一种基于光电反馈的谐振式扫描镜制造技术

本实用新型专利技术属于微光机电领域，具体涉及一种基于光电反馈的谐振式扫描镜。解决了现有技术中谐振式扫描镜反馈集成难，反馈成本高，精度差等问题。包括扫描镜、扫描镜驱动模块、控制器、光发射模块以及光接收模块；扫描镜驱动模块的输出端与扫描镜电连接，扫描镜驱动模块的输入端与控制器的输出端电连接；光发射模块用于发射准直光源至扫描镜背面；光接收模块用于接收经扫描镜背面反射的光束，并转换为同步扫描电脉冲信号；光接收模块的输出端与控制器的输入端电连接。本实用新型专利技术基于较电容式角度反馈装置的谐振式扫描镜具有高信噪比，电路简易的优点。较基于光学PSD式的角度反馈装置的谐振式扫描镜具有低成本，易集成的优点。

A resonant scanning mirror based on photoelectric feedback

【技术实现步骤摘要】
一种基于光电反馈的谐振式扫描镜
本技术属于微光机电(MOEMS)领域，具体涉及一种基于光电反馈的谐振式扫描镜。
技术介绍
谐振式扫描镜具有扫描角度大、驱动功耗低、惯性小、体积小、重量轻、易集成等优势，其在激光传感、激光投影、激光成像等应用具有广泛的需求，是激光应用中的关键器件。然而，当前谐振式扫描镜的应用也存在较多问题。比如因个体特性差异而导致下游产品难量产问题。比如角度反馈传感器精度差，难集成，成本高等问题。目前主要采取的角度反馈方法有电容反馈和光反馈，但电容反馈存在信号弱、信噪比低、电路复杂等特点。而光反馈基本以PSD位置探测器为主，但其价格高昂，难于集成。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于提供一种基于光电反馈的谐振式扫描镜，用于解决现有技术中谐振式扫描镜反馈集成难，反馈成本高，精度差等问题。本技术的技术解决方案是提供一种基于光电反馈的谐振式扫描镜，包括扫描镜、扫描镜驱动模块及控制器，所述扫描镜驱动模块的输出端与扫描镜电连接，所述扫描镜驱动模块的输入端与控制器的输出端电连接；>其特殊之处在于：还本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于光电反馈的谐振式扫描镜，包括扫描镜、扫描镜驱动模块及控制器，所述扫描镜驱动模块的输出端与扫描镜电连接，所述扫描镜驱动模块的输入端与控制器的输出端电连接；/n其特征在于：还包括光发射模块以及光接收模块；/n所述光发射模块用于产生准直光源，并发射准直光源至扫描镜背面；/n所述光接收模块用于接收经扫描镜背面反射的光束，并将反射光束转换为同步扫描电脉冲信号；/n所述光接收模块的输出端与控制器的输入端电连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于光电反馈的谐振式扫描镜，包括扫描镜、扫描镜驱动模块及控制器，所述扫描镜驱动模块的输出端与扫描镜电连接，所述扫描镜驱动模块的输入端与控制器的输出端电连接；
其特征在于：还包括光发射模块以及光接收模块；
所述光发射模块用于产生准直光源，并发射准直光源至扫描镜背面；
所述光接收模块用于接收经扫描镜背面反射的光束，并将反射光束转换为同步扫描电脉冲信号；
所述光接收模块的输出端与控制器的输入端电连接。


2.根据权利要求1所述的基于光电反馈的谐振式扫描镜，其特征在于：所述光接收模块包括光电探测器、窄带滤光片及信号滤波整形电路；
所述光电探测器位于扫描镜反射光线的反射光路中，将反射的瞬时光扫描信号转换为同步扫描电流脉冲信号；
所述窄带滤光片用于滤除上述光发射模块光源波长外的干扰光；
所述信号滤波整形电路用于滤除光电探测器输出的同步扫描电脉冲信号噪声并将其调制为标准电平脉冲信号；所述信号滤波整形电路的输入端与光电探测器的信号输出端相连，所述信号滤波整形电路的输出端与控制器的输入端电连接。


3.根据权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏长锋，何耀军，宋秀敏，郑文会，乔大勇，
申请(专利权)人：西安知微传感技术有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61