目标特性获取部获取到的目标特性数据，所述模型用于响应于输入了目标特性数据来输出表示所推荐的感光性树脂组合物的组成的推荐组成数据。装置可以具备推荐组成获取部，该推荐组成获取部获取响应于向模型供给了目标特性数据而由模型输出的推荐组成数据。在本专利技术的第3方式中提供一种方法。方法可以包括如下的组成获取阶段：获取表示感光性树脂组合物的组成的组成数据。方法可以包括如下的特性获取阶段：获取表示感光性树脂组合物的特性的特性数据。方法可以包括如下的学习处理阶段：使用包括所获取到的组成数据和特性数据的学习数据，来执行模型的学习处理，所述模型用于响应于输入了表示作为目标的感光性树脂组合物的特性的目标特性数据，来输出表示所推荐的感光性树脂组合物的组成的推荐组成数据。在本专利技术的第4方式中提供一种方法。方法可以包括如下的目标特性获取阶段：获取表示作为目标的感光性树脂组合物的特性的目标特性数据。方法可以包括如下的目标特性供给阶段：向模型供给通过目标特性获取阶段获取到的目标特性数据，所述模型用于响应于输入了目标特性数据来输出表示所推荐的感光性树脂组合物的组成的推荐组成数据。方法可以包括如下的推荐组成获取阶段：获取响应于向模型供给了目标特性数据而由模型输出的推荐组成数据。在本专利技术的第5方式中提供一种感光性树脂组合物的制造方法。制造方法可以包括如下阶段：基于通过第4方式的方法获取到的推荐组成数据，来决定感光性树脂组合物的组成。制造方法可以包括如下阶段：将用于生成感光性树脂组合物的原材料混合。在本专利技术的第6方式中提供一种感光性树脂层叠体的制造方法。制造方法可以包括如下阶段：将通过第5方式的制造方法进行混合而得到的感光性树脂组合物的流体涂布在基膜上。制造方法可以包括如下阶段：在所涂布的感光性树脂组合物上设置覆盖膜。在本专利技术的第7方式中提供一种程序。程序可以使计算机作为组成获取部发挥功能，该组成获取部获取表示感光性树脂组合物的组成的组成数据。程序可以使计算机作为特性获取部发挥功能，该特性获取部获取表示感光性树脂组合物的特性的特性数据。程序可以使计算机作为学习处理部发挥功能，该学习处理部使用包括所获取到的组成数据和特性数据的学习数据，来执行模型的学习处理，所述模型用于响应于输入了表示作为目标的感光性树脂组合物的特性的目标特性数据，来输出表示所推荐的感光性树脂组合物的组成的推荐组成数据。在本专利技术的第8方式中提供一种程序。程序可以使计算机作为目标特性获取部发挥功能，该目标特性获取部获取表示作为目标的感光性树脂组合物的特性的目标特性数据。程序可以使计算机作为目标特性供给部发挥功能，该目标特性供给部向模型供给由目标特性获取部获取到的目标特性数据，所述模型用于响应于输入了目标特性数据来输出表示所推荐的感光性树脂组合物的组成的推荐组成数据。程序可以使计算机作为推荐组成获取部发挥功能，该推荐组成获取部获取响应于向模型供给了目标特性数据而由模型输出的推荐组成数据。在本专利技术的第9方式中提供一种存储介质。存储介质存储有在被计算机执行时实现以下阶段的程序：组成获取阶段，获取表示感光性树脂组合物的组成的组成数据；特性获取阶段，获取表示感光性树脂组合物的特性的特性数据；以及学习处理阶段，使用包括所获取到的组成数据和特性数据的学习数据，来执行模型的学习处理，所述模型用于响应于输入了表示作为目标的感光性树脂组合物的特性的目标特性数据，来输出表示所推荐的感光性树脂组合物的组成的推荐组成数据。在本专利技术的第10方式中提供一种存储介质。存储介质存储有在被计算机执行时实现以下阶段的程序：目标特性获取阶段，获取表示作为目标的感光性树脂组合物的特性的目标特性数据；目标特性供给阶段，向模型供给通过目标特性获取阶段获取到的目标特性数据，所述模型用于响应于输入了目标特性数据来输出表示所推荐的感光性树脂组合物的组成的推荐组成数据；以及推荐组成获取阶段，获取响应于向模型供给了目标特性数据而由模型输出的推荐组成数据。此外，上述的
技术实现思路
并非列举了本专利技术的必要特征的全部。另外，这些特征组的子组合也能够另外构成专利技术。附图说明图1示出本实施方式所涉及的系统1。图2示出模型35的学习方法。图3示出使用了模型35的感光性树脂组合物的制造方法。图4示出干膜100的使用方法。图5示出可以将本专利技术的多个方式整体或局部地具体化的计算机2200的例子。附图标记说明1：系统；2：制造装置；3：学习处理装置；20：混合部；21：生成部；32：组成获取部；33：特性获取部；34：学习处理部；35：模型；36：目标特性获取部；37：目标特性供给部；38：推荐组成获取部；39：控制部；100：干膜；101：覆盖膜；200：基板；201：绝缘板；202：铜箔；203：铜线；300：掩模；2200：计算机；2201：DVD-ROM；2210：主控制器；2212：CPU；2214：RAM；2216：图形控制器；2218：显示器设备；2220：输入/输出控制器；2222：通信接口；2224：硬盘驱动器；2226：DVD-ROM驱动器；2230：ROM；2240：输入/输出芯片；2242：键盘。具体实施方式以下，通过专利技术的实施方式来说明本专利技术，但以下的实施方式并非对权利要求书所涉及的专利技术进行限定。另外，实施方式中所说明的特征的组合未必全部是专利技术的解决方案所必须的。[1.系统]图1示出本实施方式所涉及的系统1。系统1具备感光性树脂组合物的制造装置2和学习处理装置3。感光性树脂组合物可以是光固化性，也可以是光溶解性(光分解性、光软化性)。感光性树脂组合物可以为薄膜状，在该情况下，感光性树脂组合物也被称为干膜。在本实施方式中，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种装置，其特征在于，具备：/n组成获取部，其获取表示感光性树脂组合物的组成的组成数据；/n特性获取部，其获取表示所述感光性树脂组合物的特性的特性数据；以及/n学习处理部，其使用包括所获取到的所述组成数据和所述特性数据的学习数据，来执行模型的学习处理，所述模型用于响应于输入了表示作为目标的感光性树脂组合物的特性的目标特性数据，来输出表示所推荐的感光性树脂组合物的组成的推荐组成数据。/n

