一种CMOS图像传感器中白色像素分布的分析装置及方法制造方法及图纸

技术编号:24521100 阅读:26 留言:0更新日期:2020-06-17 07:58
本发明专利技术公开了一种CMOS图像传感器中白色像素分布的分析方法,包括如下步骤:S01:CMOS图像传感器的测量数据经过数据输入模块传输至预处理模块;S02:预处理模块根据白色像素阈值将测量数据转换为二值图;S03:筛选模块去除白色像素分布均匀的二值图;S04:特征提取模块在二值图中提取出白色像素分布特征;S05:分类模块对所述白色像素分布特征进行聚类分组,并定义每个类的白色像素分布模式;S06:分析模块得出关于白色像素分布模式与相关工艺原因之间关系的知识库。本发明专利技术提供的一种CMOS图像传感器中白色像素分布的分析装置及方法,可以及时反馈工艺制造信息并调整制造工艺条件,提升CMOS图像传感器像素的制造良率,减小不必要的损失。

An analysis device and method of white pixel distribution in CMOS image sensor

【技术实现步骤摘要】
一种CMOS图像传感器中白色像素分布的分析装置及方法
本专利技术涉及CMOS图像传感器中人工智能分析领域,具体涉及一种CMOS图像传感器中白色像素分布的分析装置及方法。
技术介绍
白色像素分布是衡量CIS(CMOS图像传感器)的关键指标之一,CMOS图像传感器中白色像素分布情况直接关系到其产生的图像质量,尤其是在低光或高温下产生图像的均匀性。产生白色像素的根本原因是CMOS图像传感器所在硅片表面具有缺陷或硅片表面被金属玷污,缺陷和金属玷污物可能来源于物料、机台和工艺等;其中,不同工艺原因会造成CMOS图像传感器中白色像素特定的分布模式,而且造成白色像素的工艺原因和白色像素的分布模式之间具有比较明确的一一对应关系。因此,根据CMOS图像传感器输出图像的测量数据可以寻找出白色像素分布模式,进而快速准确地分析造成白色像素分布模式的原因,从而找到产生白色像素分布模式的工艺问题,并反馈给工艺制造。通过对测量数据的分析,可以尽快调整对应的工艺步骤,这对于CIS的质量和制造效率提升有着积极的推动作用。现有技术中针对CIS中白色像素分布的分析,本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种CMOS图像传感器中白色像素分布的分析方法,其特征在于,包括如下步骤:/nS01:CMOS图像传感器的测量数据经过数据输入模块传输至预处理模块;所述CMOS图像传感器的测量数据基于该CMOS图像传感器输出图像的像素值获得;/nS02:所述预处理模块根据白色像素阈值将测量数据转换为二值图,并传输至筛选模块;/nS03:所述筛选模块去除白色像素分布均匀的二值图,并将剩余的二值图传输至特征提取模块;/nS04:所述特征提取模块在二值图中提取出白色像素分布特征,并将白色像素分布特征传输至分类模块;/nS05:所述分类模块对所述白色像素分布特征进行聚类分组,并定义每个类的白色像素分布模式,再将聚...

【技术特征摘要】
1.一种CMOS图像传感器中白色像素分布的分析方法,其特征在于,包括如下步骤:
S01:CMOS图像传感器的测量数据经过数据输入模块传输至预处理模块;所述CMOS图像传感器的测量数据基于该CMOS图像传感器输出图像的像素值获得;
S02:所述预处理模块根据白色像素阈值将测量数据转换为二值图,并传输至筛选模块;
S03:所述筛选模块去除白色像素分布均匀的二值图,并将剩余的二值图传输至特征提取模块;
S04:所述特征提取模块在二值图中提取出白色像素分布特征,并将白色像素分布特征传输至分类模块;
S05:所述分类模块对所述白色像素分布特征进行聚类分组,并定义每个类的白色像素分布模式,再将聚类分组结果及其对应的白色像素分布模式传输至分析模块;
S06:所述分析模块根据白色像素分布模式规律以及CMOS图像传感器的制作工艺之间的关系,得出关于白色像素分布模式与相关工艺原因之间关系的知识库。


2.根据权利要求1所述的一种CMOS图像传感器中白色像素分布的分析方法,其特征在于,所述步骤S02中预处理模块确定至少一个白色像素阈值,所述预处理模块根据白色像素阈值将CMOS图像传感器的测量数据转换为至少一个二值图。


3.根据权利要求2所述的一种CMOS图像传感器中白色像素分布的分析方法,其特征在于,所述步骤S02中预处理模块确定9个白色像素阈值的具体方法为:当CMOS图像传感器的测量数据累积百分比分别达到10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%时,其对应的测量数据即为白色像素阈值,其中,





4.根据权利要求1所述的一种CMOS图像传感器中白色像素分布的分析方法,其特征在于,所述步骤S03具体为:将二值图进行方形内核扫描,统计每个方形内核中白色像素的数量,若该二值图中各个方形内核中白色像素的数量均匀分布,则去除该二值图;否则保留二值图并将其传输至特征提取模块。


5.根据权利要求1所述的一种CMOS图像传感器中白色像素分布的分析方法,其特征在于,所述步骤S03具体为:将二值图进行扇形内核扫描,统计每个扇形内核中白色像素的数量,若该二值图中各个扇形内核中白色像素的数量均匀分布,则去除该二值图;否则保留二值图并将其传输至特征提取模块。


6.根据权利要求1所述的一种CMOS图像传感器中白色像素分布的分析方法,其特征在于,所述步骤S03具体包括:
S031:将二值图进行方形内核扫描,统计每个方形内核中白色像素的数量;
S0...

【专利技术属性】
技术研发人员:王鹏飞李琛孙红霞余学儒葛星辰姚嫦娲范春晖顾学强
申请(专利权)人:上海集成电路研发中心有限公司
类型:发明
国别省市:上海;31

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