感光性树脂组合物、经图案化的固化膜的制造方法、及经图案化的固化膜技术

本发明专利技术的课题在于提供能形成直线行进性及与基板的密合性优异、并且截面的形状良好的经图案化的固化膜的感光性树脂组合物、使用了该感光性树脂组合物的经图案化的固化膜的制造方法、和可利用该制造方法制造的经图案化的固化膜。在包含碱溶性树脂(A)、光聚合性单体(B)、和光聚合引发剂(C)的感光性树脂组合物中，组合使用作为包含经硝基化的咔唑环的特定结构的肟酯化合物的光聚合引发剂(C‑I)、和光聚合引发剂(C‑I)以外的其他光聚合引发剂(C‑II)。

Photosensitive resin composition, manufacturing method of patterned curing film and patterned curing film

【技术实现步骤摘要】
感光性树脂组合物、经图案化的固化膜的制造方法、及经图案化的固化膜
本专利技术涉及感光性树脂组合物、经图案化的固化膜的制造方法、及经图案化的固化膜。
技术介绍
例如，在液晶显示装置之类的显示装置中，常常使用绝缘膜、间隔物(spacer)之类的透光性的构件、黑色矩阵之类的遮光性的构件。这样的构件常常作为经图案化的膜而被形成。为了形成经图案化的膜，广泛使用了通过曝光而形成固化膜的感光性树脂组合物。通过在将这样的感光性树脂组合物以位置选择性的方式曝光后进行显影，能形成经图案化的固化膜。例如，作为能形成透明的固化膜的感光性树脂组合物，提出了包含树脂、聚合性化合物、特定结构的聚合引发剂、和溶剂的组合物(专利文献1)。具体而言，专利文献1的实施例中，公开了包含甲基丙烯酸与具有脂环式环氧基的丙烯酸酯的共聚物、二季戊四醇六丙烯酸酯、下述式中任一式表示的聚合引发剂、和由3-甲氧基-1-丁醇、丙二醇单甲基醚乙酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯、及乙酸3-甲氧基丁酯组成的混合溶剂的感光性树脂组合物。现有技术文献专利文献专利本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.感光性树脂组合物，其是包含碱溶性树脂(A)、光聚合性单体(B)、和光聚合引发剂(C)的感光性树脂组合物，/n所述光聚合引发剂(C)包含下述式(C1)表示的光聚合引发剂(C-I)、和所述光聚合引发剂(C-I)以外的其他光聚合引发剂(C-II)，/n

【技术特征摘要】
20181129 JP 2018-2242311.感光性树脂组合物，其是包含碱溶性树脂(A)、光聚合性单体(B)、和光聚合引发剂(C)的感光性树脂组合物，
所述光聚合引发剂(C)包含下述式(C1)表示的光聚合引发剂(C-I)、和所述光聚合引发剂(C-I)以外的其他光聚合引发剂(C-II)，



式(C1)中，X01为从下述式(C1-1)表示的结构中除去键合在芳香族环上的氢原子中的t2+t3个氢原子而得到的基团，X02及X03各自独立地为1价有机基团，X04及X05各自独立地为氢原子、可以具有取代基的碳原子数为1以上且11以下的烷基、或可以具有取代基的芳基，t0～t3各自独立地为0或1，t2及t3中的至少一方为1，



式(C1-1)中，X06为以C-N键与咔唑环中的氮原子键合的1价有机基团，t4及t5各自独立地为0或1，t4及t5中的至少一方为1，
所述光聚合引发剂(C)的质量中的、所述光聚合引发剂(C-I)的质量的比率为20质量％以上且95质量％以下。


2.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述光聚合引发剂(C-II)为肟酯化合物、及/或氨基酮系化合物。


3.如权利要求2所述的感光性树脂组合物，其中，所述光聚合引发剂(C)包含所述肟酯化合物及所述氨基酮系化合物作为所述光聚合引发剂(C-II)。


4.如权利要求2或3所述的感光性树脂组合物，其中，作为所述光聚合引发剂(C-II)的所述肟酯化合物为下述式(C2)表示的化合物，



式(C2)中，Rc1为1价有机基团，Rc2为下述式(C2-1)～(C2-3)中任一式表示的...

【专利技术属性】
技术研发人员：田所惠典，佐藤梓实，山地晃大，盐田大，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP