一种硼酸乙酯提纯方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种硼酸乙酯提纯方法及装置，所述方法包括将硼酸乙酯原材料进行过滤、预热后在温度为95‑105℃、回流比为1：(50‑0.1)、压强为5‑101.3Pa下进行第一次精馏，第一次精馏后的液态馏分经过滤、预热后在温度为118‑130℃、回流比为1：(50‑0.1)、压强为5‑101.3Pa下进行第二次精馏，第二次精馏后的气态馏分经冷凝、过滤后即得硼酸乙酯提纯液；所述装置包括第一过滤器、第二过滤器、第三过滤器、第一换热器、第二换热器、第一精馏塔和第二精馏塔。本发明专利技术为可连续生产的串联式二次精馏生产过程，先除去低沸点的轻组分杂质，再除去高沸点的重组分杂质，且液体传递过程中逐级除去杂质颗粒，分离效率高、效果良好。

A purification method and device of ethyl borate

【技术实现步骤摘要】
一种硼酸乙酯提纯方法及装置
本专利技术涉及物质提纯及提纯装置领域，具体涉及一种硼酸乙酯提纯方法及装置。
技术介绍
目前，制约半导体产业发展的很重要一个因素是半导体材料，随着半导体及集成电路制造技术的发展，特别是主流工艺进入7纳米以后，工艺对材料的要求也越来越高，其中对离子注入等应用所需要的硼酸乙酯(TEB)的纯度有了更高的要求，现有的提纯工艺对硼酸乙酯中金属离子、微小颗粒及水分的去除已经很难达到7纳米工艺的要求。
技术实现思路
本专利技术针对以上问题的提出，而研究设计一种硼酸乙酯提纯方法，来解决现有提纯方法的硼酸乙酯产品纯度难以达到7纳米工艺要求的缺点。本专利技术采用的技术手段如下：一种硼酸乙酯提纯方法，包括将硼酸乙酯原材料在100nm以下的过滤孔径下过滤后进行预热，预热后在温度为95-105℃、回流比为1：(50-0.1)、压强为5-101.3Pa下进行第一次精馏，第一次精馏后的液态馏分在50nm以下的过滤孔径下过滤后再进行预热，预热后在温度为118-130℃、回流比为1：(50-0.1)、压强为5-101.3Pa本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硼酸乙酯提纯方法，其特征在于：包括将硼酸乙酯原材料在100nm以下的过滤孔径下过滤后进行预热，预热后在温度为95-105℃、回流比为1：(50-0.1)、压强为5-101.3Pa下进行第一次精馏，第一次精馏后的液态馏分在50nm以下的过滤孔径下过滤后再进行预热，预热后在温度为118-130℃、回流比为1：(50-0.1)、压强为5-101.3Pa下进行第二次精馏，第二次精馏后的气态馏分经冷凝为液态后在25nm以下的过滤孔径下过滤，过滤后即得硼酸乙酯提纯液。/n

【技术特征摘要】
1.一种硼酸乙酯提纯方法，其特征在于：包括将硼酸乙酯原材料在100nm以下的过滤孔径下过滤后进行预热，预热后在温度为95-105℃、回流比为1：(50-0.1)、压强为5-101.3Pa下进行第一次精馏，第一次精馏后的液态馏分在50nm以下的过滤孔径下过滤后再进行预热，预热后在温度为118-130℃、回流比为1：(50-0.1)、压强为5-101.3Pa下进行第二次精馏，第二次精馏后的气态馏分经冷凝为液态后在25nm以下的过滤孔径下过滤，过滤后即得硼酸乙酯提纯液。


2.根据权利要求1所述的一种硼酸乙酯提纯方法，其特征在于：所述硼酸乙酯原材料连续经过两次过滤孔径为100nm以下的过滤。


3.根据权利要求1所述的一种硼酸乙酯提纯方法，其特征在于：第二次精馏后的气态馏分经冷凝为液态后连续经过两次过滤孔径为25nm以下的过滤。


4.根据权利要求1所述的一种硼酸乙酯提纯方法，其特征在于：预热温度为55-65℃。


5.根据权利要求1所述的一种硼酸乙酯提纯方法，其特征在于：第一次精馏和第二次精馏的塔顶冷凝温度均为-5℃至15℃，第一次精馏的回流比大于第二次精馏的回流比。


6.一种应用权利要求1-5中任意一项所述的硼酸乙酯提纯方法的装置，其特征在于：包括第一过滤器、第二过滤器、第三过滤器、第一换热器、第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋增超，董岐，赵明海，安春日，王玺，张旻昊，赵大鹏，
申请(专利权)人：大连恒坤新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21