龙虾眼光学器件X射线偏置角的测试系统与方法技术方案

技术编号:24449840 阅读:29 留言:0更新日期:2020-06-10 13:59
本发明专利技术涉及X射线测试技术领域,公开一种龙虾眼光学器件X射线偏置角的测试系统与方法。前述的测试系统包括X射线光管、龙虾眼光学器件、探测器以及可移除地设置在光路中的半反半透镜与自准直望远镜;X射线光管、龙虾眼光学器件、半反半透镜、探测器构成为一个共轴齐平的光学系统;X射线光管、探测器分别位于龙虾眼光学器件的两侧,并且与龙虾眼光学器件的距离相同;半反半透镜设置在探测器与龙虾眼光学器件的中间位置;自准直望远镜位于半反半透镜90度垂直的正下方。本发明专利技术采用光学成像原理与X射线聚焦成像方法相结合,能够实现快速对龙虾眼光学器件X射线偏置角的完成检测,有助于提高切片精度和龙虾眼光学器件的装配精度。

Measurement system and method of X-ray bias angle of lobster optometry device

【技术实现步骤摘要】
龙虾眼光学器件X射线偏置角的测试系统与方法
本专利技术涉及X射线测试
,具体涉及一种龙虾眼光学器件X射线偏置角的测试系统与方法。
技术介绍
由于X射线特殊物理性质,采用传统的光学望远镜无法实现聚焦和准直。目前常见的X射线准直系统有毛细管X射线平行光透镜和微通道板(MCP)型准直器。毛细管X光透镜虽然可以显著降低X射线传输过程中的衰减,但由于单个毛细管造价成本过高,不适于科学研究,而MCP准直器虽然会提高图像的对比度,但X射线发散角度并不会有很大的改善。X射线聚焦光学系统有K-B型、Wolter型以及龙虾眼型(MPO)。K-B型与Wolter型光学系统虽然具有较高的空间分辨率和收集效率,但K-B型结构的有效立体角一般为10-6~10-7sr,视场小于1mm,放大倍率只能达到3~8倍,并存在严重的彗差和视场倾斜。同时Wolter型系统体积较大,孔径利用率低,集光面积较小,加工难度极高。龙虾眼型系统由于其特殊的正交结构,使其在各个方向的聚焦成像能力具有一致性。理论上,视野范围能达到4π空间角,这是其他掠入射光学系统无法达到的。同本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种龙虾眼光学器件X射线偏置角的测试系统,其特征在于,包括X射线光管、龙虾眼光学器件、探测器以及可移除地设置在光路中的半反半透镜与自准直望远镜;/n所述X射线光管、龙虾眼光学器件、半反半透镜、探测器构成为一个共轴齐平的光学系统;/n所述X射线光管、探测器分别位于龙虾眼光学器件的两侧,并且与龙虾眼光学器件的距离相同;/n所述半反半透镜设置在探测器与龙虾眼光学器件的中间位置;/n所述自准直望远镜位于半反半透镜90度垂直的正下方;/n所述X射线光管,被配置用于朝向龙虾眼光学器件发射X射线;/n所述自准直望远镜,被配置用于朝向半反半透镜发出平行的可见光;/n所述半反半透镜,被配置成将来自准直望远镜...

【技术特征摘要】
1.一种龙虾眼光学器件X射线偏置角的测试系统,其特征在于,包括X射线光管、龙虾眼光学器件、探测器以及可移除地设置在光路中的半反半透镜与自准直望远镜;
所述X射线光管、龙虾眼光学器件、半反半透镜、探测器构成为一个共轴齐平的光学系统;
所述X射线光管、探测器分别位于龙虾眼光学器件的两侧,并且与龙虾眼光学器件的距离相同;
所述半反半透镜设置在探测器与龙虾眼光学器件的中间位置;
所述自准直望远镜位于半反半透镜90度垂直的正下方;
所述X射线光管,被配置用于朝向龙虾眼光学器件发射X射线;
所述自准直望远镜,被配置用于朝向半反半透镜发出平行的可见光;
所述半反半透镜,被配置成将来自准直望远镜的可见光照射到龙虾眼光学器件表面,经龙虾眼光学器件反射、并透过半反半透镜而在探测器上成像;
所述龙虾眼光学器件,被配置用于汇聚X射线以及反射自准直望远镜发出的可见光;
所述探测器设置在龙虾眼光学器件的焦平面上,用于收集聚焦的X射线和反射的可见光,进行相应的成像。


2.根据权利要求1所述的龙虾眼光学器件X射线偏置角的测试系统,其特征在于,所述龙虾眼光学器件的外型为平板状,厚度为1mm~10mm;其内部包括若干根相同的单通道,用以会聚X射线光线,并且可利用其表面反射可见光线。


3.根据权利要求1所述的龙虾眼光学器件X射线偏置角的测试系统,其特征在于,所述龙虾眼光学器件中包括500万~1000万根单通道,每个单通道的边长尺寸为10μm~1000μm。


4.根据权利要求1所述的龙虾眼光学器件X射线偏置角的测试系统,其特征在于,所述探测器为CMOS成像探测器,其单像素大小达到11μm,靶面像素大小为2040×2048。


5.根据权利要求1所述的龙虾眼光学器件X射线偏置角的测试系统,其特征在于,所述自准直望远镜在所述半反半透镜的90度正下方的工作距离长度为1m~5m。

【专利技术属性】
技术研发人员:金戈黎龙辉孙建宁顾燕张振徐昭姜博文张正君廖亦戴徐伟
申请(专利权)人:北方夜视技术股份有限公司
类型:发明
国别省市:云南;53

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