一种智能化稳定热场单晶硅提纯设备制造技术

本发明专利技术公开了一种智能化稳定热场单晶硅提纯设备，具体涉及智能加工领域，包括外壳，外壳的底部固定安装有底部轴杆，外壳顶部的一侧固定安装有进料管，底部轴杆的顶部固定安装有位于外壳内腔的导温容器，所述导温容器的外部套装有加热器，导温容器的内部填充有石英沙层，所述石英沙层顶面的中部放置有石英坩埚。本发明专利技术当外壳内部处于加热状态时，磁力组件对于耐高温磁性金属形成一个磁场固定耐高温磁性金属不发生晃动，从而使得石英坩锅和石英坩埚固定，保证了石英坩埚内部的多晶液稳定提纯，同时磁力组件产生的磁力处于倾斜状态可以分解出一个向下的力从而对石英坩锅进行二次固定，极大的保证了单晶硅提纯的稳定，增加了单晶硅提纯的质量。

An intelligent and stable heat field single crystal silicon purification equipment

【技术实现步骤摘要】
一种智能化稳定热场单晶硅提纯设备
本专利技术涉及智能加工领域
，更具体地说，本专利技术涉及一种智能化稳定热场单晶硅提纯设备。
技术介绍
单晶炉是光伏设备中一种用于单晶硅提纯的设备，单晶炉热场的组成部为三个部分，底部为支撑部分，中部为加热部分，顶部为保温部分，支撑部分如图9中导温容器107底部轴杆101，加热部分的作用是利用控温系统对放置在导温容器107内部的石英坩埚108进行加热，从而保证保温罩107内部放置的固体多晶硅融化成液体，再利用放置在石英坩埚107内部的籽晶杆106对熔融的液体内部的单晶硅进行提纯，保温部分是石英坩埚108顶部的保温罩107，用于保证提纯环境温度的稳定，以利于单晶的生成。现有技术中在导温容器107的内部人工填入石英沙层16用以对石英坩埚108进行导热恒温，因为石英沙层109和石英坩埚108是人工利用测量工具进行测量完成，保证石英坩埚108位于导温容器102的轴心处，这种的放置方法存在误差，使得石英坩埚108中心与籽晶杆106的位置出现偏移，在后续提纯的过程中需要对石英坩埚108进行匀速旋转，由于石本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种智能化稳定热场单晶硅提纯设备，包括外壳(1)，所述外壳(1)的底部固定安装有底部轴杆(101)，所述外壳(1)顶部的一侧固定安装有进料管(105)，其特征在于：所述底部轴杆(101)的顶部固定安装有位于外壳(1)内腔的导温容器(102)，所述导温容器(102)的外部套装有加热器(103)，所述导温容器(102)的内部填充有石英沙层(109)，所述石英沙层(109)顶面的中部放置有石英坩埚(108)，所述石英坩埚(108)的外部通过稳定圈(5)卡接有石英坩锅(107)，所述石英坩锅(107)的正面安装有观测屏(4)，所述外壳(1)的顶部固定安装有拉伸组件(104)，所述拉伸组件(104)...

【技术特征摘要】
1.一种智能化稳定热场单晶硅提纯设备，包括外壳(1)，所述外壳(1)的底部固定安装有底部轴杆(101)，所述外壳(1)顶部的一侧固定安装有进料管(105)，其特征在于：所述底部轴杆(101)的顶部固定安装有位于外壳(1)内腔的导温容器(102)，所述导温容器(102)的外部套装有加热器(103)，所述导温容器(102)的内部填充有石英沙层(109)，所述石英沙层(109)顶面的中部放置有石英坩埚(108)，所述石英坩埚(108)的外部通过稳定圈(5)卡接有石英坩锅(107)，所述石英坩锅(107)的正面安装有观测屏(4)，所述外壳(1)的顶部固定安装有拉伸组件(104)，所述拉伸组件(104)的底部安装有籽晶杆(106)，所述籽晶杆(106)的底部延伸至石英坩锅(107)的内部，所述石英坩锅(107)的外部固定套装有耐高温磁性金属(3)，所述外壳(1)的顶部固定安装有若干个磁力组件(2)，若干个所述磁力组件(2)形成一个圆环状，所述磁力组件(2)包括智能转轴(21)，所述智能转轴(21)的内表面通过转杆(23)活动安装有连接件(22)，所述连接件(22)的另一端固定安装有磁力套(24)，所述磁力套(24)的内部固定安装有电磁铁(25)，所述智能转轴(21)、电磁铁(25)和...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚仿英，
申请(专利权)人：姚仿英，
类型：发明
国别省市：浙江;33