【技术实现步骤摘要】
一种基于WO3纳米薄膜的可燃气体传感器
本技术属于纳米材料和气体传感器
，具体涉及一种基于WO3纳米薄膜的可燃气体传感器。
技术介绍
当今科技的发展要求材料的超微化、智能化、元件的高集成、高密度存储和超快传输等特性，为纳米科技和纳米材料的应用提供了广阔的空间。利用纳米技术制作的传感器，尺寸减小、精度提高、性能大大改善，纳米传感器是站在原子尺度上，从而极大地丰富了传感器的理论，推动了传感器的制作水平，拓宽了传感器的应用领域。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种基于WO3纳米薄膜的可微型化可燃气体传感器，可直接安装在便携式电子设备或气体检测仪器，并且对可燃气体具有较高的灵敏度。为实现上述技术目的，本技术采取的技术方案为：一种基于WO3纳米薄膜的可燃气体传感器，所述传感器为平板式结构，尺寸为1mmⅹ1mmⅹ500μm，自下而上依次包括单晶硅片、二氧化硅纳米薄膜、氮化硅纳米薄膜、铂金电极薄膜和WO3纳米薄膜。为优化上述技术方案，采取的具体措施还包括：上述的二氧化硅纳米...
【技术保护点】
1.一种基于WO3纳米薄膜的可燃气体传感器，其特征在于，所述传感器为平板式结构，自下而上依次包括单晶硅片(5)、二氧化硅纳米薄膜(4)、氮化硅纳米薄膜(3)、铂金电极薄膜(2)和WO3纳米薄膜(1)；/n所述铂金电极薄膜(2)包括一块加热电极(6)和一块信号电极(7)，所述加热电极(6)和信号电极(7)对称分布于同一个平面上，所述铂金电极薄膜(2)磁控溅射参数为：溅射功率为30～60W，溅射时间为15～30min，沉积温度为室温，氩气流量为30～40sccm。/n
【技术特征摘要】
1.一种基于WO3纳米薄膜的可燃气体传感器，其特征在于，所述传感器为平板式结构，自下而上依次包括单晶硅片(5)、二氧化硅纳米薄膜(4)、氮化硅纳米薄膜(3)、铂金电极薄膜(2)和WO3纳米薄膜(1)；
所述铂金电极薄膜(2)包括一块加热电极(6)和一块信号电极(7)，所述加热电极(6)和信号电极(7)对称分布于同一个平面上，所述铂金电极薄膜(2)磁控溅射参数为：溅射功率为30～60W，溅射时间为15～30min，沉积温度为室温，氩气流量为30～40sccm。
2.根据权利要求1所述的一种基于WO3纳米薄膜的可燃气体传感器，其特征在于，所述二氧化硅纳米薄膜(4)、氮化硅纳米薄膜(3)、铂金电极薄膜(2)和WO3纳米薄膜(1)的厚度均为纳米级别。
3.根据权利要求1或2所述的一种基于WO3纳米薄膜的可燃气体传感器，其特征在于，所述氮化硅纳米薄膜(3)、铂金电极薄膜(2)和WO3纳米薄膜(1)均由磁控溅射法制备得到，所用溅射设备为JC...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘鹏，张真，谭永杰，谭崇刚，谭德辉，武郑浩，
申请(专利权)人：南京云创大数据科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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