一种精密单研抛机机底面连接旋转接头制造技术

本实用新型专利技术公开了一种精密单研抛机机底面连接旋转接头，包括固定块和固定块，所述固定块内部安装有电机，其中，所述电机一侧固定有旋转杆，所述旋转杆一端连接有连接块，所述固定块内部设置有进水管，靠近进水管的所述固定块内部设置有出水管，靠近固定块的所述连接块一侧固定有第一滑块，靠近第一滑块的所述固定块一侧开设有第一滑槽，所述固定块与连接块一侧开设有第二滑槽。该精密单研抛机机底面连接旋转接头设置有转接盘可以通过链接头与研磨盘进行连接，以便转接盘内部连接有第一连接管与第二连接管，从而第一连接管与第二连接管可以分别连接进水软管与出水软管，方便转接盘在转动时不会对进水软管与出水软管进行缠绕第二连接管进入。

A rotary joint for bottom connection of precision single lapping and polishing machine

【技术实现步骤摘要】
一种精密单研抛机机底面连接旋转接头
本技术涉及工件生产设备
，具体为一种精密单研抛机机底面连接旋转接头。
技术介绍
用于半导体晶体材料表面加工的精密研抛机的研磨压盘需冷却，保持其平面度，现有的精密单研抛机机底面连接旋转接头相当一部分机型冷却方式的最主要缺点冷却软管伸出在外，如果安装不良，容易缠绕或与其他零件相碰，造成管路及接头扯断，造成经济损失，不方便进水与出水，软管不方便固定。目前市场上的精密单研抛机机底面连接旋转接头存在许多缺陷，软管容易缠绕，不方便进水与出水，软管不方便固定，因此市面上迫切需要能改进精密单研抛机机底面连接旋转接头结构的技术，来完善此设备。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种精密单研抛机机底面连接旋转接头，以解决上述
技术介绍
提出的目前市场上的精密单研抛机机底面连接旋转接头存在许多缺陷，软管容易缠绕，不方便进水与出水，软管不方便固定的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种精密单研抛机机底面连接旋转接头，包括固定块和固定块，所述固定块内部安装有电机，其中，所述电机一侧本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种精密单研抛机机底面连接旋转接头，包括固定块（1）和固定块（22），其特征在于：所述固定块（1）内部安装有电机（2），其中，/n所述电机（2）一侧固定有旋转杆（3），所述旋转杆（3）一端连接有连接块（4），所述固定块（1）内部设置有进水管（5），靠近进水管（5）的所述固定块（1）内部设置有出水管（6），靠近固定块（1）的所述连接块（4）一侧固定有第一滑块（7），靠近第一滑块（7）的所述固定块（1）一侧开设有第一滑槽（8），所述固定块（1）与连接块（4）一侧开设有第二滑槽（10），所述第二滑槽（10）内部嵌合有第二滑块（9），所述第二滑块（9）一侧固定有密封垫（11），靠近第二滑槽（10）...

【技术特征摘要】
1.一种精密单研抛机机底面连接旋转接头，包括固定块（1）和固定块（22），其特征在于：所述固定块（1）内部安装有电机（2），其中，
所述电机（2）一侧固定有旋转杆（3），所述旋转杆（3）一端连接有连接块（4），所述固定块（1）内部设置有进水管（5），靠近进水管（5）的所述固定块（1）内部设置有出水管（6），靠近固定块（1）的所述连接块（4）一侧固定有第一滑块（7），靠近第一滑块（7）的所述固定块（1）一侧开设有第一滑槽（8），所述固定块（1）与连接块（4）一侧开设有第二滑槽（10），所述第二滑槽（10）内部嵌合有第二滑块（9），所述第二滑块（9）一侧固定有密封垫（11），靠近第二滑槽（10）的所述固定块（1）与连接块（4）一侧连接有转轴（12）；
靠近进水管（5）的所述连接块（4）一侧开设有出水槽（13），所述出水槽（13）底部设置有第一连接管（14），靠近出水槽（13）的所述连接块（4）一侧开设有进水槽（15），所述进水槽（15）底部设置有第二连接管（16），所述连接块（4）底部连接有转接盘（17），所述转接盘（17）底部固定有研磨盘（18），所述第二连接管（16）一端连接有进水软管（19），所述第一连接管（14）一端连接有出水软...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑东，刘道军，
申请(专利权)人：青岛优姆锡先端技术材料有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37