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感光性树脂组合物、经图案化的固化膜的制造方法、及经图案化的固化膜技术
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文档序号:24408041
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本发明的课题在于提供能形成直线行进性及与基板的密合性优异、并且截面的形状良好的经图案化的固化膜的感光性树脂组合物、使用了该感光性树脂组合物的经图案化的固化膜的制造方法、和可利用该制造方法制造的经图案化的固化膜。在包含碱溶性树脂(A)、光聚合...
该专利属于东京应化工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京应化工业株式会社授权不得商用。
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