【技术实现步骤摘要】
一种安装用铝靶材的锻打旋转装置及使用其锻打工装平台
本技术涉及一种锻造设备
，尤其是涉及一种安装用铝靶材的锻打旋转装置及使用其锻打工装平台。
技术介绍
现有半导体芯片制成的靶材由两种不同材料组装焊接而成，分为使用用(Blank)和安装用(BP)两种，安装用靶材通常为一个环形结构，其中心呈镂空状，不同用户对靶材内径要求不同，需要对靶材进行扩径锻造，锻造时，通常需要在靶材的中心孔处插入销子然后对靶材圆周进行打击，但是一般锻造锤设备的工作台为平面，并没有用于支撑靶材锻打的工装，又不能直接将靶材竖立起来进行击打，所以需要借助其他设备，如此，整体锻造时间延长，并且锻造过程中存在诸多不便。如图1所示，现有技术中国技术专利“一种锻打工装结构”，申请号：2018214818531，公开了一种锻打机构，先将支撑台1旋转至工作台31上表面，将待加工的环形安装用靶材5套装在销子2外侧，将销子2两端卡装在支撑台1的卡槽11内，由于锻造锤3的锤头32位于工作台31上方，使锤头32落下对安装用靶材5进行击打，并缓慢旋转安装用靶材5，从而使...
【技术保护点】
1.一种安装用铝靶材的锻打旋转装置，包括工作台（31），在所述工作台（31）上设置两个支撑台（1），两个支撑台（1）分别支撑销子（2）的两端，所述销子（2）中间部分插入安装用靶材（5）的通孔中，其特征在于：在所述安装用靶材（5）两侧分别设置一滚动辅助旋转机构，两个滚动辅助旋转机构对所述安装用靶材（5）进行夹持并帮助其进行旋转。/n
【技术特征摘要】
1.一种安装用铝靶材的锻打旋转装置，包括工作台（31），在所述工作台（31）上设置两个支撑台（1），两个支撑台（1）分别支撑销子（2）的两端，所述销子（2）中间部分插入安装用靶材（5）的通孔中，其特征在于：在所述安装用靶材（5）两侧分别设置一滚动辅助旋转机构，两个滚动辅助旋转机构对所述安装用靶材（5）进行夹持并帮助其进行旋转。
2.根据权利要求1所述的安装用铝靶材的锻打旋转装置，其特征在于：一个所述滚动辅助旋转机构包括第一滚轮（41）、第一驱动转轴（42）、第一移动支架（43）以及第一电机，所述第一电机驱动所述第一驱动转轴（42）旋转，所述第一驱动转轴（42）带动第一滚轮（41）旋转，所述第一滚轮（41）作用所述安装用靶材（5）的一侧，所述第一驱动转轴（42）安装在所述第一移动支架（43）上。
3.根据权利要求2所述的安装用铝靶材的锻打旋转装置，其特征在于：另一个所述滚动辅助旋转机构包括第二滚轮（44）、第二驱动转轴（45）、第二移动支架（46）以及第二电机，所述第二电机驱动所述第二驱动转轴（45）旋转，所述第二驱动转轴（45）带动第二滚轮（44）旋转，所述第二滚轮（44）作用所述安装用靶材（5）的另一侧，所述第二驱动转轴（45）安装在所述第二移动支架（46）上；所述第一滚轮（...
【专利技术属性】
技术研发人员：张瑾，广田二郎，叶翔，周建波，
申请(专利权)人：宁波锦越新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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