下载X射线探测器电学参数测试系统及其测试方法的技术资料

文档序号:24407022

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本发明公开了X射线探测器电学参数测试系统,包括:一个屏蔽箱,所述屏蔽箱用于放置X射线光源、升降架、支撑臂以及样品盒;一个仪表柜,所述仪表柜用于安装X射线管电源、X射线管控制器、半导体参数分析仪、静电计以及控制计算机;一个真空机组,所述真空机...
该专利属于成都信息工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过成都信息工程大学授权不得商用。

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