太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置，包括底座、直线滑轨机构和用于驱动回反射镜于直线滑轨机构上作直线往复运动的音圈电机；直线滑轨机构包括固定于底座上的滑块和用于带动回反射镜作直线往复运动的导轨，滑块上对应设有配合导轨直线移动的滑槽，滑轨滑动安装于滑槽中，音圈电机的动力输出端与所述导轨相连。本实用新型专利技术提供了一种太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置。通过把直线滑轨机构重量相对较大的滑块固定安装在底座上，并将重量相对较小的导轨滑动安装于滑块上，以通过导轨带动回反射镜于底座上作直线往复运动，减小了往复运动部件惯量的产生，从而有效降低运动部件的惯性对音圈电机驱动回反射镜往复运动频率的影响。

Driving device of retroreflector for terahertz time domain spectrometer

【技术实现步骤摘要】
太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置
本技术属于太赫兹时域光谱仪
，更具体地说，是涉及一种太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置。
技术介绍
太赫兹时域光谱技术是20世纪80年代中后期发展并新兴的一种电磁辐射位相相干探测技术，其被广泛应用于成像、光谱分析、无损检测、卫星通信等领域。基于太赫兹时域光谱技术的太赫兹时域光谱仪设备，通常需要设置直线驱动装置驱动回反射镜作直线往复运动，以通过回反射镜对设备内部的激光进行反射。当前应用于太赫兹时域光谱仪设备中，配合音圈电机4的直线滑轨机构3通常采用传统的正装方式，即将直线滑轨机构3的导轨32固定于底座1上，再将滑块31滑动安装于导轨32上，以通过音圈电机4驱动滑块32带动回反射镜2作直线往复运动。然而，音圈电机驱动回反射镜往复运动频率通常较高，而滑块的重量较重则会产生较大的惯量，影响音圈电机驱动回反射镜的往复运动频率，并导致整个直线驱动装置产生较大振动，影响太赫兹时域光谱仪的光谱清晰度。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置，旨在解决现有技术中存在的应用于太赫兹时域光谱仪设备的直线驱动装置，音圈电机驱动回反射镜往复运动频率通常较高，滑块的重量较重而会产生较大的惯量，影响音圈电机驱动回反射镜的往复运动频率的问题。为实现上述目的，本技术采用的技术方案是提供一种太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置，包括底座、用于将回反射镜滑动安装于所述底座上的直线滑轨机构和用于驱动所述回反射镜于所述直线滑轨机构上作直线往复运动的音圈电机；所述直线滑轨机构包括固定于所述底座上的滑块和用于带动所述回反射镜作直线往复运动的导轨，所述滑块上对应设有配合所述导轨直线移动的滑槽，所述导轨滑动安装于所述滑槽中，所述音圈电机的动力输出端与所述导轨相连。进一步地，所述底座包括水平设置的水平支撑板和一端与所述水平支撑板相连的竖直支撑板，所述滑块固定安装于所述水平支撑板上，所述音圈电机与所述竖直支撑板固定相连。进一步地，所述音圈电机包括用于驱动所述导轨于所述滑块上作直线往复运动的电机线圈、套于所述电机线圈上的电机套筒和设置于所述电机套筒内并与所述电机线圈配合的永磁体，所述电机套筒与所述竖直支撑板固定相连。进一步地，所述竖直支撑板上设有用于定位所述电机套筒的定位槽。进一步地，所述直线滑轨机构还包括用于将所述回反射镜支撑于所述导轨上的支撑板，所述支撑板与所述导轨固定相连。进一步地，所述支撑板上设有用于固定安装所述回反射镜的安装座。进一步地，所述安装座上设有用于固定安装所述回反射镜的安装槽。进一步地，所述太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置还包括用于测量所述回反射镜位移信息的位移传感器。进一步地，所述位移传感器为光栅尺传感器，所述光栅尺传感器包括用于标定所述回反射镜运动位置的标尺光栅和用于与所述标尺光栅配合以对所述回反射镜运动位置信息进行采集的光栅读数头，所述光栅读数头设置于所述底座上，所述标尺光栅设置于所述支撑板上。进一步地，所述支撑板靠近所述光栅读数头的一侧设有凹槽，所述标尺光栅安装于所述凹槽中。本技术提供的太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置的有益效果在于：与现有技术相比，本技术提供的太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置，通过将配合音圈电机直线驱动的直线滑轨机构进行倒装，把直线滑轨机构重量相对较大的滑块固定安装在底座上，并将重量相对较小的导轨滑动安装于滑块上，以通过导轨带动回反射镜于底座上作直线往复运动，减小了往复运动部件惯量的产生，从而有效降低运动部件的惯性对音圈电机驱动回反射镜往复运动频率的影响，进而提高音圈电机驱动回反射镜往复运动的频率，增强太赫兹时域光谱仪的光谱清晰度。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例提供的太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置的立体结构示意图；图2为本技术实施例提供的太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置的爆炸结构示意图。其中，图中各附图主要标记：1-底座；11-水平支撑板；12-竖直支撑板；121-定位槽；2-回反射镜；3-直线滑轨机构；31-滑块；311-滑槽；32-导轨；33-支板；331-凹槽；4-音圈电机；41-电机线圈；42-电机套筒；5-安装座；51-安装槽；6-位移传感器；61-标尺光栅；62-光栅读数头。具体实施方式为了使本技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。需要说明的是，当元件被称为“连接于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。请一并参阅图1至图2，现对本技术提供的太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置进行说明。本技术提供的太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置，包括底座1、用于将回反射镜2滑动安装于底座1上的直线滑轨机构3和用于驱动回反射镜2于直线滑轨机构3上作直线移动的音圈电机4；直线滑轨机构3包括固定于底座1上的滑块31和用于带动回反射镜2作作直线往复运动的导轨32，滑块31上对应设有配合导轨32直线移动的滑槽311，导轨32滑动安装于滑槽311中，音圈电机4的动力输出端与导轨32相连。本技术提供的太赫兹时域光谱仪回反射镜2驱动装置，与现有技术相比，通过将配合音圈电机4直线驱动的直线滑轨机构3进行倒装，把直线滑轨机构3重量相对较大的滑块31固定安装在底座1上，并将重量相对较小的导轨32滑动安装于滑块31上，以通过导轨32带动回反射镜2于底座1上作直线往复运动，减小了往复运动部件惯量的产生，从而有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置，包括底座、用于将回反射镜滑动安装于所述底座上的直线滑轨机构和用于驱动所述回反射镜于所述直线滑轨机构上作直线往复运动的音圈电机；其特征在于：所述直线滑轨机构包括固定于所述底座上的滑块和用于带动所述回反射镜作直线往复运动的导轨，所述滑块上对应设有配合所述导轨直线移动的滑槽，所述导轨滑动安装于所述滑槽中，所述音圈电机的动力输出端与所述导轨相连。/n

