一种精密单研抛机机底面连接旋转接头制造技术

本实用新型专利技术公开了一种精密单研抛机机底面连接旋转接头，包括固定块和固定块，所述固定块内部安装有电机，其中，所述电机一侧固定有旋转杆，所述旋转杆一端连接有连接块，所述固定块内部设置有进水管，靠近进水管的所述固定块内部设置有出水管，靠近固定块的所述连接块一侧固定有第一滑块，靠近第一滑块的所述固定块一侧开设有第一滑槽，所述固定块与连接块一侧开设有第二滑槽。该精密单研抛机机底面连接旋转接头设置有转接盘可以通过链接头与研磨盘进行连接，以便转接盘内部连接有第一连接管与第二连接管，从而第一连接管与第二连接管可以分别连接进水软管与出水软管，方便转接盘在转动时不会对进水软管与出水软管进行缠绕第二连接管进入。

A rotary joint for bottom connection of precision single lapping and polishing machine

【技术实现步骤摘要】
一种精密单研抛机机底面连接旋转接头
本技术涉及工件生产设备
，具体为一种精密单研抛机机底面连接旋转接头。
技术介绍
用于半导体晶体材料表面加工的精密研抛机的研磨压盘需冷却，保持其平面度，现有的精密单研抛机机底面连接旋转接头相当一部分机型冷却方式的最主要缺点冷却软管伸出在外，如果安装不良，容易缠绕或与其他零件相碰，造成管路及接头扯断，造成经济损失，不方便进水与出水，软管不方便固定。目前市场上的精密单研抛机机底面连接旋转接头存在许多缺陷，软管容易缠绕，不方便进水与出水，软管不方便固定，因此市面上迫切需要能改进精密单研抛机机底面连接旋转接头结构的技术，来完善此设备。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种精密单研抛机机底面连接旋转接头，以解决上述
技术介绍
提出的目前市场上的精密单研抛机机底面连接旋转接头存在许多缺陷，软管容易缠绕，不方便进水与出水，软管不方便固定的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种精密单研抛机机底面连接旋转接头，包括固定块和固定块，所述固定块内部安装有电机，其中，所述电机一侧固定有旋转杆，所述旋转杆一端连接有连接块，所述固定块内部设置有进水管，靠近进水管的所述固定块内部设置有出水管，靠近固定块的所述连接块一侧固定有第一滑块，靠近第一滑块的所述固定块一侧开设有第一滑槽，所述固定块与连接块一侧开设有第二滑槽，所述第二滑槽内部嵌合有第二滑块，所述第二滑块一侧固定有密封垫，靠近第二滑槽的所述固定块与连接块一侧连接有转轴；靠近进水管的所述连接块一侧开设有出水槽，所述出水槽底部设置有第一连接管，靠近出水槽的所述连接块一侧开设有进水槽，所述进水槽底部设置有第二连接管，所述连接块底部连接有转接盘，所述转接盘底部固定有研磨盘，所述第二连接管一端连接有进水软管，所述第一连接管一端连接有出水软管，所述出水软管一端连接有冷却软管，所述固定块固定在研磨盘内部。优选的，所述旋转杆的中心与连接块的中心在同一条直线上，且旋转杆与连接块之间构成旋转结构。优选的，所述第一滑块与第一滑槽设置有四组，且第一滑块与第一滑槽之间为滑动连接。优选的，所述密封垫为环形状，且密封垫为柔软橡胶材质。优选的，所述出水槽与进水槽同为圆环状，且出水槽的直径为进水槽的直径的二分之一。优选的，所述固定块设置有三组，且固定块为“凵”字形，并且固定块凹槽的尺寸与冷却软管的直径相同。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该精密单研抛机机底面连接旋转接头：1.设置有转接盘可以通过链接头与研磨盘进行连接，以便转接盘内部连接有第一连接管与第二连接管，从而第一连接管与第二连接管可以分别连接进水软管与出水软管，方便转接盘在转动时不会对进水软管与出水软管进行缠绕第二连接管进入；2.冷却水流能够通过进水管进入进水槽内，以便进水槽可以通过第二连接管进入进水软管内，冷却水流会通过进水软管进入冷却软管内，从而冷却软管内的冷却水流会对研磨盘进行冷却降温，冷却水流降温后会通过冷却软管进入出水软管内，出水软管会将冷却水流输送进第一连接管内，进而第一连接管会将冷却水流输送进出水槽内，出水槽会将冷却水流从出水管排出，方便精密单研抛机可以快速的进水与出水；3.设置有固定块能够通过拉动冷却软管进行对接，以便固定块与冷却软管对接时可以通过按压冷却软管与固定块的凹槽进行契合，方便研磨盘转动时冷却软管不会晃动。附图说明图1为本技术侧视结构示意图；图2为本技术连接块俯视结构示意图；图3为本技术研磨盘内部结构示意图；图4为本技术A部放大结构示意图。图中：1、固定块，2、电机，3、旋转杆，4、连接块，5、进水管，6、出水管，7、第一滑块，8、第一滑槽，9、第二滑块，10、第二滑槽，11、密封垫，12、转轴，13、出水槽，14、第一连接管，15、进水槽，16、第二连接管，17、转接盘，18、研磨盘，19、进水软管，20、出水软管，21、冷却软管，22、固定块。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供一种技术方案：一种精密单研抛机机底面连接旋转接头，包括固定块1、电机2、旋转杆3、连接块4、进水管5、出水管6、第一滑块7、第一滑槽8、第二滑块9、第二滑槽10、密封垫11、转轴12、出水槽13、第一连接管14、进水槽15、第二连接管16、转接盘17、研磨盘18、进水软管19、出水软管20、冷却软管21和固定块22，所述固定块1内部安装有电机2，其中，所述电机2一侧固定有旋转杆3，所述旋转杆3的中心与连接块4的中心在同一条直线上，且旋转杆3与连接块4之间构成旋转结构，电机2工作时可以带动旋转杆3进行转动，旋转杆3转动时可以带动连接块4进行转动，连接块4转动时可以带动转接盘17进行转动，所述旋转杆3一端连接有连接块4，所述固定块1内部设置有进水管5，靠近进水管5的所述固定块1内部设置有出水管6，靠近固定块1的所述连接块4一侧固定有第一滑块7，所述第一滑块7与第一滑槽8设置有四组，且第一滑块7与第一滑槽8之间为滑动连接，连接块4转动时可以带动第一滑块7进行转动，第一滑块7转动时可以与第一滑槽8进行滑动，靠近第一滑块7的所述固定块1一侧开设有第一滑槽8，所述固定块1与连接块4一侧开设有第二滑槽10，所述第二滑槽10内部嵌合有第二滑块9，所述第二滑块9一侧固定有密封垫11，所述密封垫11为环形状，且密封垫11为柔软橡胶材质，密封垫11可以通过自身的密封性对固定块1与连接块4之间的缝隙进行密封，靠近第二滑槽10的所述固定块1与连接块4一侧连接有转轴12；靠近进水管5的所述连接块4一侧开设有出水槽13，所述出水槽13与进水槽15同为圆环状，且出水槽13的直径为进水槽15的直径的二分之一，冷却水流通过进水管5进入进水槽15内，进水槽15可以通过第二连接管16进入进水软管19内，第一连接管14会将冷却水流输送进出水槽13内，出水槽13会将冷却水流从出水管6排出，所述出水槽13底部设置有第一连接管14，靠近出水槽13的所述连接块4一侧开设有进水槽15，所述进水槽15底部设置有第二连接管16，所述连接块4底部连接有转接盘17，所述转接盘17底部固定有研磨盘18，所述第二连接管16一端连接有进水软管19，所述第一连接管14一端连接有出水软管20，所述出水软管20一端连接有冷却软管21，所述固定块22固定在研磨盘18内部，所述固定块22设置有三组，且固定块22为“凵”字形，并且固定块22凹槽的尺寸与冷却软管21的直径相同，固定块22通过拉动冷却软管21进行对接，固定块22与冷却软管21对接时可以通过按压冷却软管21与固定块22的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种精密单研抛机机底面连接旋转接头，包括固定块（1）和固定块（22），其特征在于：所述固定块（1）内部安装有电机（2），其中，/n所述电机（2）一侧固定有旋转杆（3），所述旋转杆（3）一端连接有连接块（4），所述固定块（1）内部设置有进水管（5），靠近进水管（5）的所述固定块（1）内部设置有出水管（6），靠近固定块（1）的所述连接块（4）一侧固定有第一滑块（7），靠近第一滑块（7）的所述固定块（1）一侧开设有第一滑槽（8），所述固定块（1）与连接块（4）一侧开设有第二滑槽（10），所述第二滑槽（10）内部嵌合有第二滑块（9），所述第二滑块（9）一侧固定有密封垫（11），靠近第二滑槽（10）的所述固定块（1）与连接块（4）一侧连接有转轴（12）；/n靠近进水管（5）的所述连接块（4）一侧开设有出水槽（13），所述出水槽（13）底部设置有第一连接管（14），靠近出水槽（13）的所述连接块（4）一侧开设有进水槽（15），所述进水槽（15）底部设置有第二连接管（16），所述连接块（4）底部连接有转接盘（17），所述转接盘（17）底部固定有研磨盘（18），所述第二连接管（16）一端连接有进水软管（19），所述第一连接管（14）一端连接有出水软管（20），所述出水软管（20）一端连接有冷却软管（21），所述固定块（22）固定在研磨盘（18）内部。/n...

