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本实用新型公开了一种基于WO3纳米薄膜的可燃气体传感器，所述传感器为平板式结构，自下而上依次包括单晶硅片、二氧化硅纳米薄膜、氮化硅纳米薄膜、铂金电极薄膜和WO3纳米薄膜。所述铂金电极薄膜包括一块加热电极和一块信号电极，所述加热电极和信号电极...
该专利属于南京云创大数据科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京云创大数据科技股份有限公司授权不得商用。

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