一种减反射膜结构及PERC电池制造技术

本实用新型专利技术公开了一种减反射膜结构及PERC电池，能够进一步降低正面钝化介质膜层的反射率，同时进一步提升对表面的钝化效果。一种减反射膜结构，包括依次层叠的第一减反射层、第二减反射层及第三减反射层；所述第一减反射层用于形成在硅基体上，所述第一减反射层为SiOx膜层、AlOx膜层、MgF

An antireflection membrane structure and perc battery

【技术实现步骤摘要】
一种减反射膜结构及PERC电池
本技术属于晶硅太阳能电池领域，涉及一种减反射膜结构、该减反射膜的制备方法及采用该减反射膜的PERC电池。
技术介绍
PERC太阳能电池作为目前光伏市场最主流的产品，由于其背面氧化铝提供优异的钝化效果使得电池具有高效率高功率在市场上具备强的竞争力。正面采用选择性发射极结构可进一步提升PERC电池在短波段的光谱响应，同时通过高方阻扩散降低非掺杂区域的复合，提升电池钝化性效果，提升开压。目前产业化太阳能电池正面减反射膜主要以SiNx膜为主，通过工艺优化目前的SiNx膜可以降低对入射光的反射，目前最优的SiNx膜层结构反射率可做到3～5％。
技术实现思路
本技术提供一种减反射膜结构及PERC电池，能够进一步降低正面钝化介质膜层的反射率，同时进一步提升对表面的钝化效果。为达到上述目的，本技术采用的一种技术方案如下：一种减反射膜结构，包括依次层叠的第一减反射层、第二减反射层及第三减反射层；所述第一减反射层用于形成在硅基体上，所述第一减反射层为SiOx膜层、AlOx膜层、MgF2膜层或由AlOx膜层和MgF2膜层层叠形成的叠层结构；所述第二减反射层为SiNx膜层、SiC膜层或TiOx膜层，或为由选自SiNx膜层、SiC膜层及TiOx膜层中的至少两种层叠形成的叠层结构；所述第三减反射层为SiOxCy膜层或为由SiOxCy膜层和SiOxNy膜层层叠形成的叠层结构。优选地，所述第二减反射层为由SiNx膜层、SiC膜层及TiOx膜层层叠形成的叠层结构。优选地，所述第二减反射层的折射率＞所述第三减反射层的折射率＞所述第一减反射层的折射率。更优选地，所述第一减反射层的折射率为1.4-1.5，所述第二减反射层的折射率为2.1-2.3，所述第三减反射层的折射率为1.7-1.9。优选地，所述第一减反射层的厚度为5-10nm，所述第二减反射层的厚度为50-70nm，所述第三减反射层的厚度为10-30nm。在一优选的实施例中，所述第一减反射层为SiOx膜层，所述第二减反射层为SiNx膜层，所述第三减反射层为SiOxCy膜层。在一优选的实施例中，所述第一减反射层为SiOx膜层，所述第二减反射层为SiNx膜层，所述第三减反射层为由SiOxCy膜层和SiOxNy层叠形成的叠层结构；在一优选的实施例中，所述第一减反射层为SiOx膜层，所述第二减反射层为由SiNx膜层、SiC膜层及TiOx膜层层叠形成的叠层结构，所述第三减反射层为SiOxCy膜层；在一优选的实施例中，所述第一减反射层为MgF2膜层，所述第二减反射层为SiNx膜层，所述第三减反射层为SiOxCy膜层。优选地，所述第一减反射层通过SiH4和N2O的混合气体在等离子体条件下沉积形成。优选地，所述第二减反射层通过SiH4和NH3的混合气体在等离子体条件下进行反应形成，或通过选自CH4、C2H6、C2H4、C2H2中的至少一种与SiH4在PECVD条件下进行反应形成，或通过含钛的金属有机物与O2在等离子体条件下进行反应形成。优选地，所述第三减反射层通过SiH4、CH4、N2O三种混合气体在等离子体条件下进行反应形成，或通过SiH4和N2O的混合气体在等离子体条件下进行反应形成。本技术采用的另一种技术方案如下：一种PERC电池，包括硅基体，还包括如上所述的减反射膜结构，其中，所述减反射膜结构的所述第一减反射层形成于所述硅基体的正面上。本技术采用以上方案，相比现有技术具有如下优点：本技术的折射率低高低相匹配的三层减反射膜结构，既保证了对硅片的钝化效果，又能够有效降低对入射光的反射，尤其是降低波长小于500nm波段光的反射，同时提升波长大于800nm长波段的光谱响应，可将正面介质膜的反射率降低到1％以内。使用本技术的三层减反射膜结构支撑的PERC电池，使用相同的转换效率的电池片在组件端相比常规SiNx减反射膜电池能够更好的封装CTM，即提升光伏组件输出功率1.0W；外观上较常规SiNx减反膜发暗，减反射效果更优；附图说明为了更清楚地说明本技术的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为实施例1的一种PERC电池的结构示意图；图2为实施例2的一种PERC电池的减反射膜结构的结构示意图；图3为实施例3的一种PERC电池的减反射膜结构的结构示意图；图4为实施例4的一种PERC电池的减反射膜结构的结构示意图。其中：100、减反射膜结构；111、SiOx膜层；112、MgF2膜层；121、SiNx膜层；122、SiC膜层；123、TiOx膜层；131、SiOxCy膜层；132、SiOxNy膜层；200、硅基体。具体实施方式下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域的技术人员理解。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本技术，但并不构成对本技术的限定。此外，下面所描述的本技术各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以互相结合。实施例1图1示出了实施例1的一种PERC电池的局部结构。参照图1所示，该PERC电池包括硅基体200及形成于硅基体200正面上的减反射膜结构100。其中，硅基体200为掺杂处理后的硅基体，减反射膜结构100形成在硅基体200的正面掺杂层上。具体地，如图1所示，所述减反射膜结构100由依次层叠的第一减反射层、第二减反射层及第三减反射层组成，且第一减反射层形成在硅基体200的正面上和硅基体接触。其中，第一减反射层可为SiOx膜层、AlOx膜层、MgF2膜层或由AlOx膜层和MgF2膜层层叠形成的叠层结构；所述第一减反射层的制备包括通过SiH4和N2O的混合气体在等离子体条件下沉积的步骤。第二减反射层为SiNx膜层、SiC膜层或TiOx膜层，或为由选自SiNx膜层、SiC膜层及TiOx膜层中的至少两种层叠形成的叠层结构；所述第二减反射层的制备包括通过SiH4和NH3的混合气体在等离子体条件下进行反应，或通过选自CH4、C2H6、C2H4、C2H2中的至少一种与SiH4在PECVD条件下进行反应，或通过含钛的金属有机物与O2在等离子体条件下进行反应的步骤。第三减反射层为SiOxCy膜层或为由SiOxCy膜层和SiOxNy膜层层叠形成的叠层结构；所述第三减反射层的制备包括通过SiH4、CH4、N2O三种混合气体在等离子体条件下进行反应，或通过SiH4和N2O的混合气体在等离子体条件下进行反应的步骤。所述第二减反射层的折射率大于第一减反射层及第二减反射层的折射率。进一步地，所述第二减反射层的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种减反射膜结构，其特征在于：包括依次层叠的第一减反射层、第二减反射层及第三减反射层；所述第一减反射层用于形成在硅基体上，所述第一减反射层为SiOx膜层、AlOx膜层、MgF

