激光照射方法技术

一种激光照射方法包括：第一扫描，其中通过使用点激光束沿Y方向移动基板的表面上的激光照射区域，在具有X方向上的宽度和Y方向上的长度的第一区域中扫描激光束；以及第二扫描，其中通过使用点激光束沿Y方向移动基板的表面上的激光照射区域，在具有X方向上的宽度和Y方向上的长度的第二区域中扫描激光束。第二区域的中心与第一区域的中心在X方向上间隔开。

Laser irradiation method

【技术实现步骤摘要】
激光照射方法
示例性实施例涉及激光照射方法以及用于该激光照射方法的激光照射装置。更具体地，示例性实施例涉及用于形成多晶硅的激光照射方法，以及用于该激光照射方法的激光照射装置。
技术介绍
近来，已经制造出具有轻重量和小尺寸的显示装置。由于性能和有竞争力的价格，阴极射线管(CRT)显示装置已经被使用。然而，CRT显示装置在尺寸或可携带性方面有弱点。因此，诸如等离子体显示装置、液晶显示装置和有机发光显示装置的显示装置由于尺寸小、重量轻和功耗低而受到高度重视。显示装置可以包括薄膜晶体管的有源图案，有源图案包括多晶硅。可以通过将准分子激光照射到非晶硅层使非晶硅层结晶来形成多晶硅。
技术实现思路
实施例涉及用于在设置于由X方向和垂直于X方向的Y方向形成的平面中的基板的表面上进行扫描的激光照射方法。激光照射方法包括：第一扫描，其中通过使用点激光束沿Y方向移动基板的表面上的激光照射区域，在具有X方向上的宽度和Y方向上的长度的第一区域中扫描激光束；以及第二扫描，其中通过使用点激光束沿Y方向移动基板的表面上的激光照射区域，在具有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光照射方法，用于在设置于由X方向和垂直于所述X方向的Y方向形成的平面中的基板的表面上进行扫描，所述激光照射方法包括：/n第一扫描，其中通过使用点激光束沿所述Y方向移动所述基板的所述表面上的激光照射区域，在具有所述X方向上的宽度和所述Y方向上的长度的第一区域中扫描激光束；以及/n第二扫描，其中通过使用所述点激光束沿所述Y方向移动所述基板的所述表面上的激光照射区域，在具有所述X方向上的宽度和所述Y方向上的长度的第二区域中扫描激光束，并且/n其中所述第二区域的中心与所述第一区域的中心在所述X方向上间隔开。/n

【技术特征摘要】
20181205 KR 10-2018-01555391.一种激光照射方法，用于在设置于由X方向和垂直于所述X方向的Y方向形成的平面中的基板的表面上进行扫描，所述激光照射方法包括：
第一扫描，其中通过使用点激光束沿所述Y方向移动所述基板的所述表面上的激光照射区域，在具有所述X方向上的宽度和所述Y方向上的长度的第一区域中扫描激光束；以及
第二扫描，其中通过使用所述点激光束沿所述Y方向移动所述基板的所述表面上的激光照射区域，在具有所述X方向上的宽度和所述Y方向上的长度的第二区域中扫描激光束，并且
其中所述第二区域的中心与所述第一区域的中心在所述X方向上间隔开。


2.根据权利要求1所述的激光照射方法，其中，所述激光束的相对于所述基板的入射角θ、发散角θy和倾斜角φ满足以下公式
<公式>
θy[mrad]<9.33×θ[deg]。


3.根据权利要求2所述的激光照射方法，其中，所述入射角θ大于0°并且小于7.5°。


4.根据权利要求1所述的激光照射方法，其中，所述激光束...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥村展，白种埈，李东成，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR