一种飞秒激光双光子微加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种飞秒激光双光子微加工装置，包括控制器；五维运动平台，与控制器通信连接；飞秒激光器，设置在五维运动平台上；光开关，设置在飞秒激光器的激光传播路径上，通过移动来阻断和打开激光传播；三维运动平台，与控制器通信连接；样品台，设置在三维运动平台，用于放置待加工的样品；激光反射镜，设置在飞秒激光器的激光传播路径上，用于改变激光的传播方向而将激光反射至样品上；聚焦透镜，设置在样品台上用于放置样品的位置上方，用于聚焦激光；摄像头，设置在聚焦透镜的上方。该飞秒激光双光子微加工装置能够控制飞秒激光器进行运动，减少反射镜片数量，降低光路调整的复杂度。

A femtosecond laser two-photon micromachining device

【技术实现步骤摘要】
一种飞秒激光双光子微加工装置
本专利技术涉及一种飞秒激光双光子微加工装置。
技术介绍
近年来，随着微机电系统、微纳电子技术、芯片制造技术的快速发展，如何在基底上制备出稳定存在的微结构受到了广泛的关注。该技术对于未来微纳米制造技术，光刻技术，微型化、集成化、功能化等装置的制造具有一定的参考价值。目前通用的飞秒激光双光子微加工系统大多采用钛宝石可调谐激光器，如Coherent公司的型号为Mira-900f、波长为780nm波长的飞秒激光器，配合Newport公司提供的uFAB微加工台作为微结构的加工装置，利用微加工台与激光焦点的相对运动，当两个红外光子在焦点处相遇时产生的能量刚好能够使光刻胶聚合固化，进而在光刻胶中光刻出3D微结构，制备出精细的微结构图案。但是这种钛宝石可调谐激光器由于体积较大，重量较重，通常设置在大型的工作平台上工作。同时，由于激光器与工作台之间的距离较大，需要采用多组反射镜片组对光路进行校正，增加了光路调整的复杂度及成本。此外，一般情况下，高精度的三维电动平移台在水平面X和Y轴的行程可以比较大，但在高度Z轴方向上移动行程本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种飞秒激光双光子微加工装置，其特征在于：包括/n控制器(1)；/n五维运动平台(2)，与控制器(1)通信连接；/n飞秒激光器(3)，设置在五维运动平台(2)上；/n光开关(31)，设置在飞秒激光器(3)的激光传播路径上，通过移动来阻断和打开激光传播；/n三维运动平台(4)，与控制器(1)通信连接；/n样品台(5)，设置在三维运动平台(4)，用于放置待加工的样品；/n激光反射镜(6)，设置在飞秒激光器(3)的激光传播路径上，用于改变激光的传播方向而将激光反射至样品上；/n聚焦透镜(7)，设置在样品台(5)上用于放置样品的位置上方，用于聚焦激光；/n摄像头(8)，设置在聚焦透镜(7)的上方。...

【技术特征摘要】
1.一种飞秒激光双光子微加工装置，其特征在于：包括
控制器(1)；
五维运动平台(2)，与控制器(1)通信连接；
飞秒激光器(3)，设置在五维运动平台(2)上；
光开关(31)，设置在飞秒激光器(3)的激光传播路径上，通过移动来阻断和打开激光传播；
三维运动平台(4)，与控制器(1)通信连接；
样品台(5)，设置在三维运动平台(4)，用于放置待加工的样品；
激光反射镜(6)，设置在飞秒激光器(3)的激光传播路径上，用于改变激光的传播方向而将激光反射至样品上；
聚焦透镜(7)，设置在样品台(5)上用于放置样品的位置上方，用于聚焦激光；
摄像头(8)，设置在聚焦透镜(7)的上方。


2.根据权利要求1所述的飞秒激光双光子微加工装置，其特征在于：还包括能够辅助照明样品的照明光源组。


3.根据权利要求2所述的飞秒激光双光子微加工装置，其特征在于：所述照明光源组包括用于自上方照明样品的第一照明光源(91)和自下方照明样品的第二照明光源(92)。


4.根据权利要求3所述的飞秒激光双光子微加工装置，其特征在于：所述样品台(5)的上方设置有能将第一照明光源(91)的照明光自样品上方反射至样品上的第一反射镜(911)；
所述样品台...

【专利技术属性】
技术研发人员：何子健，陶卫东，孟祥俊，陈显兵，
申请(专利权)人：宁波大学，宁波格特威电机有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33