【技术实现步骤摘要】
一种CVD金刚石布鲁斯特窗口结构及其制备方法
本专利技术涉及光学器件
,具体为一种CVD金刚石布鲁斯特窗口结构及其制备方法。
技术介绍
金刚石俗称“金刚钻”。也就是我们常说的钻石的原身,它是一种由碳元素组成的矿物,是碳元素的同素异形体。金刚石是自然界中天然存在的最坚硬的物质。金刚石的用途非常广泛,例如:工艺品、工业中的切割工具。石墨可以在高温、高压下形成人造金刚石。也是贵重宝石。而布鲁斯特窗口就是利用金刚石加工而成,目前,传统的布鲁斯特窗口结构无法耐受过高激光功率密度。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足,本专利技术提供了一种CVD金刚石布鲁斯特窗口结构及其制备方法,具备能够承受较大的激光功率密度等优点,解决了传统的布鲁斯特窗口结构无法耐受过高激光功率密度的问题。(二)技术方案为实现上述能够承受较大的激光功率密度的目的,本专利技术提供如下技术方案:一种CVD金刚石布鲁斯特窗口结构,包括CVD金刚石,其特征在于:所述CVD金刚石为直径12.7mm,且高 ...
【技术保护点】
1.一种CVD金刚石布鲁斯特窗口结构,包括CVD金刚石,其特征在于:所述CVD金刚石为直径12.7mm,且高度不小于15mm的圆柱体单晶CVD金刚石,所述CVD金刚石的底面为(100)晶面。所述CVD金刚石上切割有布鲁斯特窗口第一平面和布鲁斯特窗口第二平面,所述布鲁斯特窗口第一平面和布鲁斯特窗口第二个平面均为完整的椭圆形,所述布鲁斯特窗口第一平面为沿与底面成65°角的一个平面切割CVD金刚石加工而成,所述布鲁斯特窗口第二个平面为布鲁斯特窗口第一平面沿圆柱体轴线平移2.0mm切割而成。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种CVD金刚石布鲁斯特窗口结构,包括CVD金刚石,其特征在于:所述CVD金刚石为直径12.7mm,且高度不小于15mm的圆柱体单晶CVD金刚石,所述CVD金刚石的底面为(100)晶面。所述CVD金刚石上切割有布鲁斯特窗口第一平面和布鲁斯特窗口第二平面,所述布鲁斯特窗口第一平面和布鲁斯特窗口第二个平面均为完整的椭圆形,所述布鲁斯特窗口第一平面为沿与底面成65°角的一个平面切割CVD金刚石加工而成,所述布鲁斯特窗口第二个平面为布鲁斯特窗口第一平面沿圆柱体轴线平移2.0mm切割而成。
2.一种CVD金刚石布鲁斯特窗口制备方法,包括以下步骤:
S1:制备CVD金刚石晶体:所述CVD金刚石晶体采用大面积的热丝直流等离子体制备方法进行制备;
S2:切割CVD金刚石晶体:对所述S1步骤中的CVD金刚石晶体进行切割加工,将布鲁斯特窗口第一平面和布鲁斯特窗口第二平面切割成型。
S3:打磨CVD金刚石晶体:对所述S2步骤中加工出的平面进行打磨,并对切割的每片金刚石单晶进行表面抛光和加工;
技术研发人员:赵芬霞,刘宏明,
申请(专利权)人:湖州中芯半导体科技有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江;33
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