【技术实现步骤摘要】
用于检验MEMS传感器的传感器值的方法
本专利技术涉及用于检验MEMS传感器的传感器值的方法以及为此设立的计算机程序。
技术介绍
微系统（英语为：microelectromechanicalsystems（微机电系统），MEMS）的重要性在过去数年已强烈增加。MEMS传感器（诸如基于MEMS的惯性传感器）被采用在无数电子设备和系统中。微机械加速度传感器例如在DE4000903C1和DE102012218906A1中公开。微机械角速度传感器（Drehratensensor）例如由DE4022495A1和DE102017205984A1得知。在公开文献“YunmokSon、HocheolShin、DongkwanKim、Young-SeokPark、JuhwanNoh、KibumChoi、JungwooChoi、YongdaeKim等人的Rockingdroneswithintentionalsoundnoiseongyroscopicsensors（在USENIXSecuritySymposium中的第881-...
【技术保护点】
1.一种用于检验MEMS传感器（21）的传感器值的方法，其中检测所述MEMS传感器（21）的输出信号并且根据所述输出信号来测定所述传感器值，其特征在于，/n- 检查所述输出信号的频率成分，/n- 根据对所述频率成分的检查来查明：所测定的传感器值是可靠的还是不可靠的，以及/n- 如果所述传感器值被查明为不是可靠的，则丢弃所述传感器值或者对所述传感器值较小地加权，输出关于所述传感器值的不可靠性的警告或者存储关于所述传感器值的不可靠性的信息。/n
【技术特征摘要】
20181204 DE 102018220936.71.一种用于检验MEMS传感器（21）的传感器值的方法，其中检测所述MEMS传感器（21）的输出信号并且根据所述输出信号来测定所述传感器值，其特征在于，
-检查所述输出信号的频率成分，
-根据对所述频率成分的检查来查明：所测定的传感器值是可靠的还是不可靠的，以及
-如果所述传感器值被查明为不是可靠的，则丢弃所述传感器值或者对所述传感器值较小地加权，输出关于所述传感器值的不可靠性的警告或者存储关于所述传感器值的不可靠性的信息。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，对所述频率成分就所述MEMS传感器（21）的传感器结构的固有谐振进行检查。
3.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，检查来自所述输出信号的频谱的至少一个区段的所述频率成分。
4.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，将所述频率成分的至少一个振幅（A）与至少一个阈值（32）进行比较。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，将来自所述输出信号的频谱的区段的平均振幅与所述至少一个阈值进行比较，或者将尤其是根据所述MEMS传感器（21）的传感器结构的固有谐振的确定的频率的振幅与所述阈值进行比较，或者将确定的频率范围的振幅（A）与所述至少一个阈值（32）进行比较。
6.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，对所述频率成分就确定的模式进行检查，或者将所述频率...
【专利技术属性】
技术研发人员：C胡特，O维勒斯，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE
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