一种薄膜器件制造技术

本发明专利技术公开了一种薄膜器件，包括依次层叠的基板、底层电介质膜层、膜层组件和保护膜层，所述膜层组件包括沿基板向外依次层叠的银膜层、TiNiGaO

A thin film device

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜器件
本专利技术属于薄膜器件
，具体地涉及一种可进行高温热处理的薄膜器件。
技术介绍
普通的玻璃没有隔热功能，随着人们节能意识的增强，现在很多建筑物或汽车都已使用镀膜玻璃(薄膜器件)，这些镀膜玻璃可以起到很好的隔热效果，使建筑物内部或车内的舒适度增加。太阳能电池是用于通过阳光直接生成电流的光伏元件。由于对清洁能源的需求不断增加，最近几年太阳能电池的制造已经大幅扩大并且还在持续扩大。由于透明导电氧化物膜作为透明涂层和电极的多功能性，其在太阳能电池中得到广泛使用。在许多情况下，通过增加透明导电氧化物膜的掺杂物降低电阻导致不期望的透明度的降低，同时透明导电氧化物膜在进行高温热处理后，其一些性能会出现下降。还有为了进一步降低透明导电氧化物膜的电阻，则需要更厚的膜层，这会导致膜层的透过率降低、膜层的应力增大而导致膜层的不稳定性增加，也增加了膜层的制造成本。在太阳能电池、建筑及汽车等应用领域所使用的薄膜器件，其在制备过程都需要经受高温热处理，因此要求该薄膜器件能够耐受高温热处理，同时具备高的可见光透过率、低的电阻、良好的抗机械本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种薄膜器件，包括依次层叠的基板、底层电介质膜层、膜层组件和保护膜层，其特征在于：所述膜层组件包括沿基板向外依次层叠的银膜层、TiNiGaO

【技术特征摘要】
1.一种薄膜器件，包括依次层叠的基板、底层电介质膜层、膜层组件和保护膜层，其特征在于：所述膜层组件包括沿基板向外依次层叠的银膜层、TiNiGaOx膜层和电介质膜层；或所述膜层组件包括沿基板向外依次层叠的TiNiGaOx膜层、银膜层、TiNiGaOx膜层和电介质膜层，所述TiNiGaOx膜层中Ni与Ga原子数量比大于1：4，x≥0。


2.根据权利要求1所述的薄膜器件，其特征在于：所述TiNiGaOx膜层中Ni与Ga原子数量比大于1：1。


3.根据权利要求2所述的薄膜器件，其特征在于：所述TiNiGaOx膜层中Ni与Ga原子数量比大于4：1。


4.根据权利要求1所述的薄膜器件，其特征在于：所述TiNiGaOx膜层的厚度为0.05-10nm。


5.根据权利要求1所述的薄膜器件，其特征在于：所述底层电介质膜层、电介质膜层和保护膜层的膜层厚度均为1-100nm。


6.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：四川猛犸半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51