【技术特征摘要】
20181109 JP 2018-2118051.一种装置，其特征在于，具备：
组成获取部，其获取表示感光性树脂组合物的组成的组成数据；
特性获取部，其获取表示所述感光性树脂组合物的特性的特性数据；以及
学习处理部，其使用包括所获取到的所述组成数据和所述特性数据的学习数据，来执行模型的学习处理，所述模型用于响应于输入了表示作为目标的感光性树脂组合物的特性的目标特性数据，来输出表示所推荐的感光性树脂组合物的组成的推荐组成数据。


2.一种装置，其特征在于，具备：
目标特性获取部，其获取表示作为目标的感光性树脂组合物的特性的目标特性数据；
目标特性供给部，其向模型供给由所述目标特性获取部获取到的所述目标特性数据，所述模型用于响应于输入了所述目标特性数据来输出表示所推荐的感光性树脂组合物的组成的推荐组成数据；以及
推荐组成获取部，其获取响应于向所述模型供给了所述目标特性数据而由所述模型输出的所述推荐组成数据。


3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，
所述感光性树脂组合物为薄膜状。


4.根据权利要求1～3中的任一项所述的装置，其特征在于，
所述感光性树脂组合物用于金属布线形成。


5.根据权利要求1～4中的任一项所述的装置，其特征在于，
所述感光性树脂组合物的所述组成为：
碱溶性高分子、含烯属不饱和键化合物、光聚合引发剂、具有含可酸解基团的重复单元的树脂、酚醛树脂、光酸产生剂、溶解抑止剂、敏化剂、阻聚剂、密合剂以及增塑剂中的至少1种的有无，
碱溶性高分子、含烯属不饱和键化合物、光聚合引发剂、具有含可酸解基团的重复单元的树脂、酚醛树脂、光酸产生剂、溶解抑止剂、敏化剂、阻聚剂、密合剂以及增塑剂中的至少1种所含有的化合物，或者，
碱溶性高分子、含烯属不饱和键化合物、光聚合引发剂、具有含可酸解基团的重复单元的树脂、酚醛树脂、光酸产生剂、溶解抑止剂、敏化剂、阻聚剂、密合剂以及增塑剂中的至少1种所含有的化合物的含有比例。


6.根据权利要求1～5中的任一项所述的装置，其特征在于，
所述感光性树脂组合物的所述特性为：
所述感光性树脂组合物的膜厚、最短显影时间、对光的灵敏度、透射性、分辨率、最小的抗蚀剂线宽、与基板的密合性、显影液发泡性、显影液凝聚性、熔边特性、固化膜柔软性、与基膜或覆盖膜的粘性、色相稳定性、剥离时间、剥离片尺寸以及遮盖性中的至少1个。


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【专利技术属性】
技术研发人员：内藤一也，
申请(专利权)人：旭化成株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP