浆料管调整架制造技术

一种浆料管调整架包括第一架体及第二架体，其中第一架体系对应连接于浆料管的第一端部，而第二架体系对应连接于浆料管的第二端部。第一架体及第二架体包括可分别沿横向及纵向移动的调整机构，藉以调整浆料管的位置；另外，第一架体包括可转动的调整机构，用以调整浆料管的倾斜角度。

Slurry pipe adjusting frame

【技术实现步骤摘要】
浆料管调整架
本专利技术与浆料管调整架有关；特别是指一种可调整浆料管位置及倾斜角度的调整架。
技术介绍
在一般晶圆片制造过程中，晶柱系利用钻石线切割成一片一片的晶圆片，以供后续的电子晶片制程、太阳能晶片制程使用。当使用钻石线切割晶柱时，钻石线会对晶圆摩擦产生热，使晶圆温度升高，因此需要喷洒水柱使晶圆降温。然而，用以降温的传统浆料管大多系以一体成形的方式模铸制成，当浆料管需要清洗管体内部时，将难以彻底清除杂质污垢。另一方面，当使用钻石线切割晶柱时，钻石线系缠绕于主轮上，且与主轮同动。在长期使用下，钻石线会磨损主轮表面，需将主轮表面抛磨平整后，方能继续使用；因此，主轮的轮径会因磨损而越来越小，使钻石线与晶柱的接触位置往下降。然而，传统浆料管的调整架系以焊接方式固定在晶柱切割机中，且无法调整浆料管的位置，因此当主轮的轮径因磨损而使使钻石线与晶柱的接触位置降低时，浆料管无法随之调整其位置，以致传统浆料管无法对晶柱切割制程提供较佳的降温效果。是以，传统浆料管结构或传统浆料管调整架仍然存在既有的技术问题，需要克服解决。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术之目的在于提供一种浆料管结构，其可藉由拆解盖板，以便于清洁浆料管结构的本体。缘以达成上述目的，本专利技术提供的一种浆料管结构包括一本体、一盖板及多个喷嘴。该本体包括一管壁、两个端壁、多个出料口及一进料口，其中该管壁及该两个端壁构成一长槽及一开口，该多个出料口系沿该本体的一长方向设置于该管壁；该进料口设置于该管壁，该进料口藉由该长槽连通于该多个出料口。该盖板系可拆离地连接于该本体，且对应覆盖该开口。该多个喷嘴系设置于该管壁，其中每一个该喷嘴系分别对应于一个该出料口。本专利技术的另一目的在于提供的一种浆料管调整架，其可调整浆料管本体的位置及倾斜角度，以在晶柱切割制程中提供较佳的降温效果。缘以达成上述目的，本专利技术提供的一种浆料管调整架包括一第一架体及一第二架体。该第一架体系对应连接于一浆料管的一第一端部，该第一架体包括一第一固定座、一第一移动件、一第二移动件及一定位座，其中该第一移动件系可分离地连接于该第一固定座，且该第一移动件可相对该第一固定座沿一第一方向位移；该第二移动件系可分离地连接于该第一移动件，且该第二移动件可相对该第一移动件沿一第二方向位移；该定位座系连接于该第二移动件，且可相对于该第二移动件转动，该浆料管的该第一端部系设置于该定位座上。该第二架体系对应连接于该浆料管的一第二端部，该第二架体包括一第二固定座、一第三移动件及一第四移动件，其中该第三移动件系可分离地连接于该第二固定座，且该第三移动件可相对该第二固定座沿该第一方向及该第二方向中的一个位移；该第四移动件系可分离地连接于该第三移动件，且该第四移动件可相对该第三移动件沿该第一方向及该第二方向中的另一个位移；该第四移动件包括一支撑座，该浆料管的该第二端部系设置于该支撑座上。本专利技术的效果在于浆料管结构具有可拆离的盖板，相较于传统浆料管结构，可便于彻底清洁浆料管结构中的死角。另外，本专利技术实施例所提供的浆料管调整架具有多个调整机构，使浆料管调整架可配合钻石线与晶柱的接触位置调整浆料管结构的位置及倾斜角度，以在晶柱切割制程中提供较佳的降温效果。附图说明图1为本专利技术实施例的浆料管结构的俯视图，其中以虚线表示长槽及进料口的位置；图2为本专利技术实施例的浆料管结构的侧视图，其中以虚线表示长槽、出料口及清洁孔的位置，且盖板与本体分离；图3为本专利技术实施例的浆料管结构的仰视图，其中以虚线表示进料口的位置，其中盖板已移除；图4为本专利技术实施例的浆料管结构的另一仰视图，其中以虚线表示长槽、出料口及进料口的位置，且盖板与本体结合；图5为本专利技术实施例的浆料管结构的另一侧视图，其系绘示从第一端部往第二端部观看的角度；图6为本专利技术实施例的浆料管结构的再一侧视图，其系绘示从第二端部往第一端部观看的角度；图7a为本专利技术实施例的浆料管结构的剖视图；图7b为本专利技术实施例的浆料管结构的另一剖视图；图8为本专利技术实施例的浆料管结构及浆料管调整架组合的俯视图；图9为图8的剖视图，其中系根据剖面线9-9绘示；图10为图8的剖视图，其中系根据剖面线10-10绘示。具体实施方式为能更清楚地说明本专利技术，兹举一优选实施例并配合附图详细说明如后。请参图1至图6所示，为本专利技术一优选实施例的浆料管结构1，其包括本体100、盖板110及多个喷嘴170。本体100包括管壁120、两个端壁140、多个出料口160及两个进料口180，其中管壁120系沿本体100的长方向AX延伸，而两个端壁140系分别位于管壁120的两端，且管壁120及两个端壁140构成一长槽122及一开口124。出料口160系沿本体100的长方向AX设置于管壁120，且每一个出料口160系贯穿管壁120，与长槽122连通。两个进料口180系沿本体100的长方向AX设置于管壁120，且每一个进料口180系贯穿管壁120，与长槽122连通；藉由长槽122，进料口180与出料口160彼此连通。请参考图2及图7a，管壁120包括第一区域123及与第一区域123相邻接的第二区域125，出料口160系设置于第一区域123，且进料口180系设置于第二区域125；进料口180在第一区域123定义有一投影位置，投影位置系介于相邻的两个出料口160之间。在本实施例中，为了使每一个出料口160的压力均衡，两个进料口180系对称设置，但不以此为限制。在实务上，进料口180的数量可为一个或多个，根据出料口160的压力均衡需求而定；换言之，若不要求每一个出料口160的压力均衡，则可由单一进料口180供料，但若要求每一个出料口160的压力均衡，则可如本实施例的方式，由多个进料口180供料。在本专利技术实施例中，每一个进料口180系与一进料管P相连接。请参考图2至图4，盖板110系可拆离地连接于本体100，且对应覆盖开口124。盖板110具有多个清洁孔112，每一个清洁孔112系分别对应于一个出料口160，且每一个清洁孔112通过长槽122与对应的出料口160连通。如图4及图7b所示，清洁孔112在第一区域123的投影系至少一部分与出料口160重叠，因此可从清洁孔112伸入清洁器材C(如针筒)，以对于出料口160进行彻底清洁。在本专利技术实施例中，盖板110与本体100之间可包含一密封环(未绘示)，以加强盖板110与本体100之间的密封效果，避免液体从盖板110与本体100之间的缝隙泄漏。除此之外，盖板110具有多个孔塞116，每一个孔塞116系可分离地分别对应设置于一清洁孔112。由于盖板110具有多个清洁孔112，因此在针对出料口160进行分别清洁时，毋须拆卸盖板110，仅需要拆卸与出料口160相对应的孔塞116，即可利用清洁器材C，针对指定的出料口160进行彻底清洁。请参考图5至图7b，喷嘴170系设置于管壁120，其中每一个喷嘴170系分别对应于一个出料口160。在本实施例中，喷嘴1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种浆料管调整架，包括：/n一第一架体，对应连接于一浆料管的一第一端部，所述第一架体包括一第一固定座、一第一移动件、一第二移动件及一定位座，其中所述第一移动件系可分离地连接于所述第一固定座，且所述第一移动件可相对所述第一固定座沿一第一方向位移；所述第二移动件系可分离地连接于所述第一移动件，且所述第二移动件可相对所述第一移动件沿一第二方向位移；所述定位座系连接于所述第二移动件，且可相对于所述第二移动件转动，所述浆料管的所述第一端部系设置于所述定位座上；以及/n一第二架体，对应连接于所述浆料管的一第二端部，所述第二架体包括一第二固定座、一第三移动件及一第四移动件，其中所述第三移动件系可分离地连接于所述第二固定座，且所述第三移动件可相对所述第二固定座沿所述第一方向及所述第二方向中的一个位移；所述第四移动件系可分离地连接于所述第三移动件，且所述第四移动件可相对所述第三移动件沿所述第一方向及所述第二方向中的另一个位移；所述第四移动件包括一支撑座，所述浆料管的所述第二端部系设置于所述支撑座上。/n