【技术特征摘要】
1.一种太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置，包括底座、用于将回反射镜滑动安装于所述底座上的直线滑轨机构和用于驱动所述回反射镜于所述直线滑轨机构上作直线往复运动的音圈电机；其特征在于：所述直线滑轨机构包括固定于所述底座上的滑块和用于带动所述回反射镜作直线往复运动的导轨，所述滑块上对应设有配合所述导轨直线移动的滑槽，所述导轨滑动安装于所述滑槽中，所述音圈电机的动力输出端与所述导轨相连。


2.如权利要求1所述的太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置，其特征在于：所述底座包括水平设置的水平支撑板和一端与所述水平支撑板垂直相连的竖直支撑板，所述滑块固定安装于所述水平支撑板上，所述音圈电机与所述竖直支撑板固定相连。


3.如权利要求2所述的太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置，其特征在于：所述音圈电机包括用于驱动所述导轨于所述滑块上作直线往复运动的电机线圈、套于所述电机线圈上的电机套筒和设置于所述电机套筒内并与所述电机线圈配合的永磁体，所述电机套筒与所述竖直支撑板固定相连。


4.如权利要求3所述的太赫兹时域光谱仪回反射镜驱动装置，其特征在于：所述竖直支撑板上设有用于定位所述电机套筒的定位槽。


5.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵洪美，黄培雄，
申请(专利权)人：深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司，华讯方舟科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44