【技术实现步骤摘要】
一种多料盒半自动式等离子体处理装置及其使用方法
本专利技术涉及等离子体处理设备
,具体地说是一种多料盒半自动式等离子体处理装置及其使用方法。
技术介绍
等离子体是不同于固体、液体和气体,是物质存在的第四态,等离子体又叫做电浆,是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质。等离子体技术在众多领域都具有十分显著的优点,在对材料表面进行改性处理方面,具有成本低、无废弃物、无污染等优点;在杀菌消毒方面具有安全性高、无药物残留、灭菌时间短、无环境污染等优点;在对各类污染物(废气、废水)处理方面具有能耗低、效率高、处理流程短、适用范围广等优点。现有技术中等离子体处理装置,一方面在使用过程中存在人工成本高,处理效率低的问题,例如,往往需要人工每次处理前打开腔门,将待处理物料放置到真空腔内,关闭真空腔,然后抽真空,待真空度达到背底真空后,充入工艺气体,达到平衡后,打开电源进行放电,待等离子体处理完成后,关闭电源,关闭充气,关闭真空泵,打开破真空阀,待真空腔内压力达到大气压后,打 ...
【技术保护点】
1.一种多料盒半自动式等离子体处理装置,其特征在于,包括机箱(1)、真空腔(2)、升降组件(4)、平移组件(6)、弹夹料架(5)及夹板组件(7);/n所述机箱(1)内设置有机架,所述真空腔(2)、升降组件(4)、平移组件(6)、弹夹料架(5)及夹板组件(7)均固定在所述机架上;/n所述弹夹料架(5)设置在所述升降组件(4)上,所述夹板组件(7)设置在所述平移组件(6)上。/n
【技术特征摘要】
1.一种多料盒半自动式等离子体处理装置,其特征在于,包括机箱(1)、真空腔(2)、升降组件(4)、平移组件(6)、弹夹料架(5)及夹板组件(7);
所述机箱(1)内设置有机架,所述真空腔(2)、升降组件(4)、平移组件(6)、弹夹料架(5)及夹板组件(7)均固定在所述机架上;
所述弹夹料架(5)设置在所述升降组件(4)上,所述夹板组件(7)设置在所述平移组件(6)上。
2.根据权利要求1所述的多料盒半自动式等离子体处理装置,其特征在于,所述真空腔(2)包括腔体(201)、腔盖(202),所述腔盖(202)的一端设置有滑动组件(3),以使得所述腔盖(202)能够相对所述腔体(201)移动;
所述腔体(201)内设置有正极板(203),所述正极板(203)与所述腔体(201)之间通过绝缘板固定连接,所述腔体(201)下端设置有排气口和电极柱,所述电极柱与所述正极板(203)连接。
3.根据权利要求2所述的多料盒半自动式等离子体处理装置,其特征在于,所述腔体(201)内设置有导向条(204),所述导向条(204)设置在所述正极板(203)上方,所述导向条(204)上设置有导向槽(801),所述导向槽(801)用于放置待处理物料。
4.根据权利要求2所述的多料盒半自动式等离子体处理装置,其特征在于,所述滑动组件(3)包括第一基板(301)、第一滑动架(302)、第一驱动电机(303)、第一丝杆,所述第一滑动架(302)一端与所述腔盖(202)固定连接,所述第一滑动架(302)与所述第一丝杆滑动连接,所述第一驱动电机(303)与所述第一丝杆传动连接。
5.根据权利要求1-4任一项所述的多料盒半自动式等离子体处理装置,其特征在于,所述升降组件(4)包括升降机(401)、步进电机(402)、螺杆(403)、升降平台(404),所述步进电机(402)通过联轴器与所述升降机(401)连接,所述螺杆(403)一端与所述升降机(401)连接,另一端与所述升降平台(404)固定连接,所述弹夹料架(5)设置在所述升降平台(404)上。
6.根据权利要求1-4任一项所述的多料盒半自动式等离子体处理装置,其特征在于,所述平移组件(6)包括第二基板(601)、第二滑动架(602)、第二驱动电机、第二丝杆、移动板(603),所述移动板(603)通过连接板与所述第二滑动架(602)固定连接,所述夹板组件(7)固定在所述移动板(603)上;
所述第二滑动架(602)与所述第二丝杆滑动连接,所述第二驱动电机与所述第二丝杆传动连接。
7.根据权利要求1-4任一项所述的多料盒半自...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘鑫培,沈文凯,王红卫,
申请(专利权)人:苏州市奥普斯等离子体科技有限公司,苏州德睿源等离子体研究院有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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