【技术特征摘要】
20181130 TW 1071430561.一种浆料管调整架，包括：
一第一架体，对应连接于一浆料管的一第一端部，所述第一架体包括一第一固定座、一第一移动件、一第二移动件及一定位座，其中所述第一移动件系可分离地连接于所述第一固定座，且所述第一移动件可相对所述第一固定座沿一第一方向位移；所述第二移动件系可分离地连接于所述第一移动件，且所述第二移动件可相对所述第一移动件沿一第二方向位移；所述定位座系连接于所述第二移动件，且可相对于所述第二移动件转动，所述浆料管的所述第一端部系设置于所述定位座上；以及
一第二架体，对应连接于所述浆料管的一第二端部，所述第二架体包括一第二固定座、一第三移动件及一第四移动件，其中所述第三移动件系可分离地连接于所述第二固定座，且所述第三移动件可相对所述第二固定座沿所述第一方向及所述第二方向中的一个位移；所述第四移动件系可分离地连接于所述第三移动件，且所述第四移动件可相对所述第三移动件沿所述第一方向及所述第二方向中的另一个位移；所述第四移动件包括一支撑座，所述浆料管的所述第二端部系设置于所述支撑座上。


2.如权利要求1所述的浆料管调整架，其中，所述第一方向与所述第二方向系彼此垂直。


3.如权利要求2所述的浆料管调整架，其中，所述第一方向为一横向，所述第二方向为一纵向，且所述第一方向及所述第二方向系与所述浆料管的长方向垂直。


4.如权利要求1所述的浆料管调整架，其中，所述第一固定座与所述第一移动件系藉由一第一调整机构调整彼此的相对位置；所述第一移动件与所述第二移动件系藉由一第二调整机构调...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘家鸣，陈建铭，王瑞鸿，陈灏，吴翰宗，
申请(专利权)人：环球晶圆股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71