【技术特征摘要】
1.一种精密单研抛机机底面连接旋转接头，包括固定块（1）和固定块（22），其特征在于：所述固定块（1）内部安装有电机（2），其中，
所述电机（2）一侧固定有旋转杆（3），所述旋转杆（3）一端连接有连接块（4），所述固定块（1）内部设置有进水管（5），靠近进水管（5）的所述固定块（1）内部设置有出水管（6），靠近固定块（1）的所述连接块（4）一侧固定有第一滑块（7），靠近第一滑块（7）的所述固定块（1）一侧开设有第一滑槽（8），所述固定块（1）与连接块（4）一侧开设有第二滑槽（10），所述第二滑槽（10）内部嵌合有第二滑块（9），所述第二滑块（9）一侧固定有密封垫（11），靠近第二滑槽（10）的所述固定块（1）与连接块（4）一侧连接有转轴（12）；
靠近进水管（5）的所述连接块（4）一侧开设有出水槽（13），所述出水槽（13）底部设置有第一连接管（14），靠近出水槽（13）的所述连接块（4）一侧开设有进水槽（15），所述进水槽（15）底部设置有第二连接管（16），所述连接块（4）底部连接有转接盘（17），所述转接盘（17）底部固定有研磨盘（18），所述第二连接管（16）一端连接有进水软管（19），所述第一连接管（14）一端连接有出水软...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑东，刘道军，
申请(专利权)人：青岛优姆锡先端技术材料有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37