测定装置、测定方法及记录有测定程序的记录介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种测定装置，在现有厚度仪中，在测定具有吸水性的测定对象物的厚度的情况下，测定光及参考光的透过率会因测定对象物的吸水量而变化，测定误差会增加。所述测定装置测定片状测定对象物的厚度，具备：检测部，其检测第一光强度、第二光强度及第三光强度，所述第一光强度是使具有第一波长的第一光透过测定对象物后的光的强度，所述第二光强度是使具有第二波长的第二光透过测定对象物后的光的强度，该第二波长是测定对象物的材料的吸收率比第一波长时低的波长，所述第三光强度是使具有第三波长的第三光透过测定对象物后的光的强度，该第三波长是测定对象物的材料的吸收率比第一波长时低，且含有流体的测定对象物的吸收率比第二波长时低的波长；厚度算出部，其使用第一光强度、第二光强度、及第三光强度，计算出测定对象物的厚度。

Measuring device, measuring method and recording medium with measuring procedure

【技术实现步骤摘要】
测定装置、测定方法及记录有测定程序的记录介质
本专利技术涉及测定装置、测定方法及记录有测定程序的记录介质。
技术介绍
一直以来，已知有利用红外线的透过吸收的红外线厚度仪。(例如，参照专利文献1)。根据专利文献1的红外线厚度仪，使用薄膜的吸收波段波长M光(测定光)和夹着该M光且吸收较少的波段(参考光、参照光)R1、R2，用R1、R2对M光进行补偿运算，能够测定薄膜的厚度。专利文献1：(日本)特开平04－212003号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题但是，在现有厚度仪中，在测定具有吸收流体的特性例如吸水性的测定对象物的厚度的情况下，测定光及参考光的透过率会因测定对象物的流体的吸收量而变化，测定误差会增加。解决课题的技术方案为了解决上述课题，在本专利技术的第一方面中，提供一种测定片状测定对象物的厚度的测定装置。测定装置可以具备检测第一光强度、第二光强度及第一光强度的检测部，所述第一光强度是使具有第一波长的第一光透过测定对象物后的光的强度，所述第二光强度是使具有第二波长的第二光透过测定对象物后的光的强度，该第二波长是测定对象物的材料的吸收率比第一波长时低的波长，所述第三光强度是使具有第三波长的第三光透过测定对象物后的光的强度，该第三波长是测定对象物的材料的吸收率比第一波长时低，且含有流体的测定对象物的吸收率比第二波长时低的波长。测定装置可以具备厚度算出部，该厚度算出部使用第一光强度、第二光强度、及第三光强度，计算出测定对象物的厚度。流体可以为水分。可以还具备修正值算出部，该修正值算出部基于检测部检测到的第一光强度、第二光强度、及第三光强度，计算出降低测定对象物所含的流体对光吸收的影响的修正值，厚度算出部可以使用由修正值算出部计算出的修正值，计算出测定对象物的厚度。修正值算出部可以基于在测定对象物所含的流体的量不同的多种情况下的第一光强度、第二光强度、及第三光强度，计算出修正系数，使用所算出的修正系数，计算出修正值。修正值算出部可以使用(数学式3)式，计算出修正系数，然后将所算出的所述修正系数代入(数学式2)式，计算出所述修正值。【数学式3】(其中，在(数学式3)式中，使测定对象物所含的流体的量发生变化之前的第一光的一次第一透过率、第二光的一次第二透过率、及第三光的一次第三透过率分别是T11、T21、T31，使测定对象物所含的流体的量发生变化之后的第一光的二次第一透过率、第二光的二次第二透过率、及第三光的二次第三透过率分别是T12、T22、T32，α1及α2是所述修正系数，α1+α2＝1)。【数学式2】(其中，在(数学式2)式中，所述第一光的第一透过率、所述第二光的第二透过率、及所述第三光的第三透过率分别是T1、T2、T3，Tc是所述修正值)。可以还具备预先存储修正系数的存储部，修正值算出部可以使用从存储部取得的修正系数，计算出修正值。修正值算出部可以基于第一光强度，计算出使第一光透过测定对象物后的光的第一透过率，基于第二光强度，计算出使第二光透过测定对象物后的光的第二透过率，基于第三光强度，计算出使第三光透过测定对象物后的光的第三透过率，使用所算出的第一透过率、第二透过率、及第三透过率，计算出修正值。