【技术实现步骤摘要】
使用电子显微镜对样品成像的方法
本专利技术涉及一种使用电子显微镜对样品成像的方法。这种方法的实例从2003年12月31日发布的FEI公司的“技术说明：Tecnai™断层扫描软件的功能说明（Technicalnote:FunctionaldescriptionofTecnai™TomographySoftware）”中可知。
技术介绍
在电子显微镜（例如透射电子显微镜（TEM））中，电子源会产生高能电子束，其可选择的能量例如在80到300keV之间，尽管已知会使用更高和更低的能量。所述光束被光学元件（电子透镜，偏转器，多极）操纵（聚焦，偏转），并照射放置于样品支持器中的样品。样品支持器安置样品，所述支持器通常显示三个平移自由度（x，y，z）和一个旋转自由度（α）或更多旋转自由度。样品足够薄以对电子透明：一些电子被吸收，但是许多电子在散射或未散射的同时通过样品。通常，对于生物样品，样品的厚度在50nm到1μm之间（对于低温样品，样品的厚度在50到200nm之间），且对于半导体样品，其厚度小于100nm。另一组光学元件在检...
【技术保护点】
1. 一种对样品成像的方法，所述样品安装在电子显微镜中的样品固持器上，所述电子显微镜包括用于沿着光轴产生高能电子束的电子源和用于聚焦和偏转光束以便用所述电子束照射所述样品的光学元件，所述样品固持器能够相对于所述电子束定位和倾斜所述样品，所述方法包括：/n- 通过用所述电子束照射所述样品来获取一系列倾斜的图像，以读出速度将所述图像记录在相机上，其中在获取所述系列倾斜的图像的同时连续地改变所述倾斜角；及/n- 在获取所述倾斜系列的同时改变所述样品的位置，使得以相关联的独特倾斜角和相关联的独特位置获取每个图像。/n
【技术特征摘要】
20181126 EP 18208355.01.一种对样品成像的方法，所述样品安装在电子显微镜中的样品固持器上，所述电子显微镜包括用于沿着光轴产生高能电子束的电子源和用于聚焦和偏转光束以便用所述电子束照射所述样品的光学元件，所述样品固持器能够相对于所述电子束定位和倾斜所述样品，所述方法包括：
-通过用所述电子束照射所述样品来获取一系列倾斜的图像，以读出速度将所述图像记录在相机上，其中在获取所述系列倾斜的图像的同时连续地改变所述倾斜角；及
-在获取所述倾斜系列的同时改变所述样品的位置，使得以相关联的独特倾斜角和相关联的独特位置获取每个图像。
2.根据权利要求1所述的方法，其中改变所述位置包括增加所述样品的成像部分。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述位置是通过所述样品与所述电子束之间的相对运动而改变的。
4.根据权利要求3所述的方法，其中所述样品的所述位置通过相对于所述电子束机械地移动所述样品而连续地改变。
5.一种对样品成像的方法，所述样品安装在电子显微镜中的样品固持器上，所述电子显微镜包括用于沿着光轴产生高能电子束的电子源和用于聚焦和偏转光束以便用电子束照射所述样品的光学元件，所述样品固持器能够相对于所述电子束定位和倾斜所述样品，所述方法包括：
-通过用所述电子束照射所述样品来获取一系列倾斜的图像，以读出速度将所述图像记录在相机上，其中在获取所述系列倾斜的图像的同时连续地改变所述倾斜角；及
-在获取所述系列倾斜的图像的同时改变所述样品的另一倾斜角，使得以相关联的独特倾斜角和相关联的另一独特倾斜角获取每个图像。
6.根据权利要求5所述的方法，其中所述另一倾斜角相对于所述倾斜角正交。
7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述样品在像素化相机上成像，且以度每秒表示的所述倾斜角的速度、分别以米每秒或度每秒表示的位置或另一倾斜角的所述分别并行改变的速度和以帧每秒表示的所述相机...
【专利技术属性】
技术研发人员：EM弗兰肯，R肖恩马克思，BJ詹森，M弗海延，H科尔，Y邓，A福格特，
申请(专利权)人：FEI公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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