光阻剥离装置及光阻剥离方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种光阻剥离装置以及光阻剥离方法，所述光阻剥离装置包括:传送带、储液槽、过滤装置、照明装置、剥离槽以及真空装置，通过在过滤装置的滤芯中添加MOF材料，该材料在在可见光下可以捕捉溶液中的氧气，降低溶液中的溶解氧，进而降低缝隙内外的氧浓度差，缓解因基板剥离光阻所产生铜的掏空现象；进一步的，当达到饱和时，可对其进行加热或者紫外光照，将其吸附的氧气释放出去，进而可循环使用滤芯材料。

Photoresist stripping device and method

【技术实现步骤摘要】
光阻剥离装置及光阻剥离方法
本专利技术涉及显示
，特别是一种光阻剥离装置及光阻剥离方法。
技术介绍
随着显示器的大型化以及画质高清化，需要电阻率更低的金属来做电子传输导线，目前金属铜可以满足电导率高，价格相对较低的要求；但由于其与玻璃基板的粘附性较差，以及铜元素易于向氧硅或者氮硅膜内进行扩散，所以会在其与玻璃基板之间加一层很薄的缓冲层，一般缓冲层的材料选用钼或者钼合金。半导体、薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)、有机电激光显示(OLED)等微电路图案的形成过程经过以下几个过程。首先铜钼或其合金在玻璃基板或者绝缘层上形成一定厚度的膜层，然后经过光刻胶涂布曝光显影过程形成图案，接下来用铜酸蚀刻液将图案外的金属蚀刻掉，之后再用光阻剥离液将光刻胶去掉，进而形成金属膜层的图案化，构成电极电路。通常在不同的溶液体系中金属具有不同的电极电位，金属铜和钼在同一溶液体系中的电极电位也有所差异。在酸性溶液中，金属钼的电极电位要低于金属铜。由于铜和钼金属的电极电位有所差异，在导电溶液中接触的此两种金属就会形成电偶腐蚀，其中钼作为阳极，铜作为阴极，钼的蚀刻会加速。如图1所示，由于金属蚀刻这一制程发生在酸性蚀刻液中，蚀刻终点时铜和钼之间会产生钼底切22和铜掏空的现象，进而会形成一间隙23。光阻剥离发生在碱性的光阻剥离液中，其中金属铜和钼的电极电势发生反转，铜做阳极，钼做阴极，铜进一步被腐蚀，形成孔洞21。此孔洞21的形成驱动力由缝隙内外的阴离子、氧气浓度、缝隙内外铜表面的电势差构成。下层的钼也在被腐蚀，间隙23越来越大，缝隙内外的阴离子、氧气浓度梯度差变小，孔洞里的缝隙腐蚀驱动力变小。同时，缝隙的最深处阴离子和氧气浓度差和外界最大，此处的腐蚀活性最强，新的点位的缝隙腐蚀形成并向深处蔓延，便会形成新的孔洞因此，急需提供一种新的光阻剥离装置及光阻剥离方法，用以缓解铜掏空的现象。
技术实现思路
本专利技术的目的是，提供一种光阻剥离装置以及光阻剥离方法，通过在过滤装置的滤芯中添加MOF材料，该材料在可见光下可以捕捉溶液中的氧气，降低溶液中的溶解氧，进而降低缝隙内外的氧浓度差，缓解因基板剥离光阻所产生铜的掏空现象；进一步的，当达到饱和时，可对其进行加热或者紫外光照，将其吸附的氧气释放出去，进而可循环使用滤芯材料。为达到上述目的，提供一种光阻剥离装置，包括:传送带，用以承载并传送一待剥离光阻层的基板；储液槽，存储剥离液，具有一排液口；过滤装置，包括一滤芯，所述滤芯具有MOF材料，所述过滤装置连接所述储液槽，所述MOF材料在可见光的环境下用以吸附所述剥离液中的溶解氧；照明装置，用以照明所述过滤装置；剥离槽，设于所述储液槽以及所述过滤装置的上方，其具有一入口、出口、第一连接孔以及第二连接孔，所述第一连接孔连接所述过滤装置，用以接收来自过滤装置的剥离液并喷洒所述基板，所述第二连接孔连接所述储液槽，用以回收所述剥离液；所述剥离槽还包括：多个喷头，阵列式地设于所述玻璃槽的顶端，通过所述第一连接孔连接所述过滤装置，用以将所述剥离液喷洒至所述光阻层上；风刀，设于所述出口侧，用以去除所述基板上的剥离液；其中，所述传送带贯穿所述出口以及所述入口。进一步地，所述过滤装置还包括加热装置，用以加热所述滤芯，将所述MOF材料吸附的氧气释放。进一步地，所述过滤装置还包括冷却装置，用以消耗所述加热装置产生的热量，维持所述过滤装置稳定的温度环境。进一步地，所述加热装置包括紫外线灯；和/或所述照明装置包括白炽灯；和/或所述过滤装置通过一泵连接所述储液槽。进一步地，所述剥离槽的底部的截面为等腰三角形，所述第二连接孔设于所述底部的中心。进一步地，还包括真空装置，用以使所述剥离槽抽真空。进一步地，所述剥离槽具有一管道，所述管道贯穿所述剥离槽底部，所述管道连接所述过滤装置。本专利技术还提供一种光阻剥离方法，包括：提供待去除光阻层的基板以及前文任一项所述的光阻剥离装置；将所述基板传送至所述入口；通过所述泵抽取所述剥离液输送至所述过滤装置中，打开照明装置，所述剥离液与所述滤芯反应，所述剥离液中的溶解氧被吸附；将过滤好的剥离液输送至所述剥离槽的喷头，并对所述光阻层进行喷洒并进行剥离；剥离结束后，用风刀移除残留的光阻剥离液，将所述基板从所述出口移出。进一步地，在将所述基板传送至所述入口，采用紫外线灯照射所述待去除的光阻层步骤之前包括：打开泵，吸取所述剥离液送入所述过滤装置中，并打开照明装置；将过滤好的剥离液通过所述管道输送至所述剥离槽内，经底部回流至所述剥离槽中。进一步地，还包括：打开所述加热装置，加热所述滤芯，将所述MOF材料吸附的氧气释放。本专利技术的有益效果是：本专利技术提供一种光阻剥离装置以及光阻剥离方法，通过在过滤装置的滤芯中添加MOF材料，该材料在在可见光下可以捕捉溶液中的氧气，降低溶液中的溶解氧，进而降低缝隙内外的氧浓度差，缓解因基板剥离光阻所产生铜的掏空现象；进一步的，当达到饱和时，可对其进行加热或者紫外光照，将其吸附的氧气释放出去，进而可循环使用滤芯材料。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的描述。图1为现有技术的铜掏空现象结构示意图；图2为本专利技术提供的光阻剥离装置的结构示意图；图3为本专利技术提供的MOF材料宏观的结构示意图；图4为图3放大后的部分结构图；图5为本专利技术提供的MOF材料微观的结构示意图；图6为图5的修饰配体部分的结构示意图；图7为本专利技术提供的MOF材料与氧气的可逆反应的结构示意图。光阻剥离装置100。传送带12；储液槽14；过滤装置15；照明装置16；剥离槽11；真空装置18；加热装置151；冷却装置152；入口111；出口112；第一连接孔113；第二连接孔114；喷头116；管道118；风刀117；泵17；基板13。具体实施方式为了更好地理解本专利技术的内容，下面通过具体的实施例对本专利技术作进一步说明，但本专利技术的实施和保护范围不限于此。以下实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本专利技术可用以实施的特定实施例。本专利技术所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「顶」、「底」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本专利技术，而非用以限制本专利技术。如图2所示，本专利技术提供一种光阻剥离装置100，包括:传送带12、储液槽14、过滤装置15、照明装置16、剥离槽11以及真空装置18。所述传送带12用以承载并传送一待剥离光阻层的基板13，所述传送带12的动力由电机驱动。所述储液槽14存储剥离液，以及回收剥离液，具有一排液口，从所述排液口排出。所述过滤装置15包括一滤芯，所述滤芯具有MOF材料，所述过滤装置15连接所述储液槽14。如图3所述，为本专利技术的MOF材料宏观结构图，如图4所示，为图3的部分放大图，可以看到MOF材料的框架，其金属离子与有机配本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光阻剥离装置，其特征在于，包括:/n传送带，用以承载并传送一待剥离光阻层的基板；/n储液槽，存储剥离液，具有一排液口；/n过滤装置，包括一滤芯，所述滤芯具有MOF材料，所述过滤装置连接所述储液槽，所述MOF材料在可见光的环境下用以吸附所述剥离液中的溶解氧；/n照明装置，用以照明所述过滤装置；/n剥离槽，设于所述储液槽以及所述过滤装置的上方，其具有一入口、出口、第一连接孔以及第二连接孔，所述第一连接孔连接所述过滤装置，用以接收来自过滤装置的剥离液并喷洒所述基板，所述第二连接孔连接所述储液槽，用以回收所述剥离液；所述剥离槽还包括：多个喷头，阵列式地设于所述玻璃槽的顶端，通过所述第一连接孔连接所述过滤装置，用以将所述剥离液喷洒至所述光阻层上；风刀，设于所述出口侧，用以去除所述基板上的剥离液；/n其中，所述传送带贯穿所述出口以及所述入口。/n

