检查位置确定方法、三维图像生成方法以及检查装置制造方法及图纸

提供一种无需预先确定被检查对象中的检查面的位置(Z方向位置)就能够进行准确的检查的检查位置确定方法、无需预先确定被检查对象中的检查面的位置(Z方向位置)就能够生成检查所需的三维图像来进行检查的三维图像生成方法、以及具有这些方法的检查装置。检查装置(100)具有：存储部(34)，其存储被检查体(基板)的放射线透过图像以及根据该放射线透过图像生成的三维图像；以及控制部(10)，其中，控制部(10)的确定三维图像中的检查位置的处理包括以下步骤：在放射线透过图像中确定检查位置的透过像的位置；以及根据透过像的位置来确定三维图像中的检查位置。

Inspection position determination method, 3D image generation method and inspection device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】检查位置确定方法、三维图像生成方法以及检查装置
本专利技术涉及一种进行被检查体的检查时的检查位置确定方法、三维图像生成方法以及具有这些方法的检查装置。
技术介绍
作为测量基板表面、背面的焊料形状的检查装置，有一种断层合成方式的X射线检查装置(例如，参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2008-026334号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，在这样的X射线检查装置中，需要预先通过激光测长仪等确定基板表面、背面的在Z方向(相对于X射线投射方向或者基板表面的高度方向)上的位置，重构出该高度的截面图像、或者在重构出的截面图像中提取最佳的Z方向的图像，存在检查时间变长的问题。本专利技术是鉴于这样的问题而完成的，目的在于提供一种无需预先确定被检查对象中的检查面的位置(Z方向位置)就能够进行准确的检查的检查位置确定方法、无需预先确定被检查对象中的检查面的位置(Z方向位置)就能够生成检查所需的三维图像来进行检查的三维图像的生成方法、以及具有这些方法的检本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检查位置确定方法，用于确定根据被检查体的放射线透过图像生成的三维图像中的检查位置，所述检查位置确定方法的特征在于，包括以下步骤：/n在所述放射线透过图像中确定所述检查位置的透过像的位置；以及/n根据所述透过像的位置来确定所述三维图像中的所述检查位置。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170928 JP 2017-187450;20170928 JP 2017-1874511.一种检查位置确定方法，用于确定根据被检查体的放射线透过图像生成的三维图像中的检查位置，所述检查位置确定方法的特征在于，包括以下步骤：
在所述放射线透过图像中确定所述检查位置的透过像的位置；以及
根据所述透过像的位置来确定所述三维图像中的所述检查位置。


2.根据权利要求1所述的检查位置确定方法，其特征在于，
在所述确定透过像的位置的步骤中，使用所述检查位置或者所述检查位置的附近的特定的图案、标记的透过像的形状来进行确定。


3.一种检查装置，其特征在于，具有：
存储部，其存储所述放射线透过图像以及所述三维图像；
控制部，其从所述存储部取出所述放射线透过图像，通过根据权利要求1或2所述的检查位置...

【专利技术属性】
技术研发人员：平山巧马，山本洋介，
申请(专利权)人：株式会社先机，
类型：发明
国别省市：日本;JP