【技术实现步骤摘要】
一种易维护刚柔耦合平台结构及其组成的多自由度运动平台
本专利技术涉及一种刚柔耦合平台，尤其是指一种易维护刚柔耦合平台及其组成的多自由度运动平台。
技术介绍
大行程高精度运动平台在半导体封装等领域有着广泛应用。为综合兼顾大行程和高精度两方面要求，宏微复合运动平台被普遍用于上述大行程高精度运动平台的设计。在典型的宏微复合运动平台中，基于柔性铰链可以有效的解决摩擦死区问题，在不提高成本的前提下，有大幅度提高定位精度的优点，因此工作平台往往会采用基于柔性铰链的设计方案。专利号为CN201811524858.2公开了一种中间调节刚度的刚柔耦合平台及运动平台，以及专利号为CN201811524858.2公开了一种两边调节刚度的刚柔耦合平台及运动平台，这两个专利的技术方案中的弹簧片(柔性铰链片)的设计存在不好维护，更换弹簧片需要整个工作平台拆下来重新装配，若需要调节不同的刚度，则需要准备多组不同间隙的夹板，以适应不同厚度的弹簧片，更换复杂。
技术实现思路
本专利技术为克服上述存在的现有技术的缺陷，提供一种易维护...
【技术保护点】
1.一种易维护刚柔耦合平台，其特征在于，包括工作平台、平台框架、检测元件和驱动元件装置，所述工作平台通过凹凸结构套设于平台框架内，且工作平台通过柔性铰链与所述平台框架连接，平台框架通过导向机构与底座连接；所述工作平台与驱动元件装置的驱动力输出端连接，驱动元件装置驱动工作平台并通过柔性铰链将驱动力转移到平台框架上而使工作平台和平台框架整体沿着导向机构方向移动；所述柔性铰链至少包括两组柔性铰链，且柔性铰链设于工作平台的两个端面上；所述检测元件包括第一组检测器或第一和第二组检测器，所述第一组检测器设于工作平台与底座之间，以检测工作平台在导轨方向的运动位移或速度；所述第二组检测器设...
【技术特征摘要】
1.一种易维护刚柔耦合平台，其特征在于，包括工作平台、平台框架、检测元件和驱动元件装置，所述工作平台通过凹凸结构套设于平台框架内，且工作平台通过柔性铰链与所述平台框架连接，平台框架通过导向机构与底座连接；所述工作平台与驱动元件装置的驱动力输出端连接，驱动元件装置驱动工作平台并通过柔性铰链将驱动力转移到平台框架上而使工作平台和平台框架整体沿着导向机构方向移动；所述柔性铰链至少包括两组柔性铰链，且柔性铰链设于工作平台的两个端面上；所述检测元件包括第一组检测器或第一和第二组检测器，所述第一组检测器设于工作平台与底座之间，以检测工作平台在导轨方向的运动位移或速度；所述第二组检测器设于平台框架与工作平台或底座之间，以检测柔性铰链在导轨方向上的变形量或变形速度。
2.根据权利要求1所述的一种易维护刚柔耦合平台，其特征在于，所述平台框架的侧面上开有切口，所述柔性铰链固定在切口上，所述工作平台的侧面上设有凸起，所述凸起伸入切口内且与柔性铰链固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种易维护刚柔耦合平台，其特征在于，所述平台框架的内底面开有开口，所述驱动元件装置的动力输出端通过开口与所述工作平台的底面固定连接。
4.根据权利要求2所述的一种易维护刚柔耦合平台，其特征在于，所述切口的上端固定安装有压边封条板，所述柔性铰链的上部通过上压块与压边封条板固定连接，柔性铰链的下部通过下压块与平台框架固定连接，柔性铰链的中部通过中压块与工作平台的凸起固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种易维护刚柔耦合平台...
【专利技术属性】
技术研发人员：苏丽云，杨志军，黄瑞锐，白有盾，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
国别省市：广东;44
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