一种高精度测量大角度光楔楔角的装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种高精度测量大角度光楔楔角的装置和方法，该发明专利技术基于光楔会使光束产生固定的角度偏转的原理，通过测量光束偏角大小来得到大角度光楔楔角的角度偏差。该装置由准直激光光源、带旋转结构的待检光楔、平行光管、面阵CCD组件组成，准直激光光源经过光楔折射后，再经过平行光管会聚于焦面的面阵CCD上。旋转待检光楔，通过旋转角度及面阵CCD上的光斑位置变化来准确测量光楔角度。本发明专利技术装置结构简单、成本低廉、检测方法简单，适用于光楔、平行平板等光学器件的批量生产及高精度测量。

A device and method for measuring wedge angle of large angle optical wedge with high precision

【技术实现步骤摘要】
一种高精度测量大角度光楔楔角的装置及方法
本专利技术涉及光楔参数的测量及标定，具体涉及一种高精度测量大角度光楔楔角的装置及方法。
技术介绍
光楔指的是前后两表面有一定夹角的折射棱镜，又叫做楔镜。由于光楔具有使光束偏转固定角度的作用，它通常可以用来分光或透过窗口等光学元件。又利用其拥有改变光束的传播方向的性质，光楔的应用广泛。例如光楔可以被用作激光取光，可以从激光光路中截取部分光做参考光。还可以用作振荡腔的输出镜，来避免后表面发射光对振荡器的影响；另外双光楔扫描的应用十分广泛。在激光相关设备中，接收与发射光轴之间的微小差异一般采用双光楔来进行调节，确保发射与接收的光轴平行性；双光楔还经常应用于激光扫描装置中，如激光切割、激光测距等光学系统。而在光楔的大批量加工过程中，需要高精度准确的测量出光楔的楔角，尤其是大角度光楔的楔角测量并不快捷。目前测量方法是测角法及其相关的改进方法，如专利号CN201810961946提供了一种透明光楔角度的检测方法与装置，利用棱镜分光和两个CCD，通过测量光楔前后光斑大小来计算得出楔角，该方法测试过程中需要进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精度测量大角度光楔楔角的装置，包括准直激光光源(1)、带旋转结构的待测光楔(2)、平行光管(3)、面阵CCD组件(4)，其特征在于：/n所述的准直激光光源(1)产生准直激光光束，经过带旋转结构的待测光楔(2)后光束方向发生偏转，偏转后的光束经过平行光管(3)会聚后，被平行光管(3)焦面处的面阵CCD组件(4)探测，所述的平行光管(3)与面阵CCD组件(4)需配合使用，面阵CCD组件(4)的光敏面处于平行光管(3)的焦面位置，旋转带旋转结构的待测光楔(2)并记录面阵CCD组件(4)探测到的光斑坐标变化，通过带旋转结构的待测光楔(2)的旋转角度及面阵CCD组件(4)探测到的坐标变化，推算...

【技术特征摘要】
1.一种高精度测量大角度光楔楔角的装置，包括准直激光光源(1)、带旋转结构的待测光楔(2)、平行光管(3)、面阵CCD组件(4)，其特征在于：
所述的准直激光光源(1)产生准直激光光束，经过带旋转结构的待测光楔(2)后光束方向发生偏转，偏转后的光束经过平行光管(3)会聚后，被平行光管(3)焦面处的面阵CCD组件(4)探测，所述的平行光管(3)与面阵CCD组件(4)需配合使用，面阵CCD组件(4)的光敏面处于平行光管(3)的焦面位置，旋转带旋转结构的待测光楔(2)并记录面阵CCD组件(4)探测到的光斑坐标变化，通过带旋转结构的待测光楔(2)的旋转角度及面阵CCD组件(4)探测到的坐标变化，推算出加入光楔前后准直激光光源(1)的角度变化，通过该角度来准确获得带旋转结构的待测光楔(2)的楔角。


2.根据权利要求1所述的一种高精度测量大角度光楔楔角的装置，其特征在于：所述的准直激光光源(1)的波长需要与带旋转结构的待测光楔(2)透射光波长范围、面阵CCD组件(4)的探测波长范围相适应。


3.根据权利要求1所述的一种高精度测量大角度光楔楔角的装置，其特征在于：所述的平行光管(3)的面形偏差RMS值小于λ/10。


4.根据权利要求1所述的一种高精度测量大角度光楔楔角的装置，其特征在于：面阵CCD组件(4)单像素尺寸与平行光管(3)的焦距比值需满足测试精度要求。


5.一种基于权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴金才，窦永昊，张亮，何志平，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31