【技术特征摘要】
1.一种减反射膜结构，其特征在于：包括依次层叠的第一减反射层、第二减反射层及第三减反射层；所述第一减反射层用于形成在硅基体上，所述第一减反射层为SiOx膜层、AlOx膜层、MgF2膜层或由AlOx膜层和MgF2膜层层叠形成的叠层结构；所述第二减反射层为SiNx膜层、SiC膜层或TiOx膜层，或为由选自SiNx膜层、SiC膜层及TiOx膜层中的至少两种层叠形成的叠层结构；所述第三减反射层为SiOxCy膜层或为由SiOxCy膜层和SiOxNy膜层层叠形成的叠层结构。


2.根据权利要求1所述的减反射膜结构，其特征在于：所述第二减反射层为由SiNx膜层、SiC膜层及TiOx膜层层叠形成的叠层结构。


3.根据权利要求1所述的减反射膜结构，其特征在于：所述第二减反射层的折射率＞所述第三减反射层的折射率＞所述第一减反射层的折射率。


4.根据权利要求3所述的减反射膜结构，其特征在于：所述第一减反射层的折射率为1.4-1.5，所述第二减反射层的折射率为2.1-2.3，所述第三减反射层的折射率为1.7-1.9...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏青竹，倪志春，苗凤秀，连维飞，李怡洁，
申请(专利权)人：苏州腾晖光伏技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32