【技术实现步骤摘要】
一种压电陶瓷驱动单轴微定位平台
本技术属于微驱动
，更具体地说，是涉及一种压电陶瓷驱动单轴微定位平台。
技术介绍
纳米微定位技术是21世纪的科技技术趋势之一，常规的纳米微定位技术通常采用伺服电机和精密丝杠组成定位平台进行传动。由于精密丝杠的螺杆和螺母的螺纹配合的偏差以及螺杆和螺母在传动过程中存在摩擦，其精度最高只能达到微米级别且使用过程不稳定，满足不了高精度使用场合。随着生物行业以及微电子(半导体)行业的迅速发展，对定位平台提出了超越微米更高级别的定位精度要求。采用压电陶瓷作为动力驱动，压电陶瓷具有体积小，产生推力大，可达纳米级别的分辨率，是实现高精度微位移的理想驱动。但由于压电陶瓷本身产生的位移仅为陶瓷长度的千分之一左右，因此在实际应用中需要加入位移放大机构。通常位移放大机构直接与运动平台连接，容易使压电陶瓷受到切应力，容易导致压电陶瓷不能正常使用。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种压电陶瓷驱动单轴微定位平台，以解决现有技术中存在的通常位移放大机构直接与运动平台连接，容易使压电陶瓷受到切...
【技术保护点】
1.一种压电陶瓷驱动单轴微定位平台，其特征在于，包括安装座、压电陶瓷、第一放大机构、输出球和运动平台，所述第一放大机构固定在所述安装座上，所述压电陶瓷固定在所述第一放大机构内，所述第一放大机构围设于所述压电陶瓷，所述运动平台活动连接在所述安装座上，所述输出球连接在所述第一放大机构的输出端上和所述运动平台上，所述输出球与所述压电陶瓷的移动端相对设置。/n
【技术特征摘要】
1.一种压电陶瓷驱动单轴微定位平台，其特征在于，包括安装座、压电陶瓷、第一放大机构、输出球和运动平台，所述第一放大机构固定在所述安装座上，所述压电陶瓷固定在所述第一放大机构内，所述第一放大机构围设于所述压电陶瓷，所述运动平台活动连接在所述安装座上，所述输出球连接在所述第一放大机构的输出端上和所述运动平台上，所述输出球与所述压电陶瓷的移动端相对设置。
2.如权利要求1所述的一种压电陶瓷驱动单轴微定位平台，其特征在于，所述输出球与所述运动平台点接触。
3.如权利要求1所述的一种压电陶瓷驱动单轴微定位平台，其特征在于，所述运动平台包括第二放大机构和输出件，所述第二放大机构连接于所述输出球和所述输出件。
4.如权利要求3所述的一种压电陶瓷驱动单轴微定位平台，其特征在于，所述第一放大机构、所述第二放大机构、所述输出球以及所述压电陶瓷位于所述安装座内，所述输出件穿设于所述安装座。
5.如权利要求4所述的一种压电陶瓷...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘正锋，王瑾，曹锋，罗奇，周成全，路崧，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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