检测部可以检测第四光强度，该第四光强度是使具有第四波长的第四光透过测定对象物后的光的强度，该第四波长是测定对象物的材料的吸收率比第一波长时低，且含有流体的测定对象物的吸收率比第二波长时低，且与第三波长不同的波长，修正值算出部可以基于检测部检测到的第一光强度、第二光强度、第三光强度、及第四光强度，计算出降低测定对象物所含的流体对光吸收的影响、及测定对象物的材料对光散射的波长依赖性的影响的修正值。第二波长时的流体的吸光度可以为第三波长时的流体的吸光度的2倍以上。可以还具备输出第一光、第二光、及第三光的光输出部。可以还具备：第一积分球，其设置在相对于测定对象物的第一面具有间隙的位置，具有与第一面对置的第一开口；第二积分球，其设置在相对于测定对象物的第一面相反侧的第二面具有间隙的位置，具有隔着测定对象物而与第一开口对置的第二开口，光输出部可以向第一积分球的内部照射光，检测部可以检测第二积分球的内部的光的强度。在本专利技术的第二方面中，提供一种测定方法，其测定片状测定对象物的厚度。测定方法可以具备检测工序，该检测工序检测第一光强度、第二光强度及第二光强度，所述第一光强度是使具有第一波长的第一光透过测定对象物后的光的强度，第二光强度是使具有第二波长的第二光透过测定对象物后的光的强度，该第二波长是测定对象物的材料的吸收率比第一波长时低的波长，所述第三光强度是使具有第三波长的第三光透过测定对象物后的光的强度，该第三波长是测定对象物的材料的吸收率比第一波长时低，且含有流体的测定对象物的吸收率比第二波长时低的波长。测定方法可以具备计算工序，该计算工序使用所检测到的第一光强度、第二光强度、及第三光强度，计算出测定对象物的厚度。在本专利技术的第三方面中，提供一种记录介质，其记录有测定程序。测定程序可以由计算机执行。测定程序可以使计算机作为检测部发挥功能，该检测部检测第一光强度、第二光强度及第二光强度，所述第一光强度是使具有第一波长的第一光透过测定对象物后的光的强度，所述第二光强度是使具有第二波长的第二光透过测定对象物后的光的强度，该第二波长是测定对象物的材料的吸收率比第一波长时低的波长，所述第三光强度是使具有第三波长的第三光透过测定对象物后的光的强度，该第三波长是测定对象物的材料的吸收率比第一波长时低，且含有流体的测定对象物的吸收率比第二波长时低的波长。测定程序可以使计算机作为厚度算出部发挥功能，所述厚度算出部使用由检测部检测到的第一光强度、第二光强度、及第三光强度，计算出测定对象物的厚度。此外，上述
技术实现思路
并未列举出本专利技术必要的全部特征。另外，这些特征群的子组合也可成为专利技术。附图说明图1是与测定对象物10一同表示本实施方式的测定装置100的图；图2是与测定对象物10一同表示本实施方式的测定装置100的结构例的图；图3是与测定对象物10一同表示本实施方式的测定头220的结构例的图；图4表示使测定对象物10干燥后及吸湿后的透过率图谱；图5表示测定对象物10所含的水分的吸光度的波长特性；图6表示本实施方式的测定装置100计算测定对象物10的厚度的流程；图7表示本实施方式的测定头220的变形例；图8表示可以整体或部分地将本专利技术的多种方式具体化的计算机2200的例子。标记说明10测定对象物100测定装置110光输出部120光源130滤光部132第一滤光片134第二滤光片136第三滤光片140旋转控制部150检测部160修正值算出部170存储部180厚度算出部190厚度输出部210框架220测定头<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测定装置，其测定片状测定对象物的厚度，其具备：/n检测部，其检测第一光强度、第二光强度及第三光强度，/n厚度算出部，其使用所述第一光强度、所述第二光强度、及所述第三光强度，计算出所述测定对象物的厚度，/n所述第一光强度是使具有第一波长的第一光透过所述测定对象物后的光的强度，/n所述第二光强度是使具有第二波长的第二光透过所述测定对象物后的光的强度，该第二波长是所述测定对象物的材料的吸收率比所述第一波长时低的波长，/n所述第三光强度是使具有第三波长的第三光透过所述测定对象物后的光的强度，该第三波长是所述测定对象物的材料的吸收率比所述第一波长时低，且含有流体的所述测定对象物的吸收率比所述第二波长时低的波长。/n

