用于硅晶片清洗的耐腐蚀耐高温工装制造技术

本实用新型专利技术公开了用于硅晶片清洗的耐腐蚀耐高温工装，包括两个手提箱板和两个插口板，两个手提箱板相互平行，两个插口板相互平行，且两个插口板两端分别榫接于手提箱板的一端，两个手提箱板和两个插口板收尾相连，形成供硅晶片放置的框体。手提箱板的两个竖直侧边上均设置有第一榫接部，插口板的两个竖直侧边上均设置有第二榫接部，第一榫接部和第二榫接部相互匹配，第一榫接部为手提箱板侧边上设置的楔形凹槽，第二榫接部为插口板侧边上设置的楔形凸起，楔形凹槽和楔形凸起的形状相匹配，且位置一一对应。两个手提箱板间可拆卸连接有若干用于硅晶片托底的托杆。手提箱板、插口板和托杆均为聚四氟乙烯。该工装无需焊接，耐高温耐腐蚀，方便拆卸。

Corrosion and high temperature resistant tooling for silicon wafer cleaning

【技术实现步骤摘要】
用于硅晶片清洗的耐腐蚀耐高温工装
本技术涉及硅晶片加工领域，特别涉及用于硅晶片清洗的耐腐蚀耐高温工装。
技术介绍
元素硅是一种灰色、易碎、四价的非金属化学元素。地壳成分中27.8％是硅元素构成的，仅次于氧元素含量排行第二，硅是自然界中比较富的元素。在石英、玛瑙、燧石和普通的滩石中就可以发现硅元素。晶体硅材料是最主要的光伏材料，性质为带有金属光泽的灰黑色固体、熔点高(1410)、硬度大、有脆性、常温下化学性质不活泼。其市场占有率在90％以上，而且在今后相当长的一段时期也依然是太阳能电池的主流材料。但在其加工过程中，往往一些有机物以及金属杂质附着在硅晶片表面而影响其工作性能，降低太阳能的转化效率。为保持硅晶片表面清洁，需将硅晶片放置在强酸或强碱等强腐蚀的化学试剂中进行清洗。现有硅晶片清洗时，放置其的工装多采用不锈钢焊接制成，焊接处耐腐蚀性、耐高温性不好，使用寿命短，会对硅晶片造成污染。
技术实现思路
为克服上述缺点，本技术的目的在于提供一种用于硅晶片清洗的工装，采用榫接，耐高温、耐腐蚀，方便拆卸。为了达到以上目的，本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于硅晶片清洗的耐腐蚀耐高温工装，其特征在于：包括两个手提箱板(1)和两个插口板(2)，两个所述手提箱板(1)相互平行，两个所述插口板(2)相互平行，且两个所述插口板(2)两端分别榫接于手提箱板(1)的一端，两个所述手提箱板(1)和两个插口板(2)收尾相连，形成供硅晶片放置的框体；所述手提箱板(1)的两个竖直侧边上均设置有第一榫接部(3)，所述插口板(2)的两个竖直侧边上均设置有第二榫接部(4)，所述第一榫接部(3)和第二榫接部(4)相互匹配，所述第一榫接部(3)为手提箱板(1)侧边上均匀设置的楔形凹槽(31)，所述第二榫接部(4)为插口板(2) 侧边上均匀设置的楔形凸起(41)，所述楔形...

【技术特征摘要】
1.用于硅晶片清洗的耐腐蚀耐高温工装，其特征在于：包括两个手提箱板(1)和两个插口板(2)，两个所述手提箱板(1)相互平行，两个所述插口板(2)相互平行，且两个所述插口板(2)两端分别榫接于手提箱板(1)的一端，两个所述手提箱板(1)和两个插口板(2)收尾相连，形成供硅晶片放置的框体；所述手提箱板(1)的两个竖直侧边上均设置有第一榫接部(3)，所述插口板(2)的两个竖直侧边上均设置有第二榫接部(4)，所述第一榫接部(3)和第二榫接部(4)相互匹配，所述第一榫接部(3)为手提箱板(1)侧边上均匀设置的楔形凹槽(31)，所述第二榫接部(4)为插口板(2)侧边上均匀设置的楔形凸起(41)，所述楔形凹槽(31)和楔形凸起(41)的形状相匹配，且位置一一对应；两个所述手提箱板(1)间可拆卸连接有若干用于硅晶片托底的托杆(5)，所述手提箱板(1)、插口板(2)和托杆(5)均为聚四氟乙烯。


2.根据权利要求1所述的用于硅晶片清洗的耐腐蚀耐高温工装，其特征在于：所述楔形凹槽(31)的底部向顶部收窄，且顶部开口设置。


3.根据权利要求1所述的用于硅晶片清洗的耐腐蚀耐高温工装，其特征在于：所述手提箱板(1)和插口板(2)上均设置有供清洗剂流入的溶剂通...

【专利技术属性】
技术研发人员：闵霞，顾正龙，
申请(专利权)人：张家港海扬超声清洗设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32