【技术实现步骤摘要】
日冕仪物镜散射杂散光的检测装置及检测方法
本专利技术涉及日冕仪物镜检测
,特别涉及一种利用鬼像原理的日冕仪物镜散射杂散光的检测装置及检测方法。
技术介绍
日冕仪是通过遮挡太阳从而观测日冕的装置。由于日冕仪的物镜直接受到太阳照射,使得物镜表面的光滑程度及缺陷情况要求非常高,并由于存在物镜表面加工水平未达到要求,在运输过程中造成损坏、划痕等,以及包装的残留物附着在物镜表面等原因都可能造成物镜表面的洁净程度降低,以上情况会对日冕观测造成非常大的干扰。因此,技术人员需要定期清洁日冕仪物镜,以控制表面灰尘、污点数量,确保日冕仪观测过程中物镜产生的杂散光水平,因此需要特定装置对日冕仪物镜的清洁程度进行检测量化。目前,对日冕仪物镜的检测主要是分为两个方面。一方面,对物镜表面的划痕、麻点进行检测,通常采用观测技术;另一方面,对物镜表面粗糙度进行检测,通常采用AFM、激光干涉仪或轮廓仪等设备检测,得到的检测结果是表面粗糙度的方均根值,并不能直接对散射强度给出量化结果。此外,表面粗糙度的检测装置均为多个采样点检测,每个采样点大小一 ...
【技术保护点】
1.日冕仪物镜散射杂散光的检测装置,其特征在于,包括光源、检测模块及探测器,所述检测模块内沿光路方向依次安装有可调光阑I、消杂光光阑组、场镜组件、成像镜组件,待检镜片安装于所述可调光阑I右侧,所述探测器将所述检测模块的出光侧进行成像,得到所述待检镜片的散射点与鬼像点。/n
【技术特征摘要】
1.日冕仪物镜散射杂散光的检测装置,其特征在于,包括光源、检测模块及探测器,所述检测模块内沿光路方向依次安装有可调光阑I、消杂光光阑组、场镜组件、成像镜组件,待检镜片安装于所述可调光阑I右侧,所述探测器将所述检测模块的出光侧进行成像,得到所述待检镜片的散射点与鬼像点。
2.如权利要求1所述的日冕仪物镜散射杂散光的检测装置,其特征在于,所述消杂光光阑组包括多个消杂光光阑,多个所述消杂光光阑等间隔分布于所述待检镜片到其焦点之间,多个所述消杂光光阑的通光口径逐次等差递减。
3.如权利要求2所述的日冕仪物镜散射杂散光的检测装置,其特征在于,所述消杂光光阑组包括消杂光光阑I、消杂光光阑II及消杂光光阑III,设所述消杂光光阑I、消杂光光阑II及消杂光光阑III的通光口径为D1、D2、D3,通光口径满足:D1=D5+3(D0-D5)/4,D2=D5+2(D0-D5)/4,D3=D5+(D0-D5)/4,其中D5为可调光阑II的通光口径,D0为待检镜片的通光口径。
4.如权利要求1所述的日冕仪物镜散射杂散光的检测装置,其特征在于,所述场镜组件包括可调光阑II、掩体、挡板和调焦场镜,所述可调光阑II和所述掩体安装于所述待检镜片焦点处,所述掩体用于遮挡光路中聚焦的直射光,所述调焦场镜安装于所述待检镜片的像面后侧,所述挡板设于所述调焦场镜周围。
5.如权利要求1所述的日冕仪物镜散射杂散光的检测装置,其特征在于,所述检测模块靠近光源一侧安装有平行光管,所述平行光管与待检镜片之间的距离为d,d>f(Dc+D0)/D,其中Dc为平行光管口径,D...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙明哲,张红鑫,夏利东,刘维新,刘大洋,
申请(专利权)人:山东大学,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,
类型:发明
国别省市:山东;37
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