【技术实现步骤摘要】
具有双倾功能的透射电镜原位样品杆
本专利技术涉及一种透射电子显微镜的样品杆，特别是一种的具有双倾功能的原位实验样品杆。
技术介绍
透射电子显微镜（TEM）是表征材料微观结构的重要设备，样品杆是TEM的重要组件之一，样品杆起到承载样品，并对样品施加物理场，如力、热、电、光等作用。目前，材料科学研究的深入对透射电子显微镜及其原位技术提出了更高的要求，如何在对材料施加外场作用的同时，实现TEM原位双倾观测，称为研究的热点。根据倾转的方式，商业化的TEM样品杆分为单轴倾转和双轴倾转（双倾）两种。沿样品杆轴线的旋转为X轴旋转，垂直于样品杆轴和电子束入射方向的旋转为Y轴旋转，Y轴的旋转需要在样品杆上通过旋转样品载台来实现。双倾样品杆可以在X轴和Y轴两个维度转动样品，从而方便观测晶体结构物质的表面形貌和衍射花样，表征样品的晶体结构。通常，Y轴倾转主要通过以下几种方式实现：方式1、偏心曲轴驱动的Y轴旋转：通过在偏心曲轴前端镶嵌陶瓷小球，小球卡在样品倾转台卡槽中心，通过后端步进电机转动带动曲柄和小球转动，推动倾转台在Y轴方向实现±30...
【技术保护点】
1.具有双倾功能的透射电镜原位样品杆，包括杆身，设于杆身内、与杆身同轴的转轴和设置于转轴头端的纳米驱动器；其特征在于：纳米驱动器头端安装倾转台，倾转台具有与纳米驱动器固定的基座，基座上设有弹簧片和动子，动子预紧于弹簧片与基座之间，动子与弹簧片、动子与基座分别为平面接触，动子与弹簧片之间设有第一压电驱动件，基座和动子之间设有第二压电驱动件；基座上设有圆弧导轨，动子设有与圆弧导轨匹配的滑动件，动子上设有样品安装部位。/n
【技术特征摘要】
1.具有双倾功能的透射电镜原位样品杆，包括杆身，设于杆身内、与杆身同轴的转轴和设置于转轴头端的纳米驱动器；其特征在于：纳米驱动器头端安装倾转台，倾转台具有与纳米驱动器固定的基座，基座上设有弹簧片和动子，动子预紧于弹簧片与基座之间，动子与弹簧片、动子与基座分别为平面接触，动子与弹簧片之间设有第一压电驱动件，基座和动子之间设有第二压电驱动件；基座上设有圆弧导轨，动子设有与圆弧导轨匹配的滑动件，动子上设有样品安装部位。
2.如权利要求1所述的具有双倾功能的透射电镜原位样品杆，其特征在于：基座上设有两个安装座，弹簧片架设于两个安装座，基座、两个安装座和弹簧片围成驱动和容纳动子运动的容纳腔，动子穿过容纳腔；动子安装于容纳腔时，动子高出安装座。
3.如权利要求1所述的具有双倾功能的透射电镜原位样品杆，其特征在于：动子从头端向后依次为样品安装部，与容纳腔配合的受驱动部和与圆弧导轨匹配的滑动件。
4.如权利要求1所述的具有双倾功能的透射电镜原位样品杆，其特征在于：基座具有与纳米驱动器固定的连接部，和由安装座、容纳腔和圆弧导轨形成的动子安装部，连接部与安装部正交。
5.如权利要求4所述的具有双倾功能的透射电镜原位样品杆，其特征在于：基座的连接部为螺钉孔，基座通过螺钉与纳米驱动器连接；纳米驱动器上设置...
【专利技术属性】
技术研发人员：聂安民，张奕志，王宏涛，田永君，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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