【技术实现步骤摘要】
一种夹持机构及电镀装置
本技术涉及夹具的
，具体涉及一种夹持机构及电镀装置。
技术介绍
在电镀行业中，需要对板材上电镀所需厚度的金属层，需要通过夹持机构将板材夹持住，并将板材悬空在相应的电镀槽内，使电镀槽内溶液中的金属离子电镀在板材的表面上。比如，对表面上附有导电层的硅片进行电镀金属铜，或者对线路板表面上进行电镀铜等。现有的夹持机构大多数如图1所示的结构，其包括第一夹框1a和第二夹框2a，第一夹框和第二夹框的一端通过合页3a铰接连接，第一夹框和第二夹框均能够朝向二者相互靠近方向转动，以使得第一夹框与第二夹框重叠并且相互面对的表面之间形成夹持区域，以将板材的边缘夹持在第一夹框和第二夹框正对的表面之间，再采用锁紧件将第一夹框和第二夹框锁紧；相反，松开锁紧件，第一夹框和第二夹框均能够朝向二者相互远离方向转动，以使第一夹框与第二夹框分离，实现将板材从夹持区域取出。但是，该夹持机构在夹持板材时，第一夹框与第二夹框之间形成的夹紧力不易过大，否则容易在板材上形成应力集中，会损伤板材表面，甚至引起板材易碎的现象发生；该...
【技术保护点】
1.一种夹持机构，其特征在于，包括相对可活动且可拆卸地固定的两个夹框(1)，两个所述夹框(1)可在二者的空心内腔重叠且固定时，两个所述夹框(1)的相邻于所述空心内腔的一周内侧壁上在相互抵接位置处围成槽口连通于所述空心内腔的限位凹槽(14)的限位状态与两个所述空心内腔分离的打开状态之间切换；/n所述限位凹槽(14)用于供板材(2)的四周边缘嵌入，所述限位凹槽(14)的两槽壁之间的距离L
【技术特征摘要】
1.一种夹持机构，其特征在于，包括相对可活动且可拆卸地固定的两个夹框(1)，两个所述夹框(1)可在二者的空心内腔重叠且固定时，两个所述夹框(1)的相邻于所述空心内腔的一周内侧壁上在相互抵接位置处围成槽口连通于所述空心内腔的限位凹槽(14)的限位状态与两个所述空心内腔分离的打开状态之间切换；
所述限位凹槽(14)用于供板材(2)的四周边缘嵌入，所述限位凹槽(14)的两槽壁之间的距离L1大于所述板材(2)的厚度L0，以在两个槽壁之间形成供板材活动的活动间隙。
2.根据权利要求1所述的夹持机构，其特征在于，两个所述夹框(1)相互面对的第一表面(11)中，至少有一个所述第一表面(11)的一周上设有凹陷的台阶(141)，所述台阶(141)的台阶面(1411)与各自所在夹框(1)的空心内腔相邻且连通；在所述限位状态下，所述台阶(141)与其正对的另一个所述夹框(1)的第一表面(11)之间围成所述限位凹槽(14)。
3.根据权利要求2所述的夹持机构，其特征在于，两个所述第一表面(11)的一周上均设置所述台阶(141)，两个所述台阶(141)之间形成所述限位凹槽(14)。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的夹持机构，其特征在于，所述活动间隙L2为0.1～1倍的所述板材(2)厚度L0。
5.根据权利要求1-3中任一项所述的夹持机构，其特征在于，至少一个所述夹框(1)采用导电材料制成。
6.根据权利要求5所述的夹持机构，其特征在于，采用导电材料制成的所述夹框(1)的相邻于空心内腔的内侧壁上设有朝向...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩友生，李阳照，方荣平，
申请(专利权)人：昆山东威科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。