感光性树脂组合物、经图案化的固化膜的制造方法、及经图案化的固化膜技术

本发明专利技术的课题在于提供能形成直线行进性及与基板的密合性优异、并且截面的形状良好的经图案化的固化膜的感光性树脂组合物、使用了该感光性树脂组合物的经图案化的固化膜的制造方法、和可利用该制造方法制造的经图案化的固化膜。在包含碱溶性树脂(A)、光聚合性单体(B)、和光聚合引发剂(C)的感光性树脂组合物中，组合使用作为包含经硝基化的咔唑环的特定结构的肟酯化合物的光聚合引发剂(C‑I)、和光聚合引发剂(C‑I)以外的其他光聚合引发剂(C‑II)。

Photosensitive resin composition, manufacturing method of patterned curing film and patterned curing film

【技术实现步骤摘要】
感光性树脂组合物、经图案化的固化膜的制造方法、及经图案化的固化膜
本专利技术涉及感光性树脂组合物、经图案化的固化膜的制造方法、及经图案化的固化膜。
技术介绍
例如，在液晶显示装置之类的显示装置中，常常使用绝缘膜、间隔物(spacer)之类的透光性的构件、黑色矩阵之类的遮光性的构件。这样的构件常常作为经图案化的膜而被形成。为了形成经图案化的膜，广泛使用了通过曝光而形成固化膜的感光性树脂组合物。通过在将这样的感光性树脂组合物以位置选择性的方式曝光后进行显影，能形成经图案化的固化膜。例如，作为能形成透明的固化膜的感光性树脂组合物，提出了包含树脂、聚合性化合物、特定结构的聚合引发剂、和溶剂的组合物(专利文献1)。具体而言，专利文献1的实施例中，公开了包含甲基丙烯酸与具有脂环式环氧基的丙烯酸酯的共聚物、二季戊四醇六丙烯酸酯、下述式中任一式表示的聚合引发剂、和由3-甲氧基-1-丁醇、丙二醇单甲基醚乙酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯、及乙酸3-甲氧基丁酯组成的混合溶剂的感光性树脂组合物。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2012-58728号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题另外，对于所有的感光性树脂组合物，常常要求能形成直线行进性及与基板的密合性优异、并且截面的形状良好的经图案化的固化膜。然而，在使用专利文献1中记载的感光性树脂组合物等现有已知感光性树脂组合物的情况下，常常存在无法形成直线行进性及与基板的密合性优异、并且截面的形状良好的经图案化的固化膜的情况。本专利技术是鉴于上述的课题而作出的，目的在于提供：能形成直线行进性及与基板的密合性优异、并且截面的形状良好的经图案化的固化膜的感光性树脂组合物、使用了该感光性树脂组合物的经图案化的固化膜的制造方法、和可利用该制造方法制造的经图案化的固化膜。用于解决课题的手段本申请的专利技术人发现，通过在包含碱溶性树脂(A)、光聚合性单体(B)、和光聚合引发剂(C)的感光性树脂组合物中，组合使用作为包含经硝基化的咔唑环的特定结构的肟酯化合物的光聚合引发剂(C-I)、和光聚合引发剂(C-I)以外的其他光聚合引发剂(C-II)，能解决上述的课题，从而完成了本专利技术。更具体而言，本专利技术提供以下的方案。本专利技术的第1方式为感光性树脂组合物，其是包含碱溶性树脂(A)、光聚合性单体(B)、和光聚合引发剂(C)的感光性树脂组合物，光聚合引发剂(C)包含下述式(C1)表示的光聚合引发剂(C-I)、和光聚合引发剂(C-I)以外的其他光聚合引发剂(C-II)，(式(C1)中，X01为从下述式(C1-1)表示的结构中除去键合在芳香族环上的氢原子中的t2+t3个氢原子而得到的基团，X02及X03各自独立地为1价有机基团，X04及X05各自独立地为氢原子、可以具有取代基的碳原子数为1以上且11以下的烷基、或可以具有取代基的芳基，t0～t3各自独立地为θ或1，t2及t3中的至少一方为1，式(C1-1)中，X06为以C-N键与咔唑环中的氮原子键合的1价有机基团，t4及t5各自独立地为0或1，t4及t5中的至少一方为1。)光聚合引发剂(C)的质量中的、前述光聚合引发剂(C-I)的质量的比率为20质量％以上且95质量％以下。本专利技术的第2方式为经图案化的固化膜的制造方法，其包括下述步骤：将第1方式涉及的感光性树脂组合物涂布于基板上而形成涂布膜的步骤，将涂布膜以位置选择性的方式曝光的步骤，和将经曝光的涂布膜显影的步骤。本专利技术的第3方式为经图案化的固化膜，其是由第1方式涉及的感光性树脂组合物的固化物形成的。专利技术的效果通过本专利技术，可提供：能形成直线行进性及与基板的密合性优异、并且截面的形状良好的经图案化的固化膜的感光性树脂组合物、使用了该感光性树脂组合物的经图案化的固化膜的制造方法、和可利用该制造方法制造的经图案化的固化膜。附图说明[图1]为示意性地表示具备正圆锥的截面形状的、使用感光性树脂组合物形成的固化膜的图案宽度方向截面形状的图。[图2]为示意性地表示具备倒圆锥的截面形状的、使用感光性树脂组合物形成的固化膜的图案宽度方向截面形状的图。具体实施方式《感光性树脂组合物》感光性树脂组合物包含碱溶性树脂(A)、光聚合性单体(B)、和光聚合引发剂(C)。对于感光性树脂组合物而言，作为光聚合引发剂(C)，组合地包含后述的式(C1)表示的光聚合引发剂(C-I)、和光聚合引发剂(C-I)以外的其他光聚合引发剂(C-II)。光聚合引发剂(C)的质量中的、光聚合引发剂(C-I)的质量的比率为20质量％以上且95质量％以下。通过使感光性树脂组合物组合地包含规定量的光聚合引发剂(C-I)、和光聚合引发剂(C-II)，从而能使用感光性树脂组合物来形成直线行进性及与基板的密合性优异、并且截面的形状良好的经图案化的固化膜。以下，对感光性树脂组合物中包含的、必需或任选的成分进行说明。<碱溶性树脂(A)>感光性树脂组合物包含碱溶性树脂(A)。作为碱溶性树脂(A)，没有特别限制，可从以往在各种感光性树脂组合物中配合的碱溶性树脂中适当选择。此处，本说明书中，所谓碱溶性树脂(A)，是指在分子内具备赋予其碱溶性的官能团(例如，酚式羟基、羧基、磺酸基等)的树脂。关于优选作为碱溶性树脂(A)的树脂，可举出具有Cardo结构的树脂(a-1)(以下，也记为“Cardo树脂(a-1)”。)。使用Cardo树脂(a-1)作为碱溶性树脂时，容易得到分辨率优异的感光性树脂组合物，容易使用感光性树脂组合物形成不易因加热而过度流动的固化膜。因此，容易形成形状良好的固化膜。〔具有Cardo结构的树脂(a-1)〕作为Cardo树脂(a-1)，可使用在其结构中具有Cardo骨架、具有规定的碱溶性的树脂。所谓Cardo骨架，是指在构成第1环状结构的1个环碳原子上键合第2环状结构和第3环状结构而成的骨架。需要说明的是，第2环状结构与第3环状结构可以为相同的结构，也可以为不同的结构。作为Cardo骨架的代表例，可举出在芴环的9位的碳原子上键合2个芳香环(例如苯环)而成的骨架。作为Cardo树脂(a-1)，没有特别限制，可使用现有已知的树脂。其中，优选下述式(a-1)表示的树脂。式(a-1)中，Xa表示下述式(a-2)表示的基团。ml表示0以上且20以下的整数。上述式(a-2)中，Ra1各自独立地表示氢原子、碳原子数为1以上且6以下的烃基、或卤素原子，Ra2各自独立地表示氢原子或甲基，Ra3各自独立地表示直链或支链的亚烷基，m2表示0或1，Wa表示下述式(a-3)表示的基团。式(a-2)中，作为Ra3，优选碳原子数为1以上且20以下的亚烷基，更优选碳原子数为1以上且10以下的亚烷基，特别优选碳原子数为1以上且6以下本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.感光性树脂组合物，其是包含碱溶性树脂(A)、光聚合性单体(B)、和光聚合引发剂(C)的感光性树脂组合物，/n所述光聚合引发剂(C)包含下述式(C1)表示的光聚合引发剂(C-I)、和所述光聚合引发剂(C-I)以外的其他光聚合引发剂(C-II)，/n

