一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具制造技术

本实用新型专利技术公开一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具，包括由顶部件、底部件和两侧部件围成的载具框架；所述顶部件与底部件之间设置有若干齿条，所述齿条与侧部件平行；所述齿条的部分或全部设置为中空结构。本实用新型专利技术能够提高载具的装载量和缩短ALD设备的生产周期。

A kind of fast heat carrier suitable for the deposition equipment of super large production atomic layer

【技术实现步骤摘要】
一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具
本技术涉及光伏电池制造
，具体涉及一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具。
技术介绍
随着光伏产业的规模化和光伏技术的迅速发展，超大产量原子层沉积（ALD）技术成为光伏产品降本增效的有效途径。对于ALD技术自身降低成本的最有效途径就是提高其设备如晶圆（硅片）的产量，而对于批入批出式ALD设备，有效提高ALD设备载具的装载量和缩短生产周期非常关键。
技术实现思路
专利技术目的：本技术目的在于针对现有技术的不足，提供一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具，能够提高载具的装载量和缩短ALD设备的生产周期。技术方案：本专利技术所述一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具，包括由顶部件、底部件和两侧部件围成的载具框架；所述顶部件与底部件之间设置有若干齿条，所述齿条与侧部件平行；所述齿条的部分或全部设置为中空结构。优选地，包括由顶板、底板和两侧板围成的载具框架；所述顶板与底板之间设置有两个齿条，所述齿条与侧板平行；所述两侧板的内侧端均固设有齿条。优选地，所述两侧板的外侧端均设有导气槽。优选地，包括由顶板、底板和两侧部齿条围成的载具框架；所述顶板和底板之间设置有一个齿条，所述齿条与侧部齿条平行。优选地，包括由顶板、底板和两侧部齿条围成的载具框架；所述顶板和底板之间设置有两个齿条，所述齿条与侧部齿条平行。优选地，包括由顶板、底板和两侧部齿条围成的载具框架；所述顶板和底板之间设置有多个齿条，所述齿条与侧部齿条平行；所述顶板的上端和底板的下端均设有导气槽。优选地，所述齿条由金属制成。优选地，所述顶板、底板均由金属制成。优选地，所述侧板由金属制成。所述金属优选铝合金、不锈钢、钛合金。与现有技术相比，本技术的有益效果为：（1）本技术设置至少部分为中空结构的齿条，在实施时，将ALD设备如晶圆（硅片）置于齿条的中空结构中，热媒（空气或氮气）从中空结构通过，将热量快速传递给齿条（或从齿条带走），由于齿条和ALD设备直接接触，能够对ALD设备进行快速加热或冷却。（2）本技术能够有效杜绝载具划伤，能够有效减少绕镀，绕镀厚度为镀层厚度的50%以下。（3）本技术的齿条等结构优选采用金属制成，如铝合金或铝镁合金，能够达到ALD工艺要求，同时减少了载具成本，有效增加了转运和加热效率。附图说明图1为本技术实施例1的主视图。图2为本技术实施例1的侧视图。图3为本技术实施例1的俯视图。图4为本技术实施例2的结构图。图5为本技术实施例3的结构图。图6为本技术实施例1实施时的示意图。附图中，1-顶板，2-底板，3-侧板，4-齿条，5-导气槽，6-硅片，7-热媒。具体实施方式下面通过具体实施例和附图对本技术技术方案进行详细说明，但是本技术的保护范围不局限于所述实施例。实施例1一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具，参照图1-3，包括由顶板1、底板2和两侧板3围成的载具框架；顶板1与底板2之间设置有两个齿条4，齿条4与侧板3平行，齿条4为中空齿条；两侧板3的内侧端均固设有齿条4；两侧板3的外侧端均设有导气槽5；其中，齿条4、顶板1、底板2和侧板3均由铝合金制成。本实施例设置中空齿条，参照图6，在实施时，将ALD设备如硅片6置于齿条的中空结构中，热媒7（空气或氮气）从中空结构通过，将热量快速传递给齿条（或从齿条带走），由于齿条和ALD设备直接接触，能够对ALD设备进行快速加热或冷却。实施例2一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具，参照图4，包括由顶板1、底板2和两侧部齿条4围成的载具框架；顶板1和底板2之间设置有两个齿条4，齿条4与侧部齿条4平行，齿条4为中空齿条；其中，齿条4、顶板1和底板2均由不锈钢制成。实施例3一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具，参照图5，包括由顶板1、底板2和两侧部齿条4围成的载具框架；顶板1和底板2之间设置有17个齿条4，齿条4与侧部齿条4平行，齿条4的部分设置为中空结构，顶板1的上端和底板2的下端均设有导气槽5；其中，齿条4、顶板1和底板2均由钛合金制成。如上所述，尽管参照特定的优选实施例已经表示和表述了本技术，但其不得解释为对本技术自身的限制。在不脱离所附权利要求定义的本技术的精神和范围前提下，可对其在形式上和细节上作出各种变化。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具，其特征在于，包括由顶部件、底部件和两侧部件围成的载具框架；所述顶部件与底部件之间设置有若干齿条，所述齿条与侧部件平行；所述齿条的部分或全部设置为中空结构。/n

【技术特征摘要】
1.一种适用于超大产量原子层沉积设备的速热载具，其特征在于，包括由顶部件、底部件和两侧部件围成的载具框架；所述顶部件与底部件之间设置有若干齿条，所述齿条与侧部件平行；所述齿条的部分或全部设置为中空结构。


2.根据权利要求1所述的速热载具，其特征在于，包括由顶板、底板和两侧板围成的载具框架；所述顶板与底板之间设置有两个齿条，所述齿条与侧板平行；所述两侧板的内侧端均固设有齿条。


3.根据权利要求2所述的速热载具，其特征在于，所述两侧板的外侧端均设有导气槽。


4.根据权利要求1所述的速热载具，其特征在于，包括由顶板、底板和两侧部齿条围成的载具框架；所述顶板和底板之间设置有一个齿条，所述齿条与侧部齿条平行。

【专利技术属性】
技术研发人员：余伟，
申请(专利权)人：南京爱通智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32