X射线探测器电学参数测试系统及其测试方法技术方案

本发明专利技术公开了X射线探测器电学参数测试系统，包括：一个屏蔽箱，所述屏蔽箱用于放置X射线光源、升降架、支撑臂以及样品盒；一个仪表柜，所述仪表柜用于安装X射线管电源、X射线管控制器、半导体参数分析仪、静电计以及控制计算机；一个真空机组，所述真空机组通过气管与阀门连接，对样品盒抽真空；本发明专利技术还提出X射线探测器电学参数测试方法，包括以下步骤：将X射线探测器放置并固定在样品盒底部，将两根电极引线焊分别接到两个同轴电接头的芯线柱上，盖上并用螺钉固定样品盒密封盖，进行电学参数测试。本系统具有多功能、多参数的测试优势，能够对X射线探测器的电学参数进行比较完整的测试和评估，是研发新型或高性能探测器的重要工具。

Measurement system and method of electrical parameters of X-ray detector

【技术实现步骤摘要】
X射线探测器电学参数测试系统及其测试方法
本专利技术涉及光电半导体和光电探测器电学参数测试
，尤其涉及X射线探测器电学参数测试系统及其测试方法。
技术介绍
X射线探测器是一类重要的传感器，可用于环境辐射监测、医疗X射线治疗剂量监测、X射线通信等多个领域。基于半导体材料的X射线探测器具有体积小、易于集成、探测性能优异的特点，如硅光电二极管(Si-PIN)、硅光电倍增管(SiPM)、碲化镉(CdTe)、碲锌镉(CdZnTe)等较为成熟的固态X射线探测器。近年来，也研究出了适于研制X射线探测器的新型材料，如BiI3、PbI2、CsPbBr3、CsPbI3、CH3NH3PbI3、Cs2BiAgBr6等化合物半导体以及金刚石。基于上述新型化合物半导体的X射线探测器的电学参数是评估器件性能的重要依据。电学参数包括，室温下无光照时探测器的电流值和电阻值，称之为暗电流和暗电阻；X射线照射时探测器的电流值和电阻值，称之为光电阻和光电流；不同偏置电压下的电流值，称之为电流—电压曲线；以及反复开或管X射线照射时器件的响应电流曲线。由于空气与X射线相互作本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.X射线探测器电学参数测试系统，其特征在于，包括：/n一个屏蔽箱(1)，所述屏蔽箱(1)用于放置X射线光源(101)、升降架(104)、支撑臂(106)以及样品盒(102)；/n一个仪表柜(2)，所述仪表柜(2)用于安装X射线管电源(203)、X射线管控制器(204)、半导体参数分析仪(205)、静电计(207)、源测量单元(209)以及控制计算机(210)；/n一个真空机组(3)，所述真空机组(3)通过气管(113)与阀门(111)连接，对样品盒(102)抽真空；/n还包括多个线缆(110、201、202、206、208)以及多个电接头(108、109)，将屏蔽箱(1)内的X射线光源(10...

【技术特征摘要】
1.X射线探测器电学参数测试系统，其特征在于，包括：
一个屏蔽箱(1)，所述屏蔽箱(1)用于放置X射线光源(101)、升降架(104)、支撑臂(106)以及样品盒(102)；
一个仪表柜(2)，所述仪表柜(2)用于安装X射线管电源(203)、X射线管控制器(204)、半导体参数分析仪(205)、静电计(207)、源测量单元(209)以及控制计算机(210)；
一个真空机组(3)，所述真空机组(3)通过气管(113)与阀门(111)连接，对样品盒(102)抽真空；
还包括多个线缆(110、201、202、206、208)以及多个电接头(108、109)，将屏蔽箱(1)内的X射线光源(101)和样品(115)和(102)与仪表柜(2)上的X射线管电源(203)、X射线管控制器(204)、半导体参数分析仪(205)、静电计(207)、源测量单元(209)以及控制计算机(210)进行电连接。


2.根据权利要求1所述的X射线探测器电学参数测试系统，其特征在于，所述屏蔽箱(1)是由带金属包封层的铅板制成。


3.根据权利要求1所述的X射线探测器电学参数测试系统，其特征在于，所述X射线光源(101)安装在支撑臂(106)上。


4.根据权利要求1所述的X射线探测器电学参数测试系统，其特征在于，所述样品盒(102)是由圆筒形金属制成，含有阀门(111)、多个电接头(108)和带有窗口片(107)的密封盖。


5.根据权利要求1所述的X射线探测器电学参数测试系统，其特征在于，所述样品盒(102)安装在X射线光源(101)出射窗口(103)的正下方。


6.根据权利要求1所述的X射线探测器电学参数测试系统，其特征在于，所述真空机组...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙辉，
申请(专利权)人：成都信息工程大学，
类型：发明
国别省市：四川;51