三轴扫描振镜激光装置、电池片加工设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了三轴扫描振镜激光装置、电池片加工设备，其中三轴扫描振镜激光装置包括激光器（1）、第一反射镜（31）、第二反射镜（32）、扩束整形器（2）和三轴扫描振镜（3）；所述激光器发射的激光束（4）依次经过第一反射镜、第二反射镜、扩束整形器、Z轴移动聚焦透镜、X轴旋转振镜和Y轴旋转振镜后射向多个加工平台；本实用新型专利技术用一个激光器发出的激光束通过三轴扫描振镜，依次射向多个加工平台，轮流加工位于多个加工平台上的晶圆，降低了整套设备的总成本，节省了用未加工晶圆替换已加工晶圆的时间，减少激光加工等待的时间，提升激光的使用率，增加激光设备产能至8000‑8500片每小时。

Three axis scanning galvanometer laser device and battery chip processing equipment

【技术实现步骤摘要】
三轴扫描振镜激光装置、电池片加工设备
本技术涉及太阳能光伏行业中PERC/SE技术的电池片的加工设备，尤其涉及一种三轴扫描振镜激光装置、以及具有该激光装置的电池片加工设备。
技术介绍
自20世纪70年代全球爆发石油危机以来，太阳能光伏发电技术在西方发达国家引起了高度重视，各国政府从环境保护和能源可持续发展战略的角度出发，纷纷制定政策鼓励和支持太阳能光伏发电技术，光伏行业在全球迅速发展，除结晶硅太阳能电池、非结晶硅太阳能电池外，还出现了各种化合物半导体太阳能电池，以及由两种太阳能电池构成的层积型太阳能电池等新型太阳能电池。太阳能因其具有清洁性和可再生性，成为了替代传统能源的最佳方案之一。随着多年来的研究和技术开发，太阳能光伏组件价格已大幅下降，且太阳能转化效率也得以提高使得太阳能光伏发电的商业化开发与应用成为可能。目前，光伏行业正在由粗放式向精细化发展的新阶段，由拼规模、拼速度、拼价格向拼质量、拼技术、拼效益转变的新阶段，由补贴依赖向逐渐实现平价转变的新阶段。天合光能董事长兼首席执行官高纪凡也指出，未来十年，我国的光伏行业应该追求高质量发本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种三轴扫描振镜激光装置，包括激光器（1），其特征在于，还包括第一反射镜（31）、第二反射镜（32）、扩束整形器（2）和三轴扫描振镜（3）；所述三轴扫描振镜包括Z轴移动聚焦透镜（3a）、X轴旋转振镜（3b）和Y轴旋转振镜（3c），所述激光器发射的激光束（4）依次经过第一反射镜、第二反射镜、扩束整形器、Z轴移动聚焦透镜、X轴旋转振镜和Y轴旋转振镜后射向多个加工平台；工控机控制所述激光器、Z轴移动聚焦透镜、X轴旋转振镜和Y轴旋转振镜工作。/n

【技术特征摘要】
1.一种三轴扫描振镜激光装置，包括激光器（1），其特征在于，还包括第一反射镜（31）、第二反射镜（32）、扩束整形器（2）和三轴扫描振镜（3）；所述三轴扫描振镜包括Z轴移动聚焦透镜（3a）、X轴旋转振镜（3b）和Y轴旋转振镜（3c），所述激光器发射的激光束（4）依次经过第一反射镜、第二反射镜、扩束整形器、Z轴移动聚焦透镜、X轴旋转振镜和Y轴旋转振镜后射向多个加工平台；工控机控制所述激光器、Z轴移动聚焦透镜、X轴旋转振镜和Y轴旋转振镜工作。


2.一种电池片加工设备，其特征在于，包括权利要求1所述的三轴扫描振镜激光装置，在三轴扫描振镜激光装置的下方分别设有A平台（6）和B平台（7），以及用未加工的晶圆替换A平台上已加工的晶圆的A流道，用未加工的晶圆替换B平台上已加工的晶圆的B流道；所述三轴扫描振镜激光装置轮流加工位于A平台和B平台上的晶圆；所述A平台和B平台下方分别设有定位相机模块（10），所述定位相机模块将晶圆位置信息发给所述工控机。


3.如权利要求2所述的电池片加工设备，其特征在于，所述A平台（6）包括A1平台（6a）和A2平台（6b），所述B平台（7）包括B1平台（7a）B2平台（7b），每个平台下方分别设有定位相机模块（10）。


4.如权利要求3所述的电池片加工设备，其特征在于，所述A平台（6）和B平台...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗搏飞，冼志军，周志豪，
申请(专利权)人：常州捷佳创智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32