【技术实现步骤摘要】
以有机金属溶液为主的高分辨率图案化组合物本申请是申请日为2014年7月25日、申请号为201480051859.3、专利技术名称为“以有机金属溶液为主的高分辨率图案化组合物”的专利技术专利申请的分案申请。关于政府权利的说明本文所述本专利技术的研发至少部分地是经由美国国家科学基金会(U.S.NationalScienceFoundation)资助IIP-0912921并由政府提供资金支持，并且美国政府享有本专利技术的某些权利。
本专利技术涉及使用有机金属涂料组合物的图案化材料的性能的以辐射为主的方法。本专利技术进一步涉及可沉积以形成可利用辐射以极高分辨率图案化的有机金属涂层的前体溶液，并且涉及在图案化之前和之后利用所述前体溶液形成的经涂布衬底和涂层。
技术介绍
对于以半导体为主的装置以及其它电子装置或其它复杂精细结构的形成，通常将材料图案化以整合结构。因此，所述结构通常经由依序沉积和蚀刻步骤的反复工艺(经由其形成各种材料的图案)形成。以此方式，可将大量装置形成于小区域中。业内的一些发展可涉及减少装置的占...
【技术保护点】
1.一种前体溶液，其包含有机液体和具有支链烷基配体的金属多核氧/羟阳离子，所述支链烷基配体具有金属浓度为从约0.01M到约1.4M的金属碳键，其中具有支链烷基配体的所述金属多核氧/羟阳离子形成氧-羟网状物，所述氧-羟网状物同时具有M-O-H连接键和M-O-M连接键。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
20130822 US 13/973,0981.一种前体溶液，其包含有机液体和具有支链烷基配体的金属多核氧/羟阳离子，所述支链烷基配体具有金属浓度为从约0.01M到约1.4M的金属碳键，其中具有支链烷基配体的所述金属多核氧/羟阳离子形成氧-羟网状物，所述氧-羟网状物同时具有M-O-H连接键和M-O-M连接键。
2.根据权利要求1所述的前体溶液，其中所述有机液体包括醇。
3.根据权利要求1所述的前体溶液，其中所述有机液体包括酯或酮。
4.根据权利要求1所述的前体溶液，其中所述支链烷基配体包括叔丁基配体。
5.根据权利要求1所述的前体溶液，其中所述金属为锡。
6.一种图案化衬底，其包含具有表面和第一涂层的衬底，所述第一涂层在沿所述表面的选择区域处且在沿所述表面的其它区域处不存在，所述第一涂层包含金属氧-羟网状物和具有金属阳离子的支链烷基配体，所述金属阳离子具有含有金属碳键和/或金属羧酸盐键的有机配体，其中所述氧-羟网状物同时具有M-O-H连接键和M-O-M连接键，其中所述第一涂层可溶于至少一种有机液体中。
7.根据权利要求6所述的图案化衬底，其中所述支链烷基配体包括叔丁基配体。
8.根据权利要求6所述的图案化衬底，所述第一涂层具有不超过约10微米的平均厚度和沿所述涂层在任何点处与所述平均值相差不超过约50％的厚度变化。
9.根据权利要求6所述的图案化衬底，其中连接到具有金属碳键的所述金属阳离子的有机配体与所述金属阳离子之间的摩尔比是约0.5到约3。
10.根据权利要求6所述的图案化衬底，其中所述金属为锡。
11.根据权利要求6所述的图案化衬底，其中所述第一涂层有效溶于选自下列的至少一些有机液体：芳香化合物、酯、醇、酮、醚和其组合，并且所述图案化衬底进一步包括第二涂层，所述第二涂层在沿所述表面的不存在所述第一涂层的区域处，其中所述第二涂层溶于碱水溶液中。
技术研发人员：S·T·迈耶斯，D·A·凯斯勒，蒋凯，J·安德森，A·格伦维尔，
申请(专利权)人：因普利亚公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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