【技术实现步骤摘要】
浆料管调整架
本专利技术与浆料管调整架有关；特别是指一种可调整浆料管位置及倾斜角度的调整架。
技术介绍
在一般晶圆片制造过程中，晶柱系利用钻石线切割成一片一片的晶圆片，以供后续的电子晶片制程、太阳能晶片制程使用。当使用钻石线切割晶柱时，钻石线会对晶圆摩擦产生热，使晶圆温度升高，因此需要喷洒水柱使晶圆降温。然而，用以降温的传统浆料管大多系以一体成形的方式模铸制成，当浆料管需要清洗管体内部时，将难以彻底清除杂质污垢。另一方面，当使用钻石线切割晶柱时，钻石线系缠绕于主轮上，且与主轮同动。在长期使用下，钻石线会磨损主轮表面，需将主轮表面抛磨平整后，方能继续使用；因此，主轮的轮径会因磨损而越来越小，使钻石线与晶柱的接触位置往下降。然而，传统浆料管的调整架系以焊接方式固定在晶柱切割机中，且无法调整浆料管的位置，因此当主轮的轮径因磨损而使使钻石线与晶柱的接触位置降低时，浆料管无法随之调整其位置，以致传统浆料管无法对晶柱切割制程提供较佳的降温效果。是以，传统浆料管结构或传统浆料管调整架仍然存在既有的技术问题，需要克服解决。<...
【技术保护点】
1.一种浆料管调整架，包括：/n一第一架体，对应连接于一浆料管的一第一端部，所述第一架体包括一第一固定座、一第一移动件、一第二移动件及一定位座，其中所述第一移动件系可分离地连接于所述第一固定座，且所述第一移动件可相对所述第一固定座沿一第一方向位移；所述第二移动件系可分离地连接于所述第一移动件，且所述第二移动件可相对所述第一移动件沿一第二方向位移；所述定位座系连接于所述第二移动件，且可相对于所述第二移动件转动，所述浆料管的所述第一端部系设置于所述定位座上；以及/n一第二架体，对应连接于所述浆料管的一第二端部，所述第二架体包括一第二固定座、一第三移动件及一第四移动件，其中所述第...
【技术特征摘要】
20181130 TW 1071430561.一种浆料管调整架，包括：
一第一架体，对应连接于一浆料管的一第一端部，所述第一架体包括一第一固定座、一第一移动件、一第二移动件及一定位座，其中所述第一移动件系可分离地连接于所述第一固定座，且所述第一移动件可相对所述第一固定座沿一第一方向位移；所述第二移动件系可分离地连接于所述第一移动件，且所述第二移动件可相对所述第一移动件沿一第二方向位移；所述定位座系连接于所述第二移动件，且可相对于所述第二移动件转动，所述浆料管的所述第一端部系设置于所述定位座上；以及
一第二架体，对应连接于所述浆料管的一第二端部，所述第二架体包括一第二固定座、一第三移动件及一第四移动件，其中所述第三移动件系可分离地连接于所述第二固定座，且所述第三移动件可相对所述第二固定座沿所述第一方向及所述第二方向中的一个位移；所述第四移动件系可分离地连接于所述第三移动件，且所述第四移动件可相对所述第三移动件沿所述第一方向及所述第二方向中的另一个位移；所述第四移动件包括一支撑座，所述浆料管的所述第二端部系设置于所述支撑座上。
2.如权利要求1所述的浆料管调整架，其中，所述第一方向与所述第二方向系彼此垂直。
3.如权利要求2所述的浆料管调整架，其中，所述第一方向为一横向，所述第二方向为一纵向，且所述第一方向及所述第二方向系与所述浆料管的长方向垂直。
4.如权利要求1所述的浆料管调整架，其中，所述第一固定座与所述第一移动件系藉由一第一调整机构调整彼此的相对位置；所述第一移动件与所述第二移动件系藉由一第二调整机构调...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘家鸣，陈建铭，王瑞鸿，陈灏，吴翰宗，
申请(专利权)人：环球晶圆股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71
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