【技术特征摘要】
20181129 JP 2018-2235331.一种测定装置，其测定片状测定对象物的厚度，其具备：
检测部，其检测第一光强度、第二光强度及第三光强度，
厚度算出部，其使用所述第一光强度、所述第二光强度、及所述第三光强度，计算出所述测定对象物的厚度，
所述第一光强度是使具有第一波长的第一光透过所述测定对象物后的光的强度，
所述第二光强度是使具有第二波长的第二光透过所述测定对象物后的光的强度，该第二波长是所述测定对象物的材料的吸收率比所述第一波长时低的波长，
所述第三光强度是使具有第三波长的第三光透过所述测定对象物后的光的强度，该第三波长是所述测定对象物的材料的吸收率比所述第一波长时低，且含有流体的所述测定对象物的吸收率比所述第二波长时低的波长。


2.如权利要求1所述的测定装置，其中，
所述流体为水分。


3.如权利要求2所述的测定装置，其中，
还具备修正值算出部，该修正值算出部基于所述检测部检测到的所述第一光强度、所述第二光强度、及所述第三光强度，计算出降低所述测定对象物所含的所述流体对光吸收的影响的修正值，
所述厚度算出部使用由所述修正值算出部计算出的所述修正值，计算出所述测定对象物的厚度。


4.如权利要求3所述的测定装置，其中，
所述修正值算出部基于在所述测定对象物所含的所述流体的量不同的多种情况下的所述第一光强度、所述第二光强度、及所述第三光强度，计算出修正系数，使用所算出的所述修正系数，计算出所述修正值。


5.如权利要求4所述的测定装置，其中，
所述修正值算出部使用数学式3，计算出所述修正系数，然后将所算出的所述修正系数代入数学式2，计算出所述修正值。
【数学式3】



其中，在数学式3中，使所述测定对象物所含的所述流体的量发生变化之前的所述第一光的一次第一透过率、所述第二光的一次第二透过率、及所述第三光的一次第三透过率分别是T11、T21、T31，使所述测定对象物所含的所述流体的量发生变化之后的所述第一光的二次第一透过率、所述第二光的二次第二透过率、及所述第三光的二次第三透过率分别是T12、T22、T32，α1及α2是所述修正系数，α1+α2＝1，
【数学式2】



其中，在数学式2中，所述第一光的第一透过率、所述第二光的第二透过率、及所述第三光的第三透过率分别是T1、T2、T3，Tc是所述修正值。


6.如权利要求3所述的测定装置，其中，
还具备存储部，该存储部预先存储修正系数，
所述修正值算出部使用从所述存储部取得的所述修正系数，计算出所述修正值。


7.如权利要求3～6中任一项所述的测定装置，其中，
所述修正值算出部基于所述第一光强度，计算出使所述第一光透过所述测定对象物后的光的第一透过率，基于所述第二光强度，计算出使所述第二光透过所述测定对象物后的光的第二透过率，基于所述第三光强度，计算出使所述第三光透过所述测定对象物后的光的第三透过率，使...

【专利技术属性】
技术研发人员：西田和史，原仁，节田和纪，
申请(专利权)人：横河电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP