下载一种高精度测量大角度光楔楔角的装置及方法的技术资料

文档序号:24404911

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本发明公开了一种高精度测量大角度光楔楔角的装置和方法,该发明基于光楔会使光束产生固定的角度偏转的原理,通过测量光束偏角大小来得到大角度光楔楔角的角度偏差。该装置由准直激光光源、带旋转结构的待检光楔、平行光管、面阵CCD组件组成,准直激光光源...
该专利属于中国科学院上海技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。

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