下载一种薄膜器件的技术资料

文档序号:24438413

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本发明公开了一种薄膜器件,包括依次层叠的基板、底层电介质膜层、膜层组件和保护膜层,所述膜层组件包括沿基板向外依次层叠的银膜层、TiNiGaO...
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