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本实用新型属于微光机电领域，具体涉及一种基于光电反馈的谐振式扫描镜。解决了现有技术中谐振式扫描镜反馈集成难，反馈成本高，精度差等问题。包括扫描镜、扫描镜驱动模块、控制器、光发射模块以及光接收模块；扫描镜驱动模块的输出端与扫描镜电连接，扫描镜...
该专利属于西安知微传感技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安知微传感技术有限公司授权不得商用。

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