一种栅网豁口式金刚石膜制备装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及金刚石膜的制备技术，具体是一种栅网豁口式金刚石膜制备装置。本实用新型专利技术解决了采用热丝化学气相沉积法大面积制备金刚石膜时制备质量和速度受限的问题。一种栅网豁口式金刚石膜制备装置，包括圆筒形反应室、外层水管、圆饼形载台、内层水管、径向支撑杆、圆饼形水冷腔、第一驱动电机、驱动齿轮、L形支撑杆、导电触头、热丝阵列、下集电环、上集电环、下圆形大导电栅网、上圆形大导电栅网、喇叭形导气罩、U形导气管、下圆形小导电栅网、上圆形小导电栅网、放电针、接地针、第二驱动电机、抽气孔、矩形窗孔、第一至第八电源。本实用新型专利技术适用于金刚石膜的大面积制备。

A kind of diamond film preparation device with grid and notch

【技术实现步骤摘要】
一种栅网豁口式金刚石膜制备装置
本技术涉及金刚石膜的制备技术，具体是一种栅网豁口式金刚石膜制备装置。
技术介绍
金刚石膜是一种集各种优异性能于一身的功能材料，其广泛应用于微电子、光电子、生物医学、机械、航空航天、核能等领域。目前，大面积制备金刚石膜的主要方法之一是热丝化学气相沉积法。然而实践表明，采用热丝化学气相沉积法大面积制备金刚石膜时，存在如下问题：由于等离子体气流在基片的径向上存在不均匀性，且等离子体和基片之间的相对速度较低，导致金刚石膜的沉积厚度在径向上不均匀、沉积速度受限，由此导致金刚石膜的制备质量和速度受限。基于此，有必要专利技术一种全新的制备技术，以解决采用热丝化学气相沉积法大面积制备金刚石膜时制备质量和速度受限的问题。
技术实现思路
本技术为了解决采用热丝化学气相沉积法大面积制备金刚石膜时制备质量和速度受限的问题，提供了一种栅网豁口式金刚石膜制备装置。本技术是采用如下技术方案实现的：一种栅网豁口式金刚石膜制备装置，包括圆筒形反应室、外层水管、圆饼形载台、内层水管、径向支撑杆、圆饼形水冷腔、第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种栅网豁口式金刚石膜制备装置，其特征在于：包括圆筒形反应室（1）、外层水管（2）、圆饼形载台（3）、内层水管（4）、径向支撑杆（5）、圆饼形水冷腔（6）、第一驱动电机（7）、驱动齿轮（8）、L形支撑杆（9）、导电触头（10）、热丝阵列（11）、下集电环（12）、上集电环（13）、下圆形大导电栅网（14）、上圆形大导电栅网（15）、喇叭形导气罩（16）、U形导气管（17）、下圆形小导电栅网（18）、上圆形小导电栅网（19）、放电针（20）、接地针（21）、第二驱动电机（22）、抽气孔（23）、矩形窗孔（24）、第一至第八电源；/n圆筒形反应室（1）的下端和上端均设有端壁；圆筒形反应室（1）...

【技术特征摘要】
1.一种栅网豁口式金刚石膜制备装置，其特征在于：包括圆筒形反应室（1）、外层水管（2）、圆饼形载台（3）、内层水管（4）、径向支撑杆（5）、圆饼形水冷腔（6）、第一驱动电机（7）、驱动齿轮（8）、L形支撑杆（9）、导电触头（10）、热丝阵列（11）、下集电环（12）、上集电环（13）、下圆形大导电栅网（14）、上圆形大导电栅网（15）、喇叭形导气罩（16）、U形导气管（17）、下圆形小导电栅网（18）、上圆形小导电栅网（19）、放电针（20）、接地针（21）、第二驱动电机（22）、抽气孔（23）、矩形窗孔（24）、第一至第八电源；
圆筒形反应室（1）的下端和上端均设有端壁；圆筒形反应室（1）的下端壁中央贯通开设有下装配孔；圆筒形反应室（1）的上端壁贯通开设有两个左右对称的上装配孔；外层水管（2）的外侧面下端与下装配孔的孔壁固定配合；圆饼形载台（3）为空心结构，且圆饼形载台（3）的下端壁中央贯通开设有出水孔；圆饼形载台（3）的下外端面内边缘转动支撑于外层水管（2）的上端面，且圆饼形载台（3）的下外端面内边缘与外层水管（2）的上端面之间设有迷宫密封；圆饼形载台（3）的下外端面延伸设置有圆筒形凸台，且圆筒形凸台的轴线与圆饼形载台（3）的轴线重合；圆筒形凸台的内侧面与外层水管（2）的外侧面之间留有距离；圆筒形凸台的外侧面下端设有驱动外轮齿；内层水管（4）穿设于外层水管（2）的内腔，且内层水管（4）的轴线与外层水管（2）的轴线重合；内层水管（4）的外侧面与外层水管（2）的内侧面之间留有出水间隙；内层水管（4）的下端面与外层水管（2）的下端面齐平；内层水管（4）的上端面超出圆饼形载台（3）的下内端面；径向支撑杆（5）的数目为多根；各根径向支撑杆（5）的内端面均与内层水管（4）的外侧面固定；各根径向支撑杆（5）的外端面均与外层水管（2）的内侧面固定；各根径向支撑杆（5）沿周向等距排列；圆饼形水冷腔（6）位于圆饼形载台（3）的内腔；圆饼形水冷腔（6）的下外端面与圆饼形载台（3）的下内端面之间、圆饼形水冷腔（6）的上外端面与圆饼形载台（3）的上内端面之间、圆饼形水冷腔（6）的外侧面与圆饼形载台（3）的内侧面之间均留有冷却间隙；圆饼形水冷腔（6）的下端壁中央贯通开设有进水孔；圆饼形水冷腔（6）的上端壁贯通开设有多个喷水孔；圆饼形水冷腔（6）的下外端面内边缘固定支撑于内层水管（4）的上端面；第一驱动电机（7）安装于圆筒形反应室（1）的下内端面，且第一驱动电机（7）的输出轴朝上；驱动齿轮（8）固定装配于第一驱动电机（7）的输出轴上，且驱动齿轮（8）与驱动外轮齿啮合；L形支撑杆（9）的水平段垂直固定于圆筒形反应室（1）的内侧面，且L形支撑杆（9）的竖直段朝下；导电触头（10）安装于L形支撑杆（9）的竖直段下端，且导电触头（10）与圆筒形凸台的外侧面接触；热丝阵列（11）水平安装于圆筒形反应室（1）的内腔，且热丝阵列（11）位于圆饼形载台（3）的上方；
下集电环（12）的外侧面与圆筒形反应室（1）的内侧面固定配合，且下集电环（12）位于热丝阵列（11）的上方；上集电环（13）的外侧面与圆筒形反应室（1）的内侧面固定配合，且上集电环（13）位于下集电环（12）的上方；下圆形大导电栅网（14）的端面中央贯通开设有下安装孔；下圆形大导电栅网（14）的外侧面与下集电环（12）的内侧面转动配合，且下圆形大导电栅网（14）的边缘开设有下扇环形豁口；上圆形大导电栅网（15）的端面中央贯通开设有上安装孔；上圆形大导电栅网（15）的外侧面与上集电环（13）的内侧面转动配合，且上圆形大导电栅网（15）的边缘开设有上扇环形豁口；上扇环形豁口和下扇环形豁口相互正对；喇叭形导气罩（16）的细端朝上、粗端朝下；喇叭形导气罩（16）的下端敞口边沿与圆筒形反应室（1）的内侧面密封固定，且喇叭形导气罩（16）位于上圆形大导电栅网（15）的上方；U形导气管（17）的两个侧边分别固定贯穿两个上装配孔，且U形导气管（17）的两个管口均朝上；U形导气管（17）的底边中央分别贯通开设有朝上的支撑孔和朝下的导气孔，且导气孔与喇叭形导气罩（16）的上端敞口密封连通；下圆形小导电栅网（18）的侧面与U形导气管（17）的左侧边内侧面固定配合；上圆形...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭欣和，郝昕曈，郝晋青，
申请(专利权)人：郭欣和，
类型：新型
国别省市：山西;14