【技术特征摘要】
20181129 JP 2018-2242311.感光性树脂组合物，其是包含碱溶性树脂(A)、光聚合性单体(B)、和光聚合引发剂(C)的感光性树脂组合物，
所述光聚合引发剂(C)包含下述式(C1)表示的光聚合引发剂(C-I)、和所述光聚合引发剂(C-I)以外的其他光聚合引发剂(C-II)，



式(C1)中，X01为从下述式(C1-1)表示的结构中除去键合在芳香族环上的氢原子中的t2+t3个氢原子而得到的基团，X02及X03各自独立地为1价有机基团，X04及X05各自独立地为氢原子、可以具有取代基的碳原子数为1以上且11以下的烷基、或可以具有取代基的芳基，t0～t3各自独立地为0或1，t2及t3中的至少一方为1，



式(C1-1)中，X06为以C-N键与咔唑环中的氮原子键合的1价有机基团，t4及t5各自独立地为0或1，t4及t5中的至少一方为1，
所述光聚合引发剂(C)的质量中的、所述光聚合引发剂(C-I)的质量的比率为20质量％以上且95质量％以下。


2.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述光聚合引发剂(C-II)为肟酯化合物、及/或氨基酮系化合物。


3.如权利要求2所述的感光性树脂组合物，其中，所述光聚合引发剂(C)包含所述肟酯化合物及所述氨基酮系化合物作为所述光聚合引发剂(C-II)。


4.如权利要求2或3所述的感光性树脂组合物，其中，作为所述光聚合引发剂(C-II)的所述肟酯化合物为下述式(C2)表示的化合物，



式(C2)中，Rc1为1价有机基团，Rc2为下述式(C2-1)～(C2-3)中任一式表示的...

【专利技术属性】
技术研发人员：田所惠典，佐藤梓实，山地晃大，盐田大，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP