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本发明涉及一种对样品成像的方法，所述样品安装在电子显微镜中的样品固持器上，所述电子显微镜包括用于沿着光轴产生高能电子束的电子源和用于聚焦和偏转光束以便用所述电子束照射所述样品的光学元件。所述样品固持器能够相对于所述电子束定位和倾斜所述样品。...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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