【技术特征摘要】
1.一种光阻剥离装置，其特征在于，包括:
传送带，用以承载并传送一待剥离光阻层的基板；
储液槽，存储剥离液，具有一排液口；
过滤装置，包括一滤芯，所述滤芯具有MOF材料，所述过滤装置连接所述储液槽，所述MOF材料在可见光的环境下用以吸附所述剥离液中的溶解氧；
照明装置，用以照明所述过滤装置；
剥离槽，设于所述储液槽以及所述过滤装置的上方，其具有一入口、出口、第一连接孔以及第二连接孔，所述第一连接孔连接所述过滤装置，用以接收来自过滤装置的剥离液并喷洒所述基板，所述第二连接孔连接所述储液槽，用以回收所述剥离液；所述剥离槽还包括：多个喷头，阵列式地设于所述玻璃槽的顶端，通过所述第一连接孔连接所述过滤装置，用以将所述剥离液喷洒至所述光阻层上；风刀，设于所述出口侧，用以去除所述基板上的剥离液；
其中，所述传送带贯穿所述出口以及所述入口。


2.根据权利要求1所述的光阻剥离装置，其特征在于，
所述过滤装置还包括加热装置，用以加热所述滤芯，将所述MOF材料吸附的氧气释放。


3.根据权利要求2所述的光阻剥离装置，其特征在于，
所述过滤装置还包括冷却装置，用以消耗所述加热装置产生的热量，维持所述过滤装置稳定的温度环境。


4.根据权利要求2所述的光阻剥离装置，其特征在于，
所述加热装置包括紫外线灯；和/或
所述照明装置包括白炽灯；和/或
所述过滤装置通过一泵连接所述储液槽。

【专利技术属性】
技术研发人员：张月红，
申请(专利权)人：TCL华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44