一种自动物料搬送设备及方法技术

一种自动物料搬送设备及方法，自动物料搬送设备包括天车、承载板、光电感测机构及反射机构。光电感测机构安装于天车上。反射机构包括触发部、反射板及传动部，反射板和传动部位于承载板的下方，触发部与反射板通过传动部连接，触发部能够相对于承载板上下活动，第一表面无物料时，触发部的一端突出于承载板的第一表面，反射板处于第一位置；承载板第一表面存在物料时，触发部的一端被物料下压并向下运动，通过传动部带动反射板活动至第二位置；反射板处于第一位置时，反射板能够接收来自光电感测机构的光线，光电感测机构产生第一信号；反射板处于第二位置时，反射板不能接收来自光电感测机构的光线，光电感测机构产生第二信号。

An automatic material conveying equipment and method

【技术实现步骤摘要】
一种自动物料搬送设备及方法
本专利技术涉及半导体制造领域，特别涉及半导体集成电路制造所使用的自动搬运系统。
技术介绍
在半导体制程中，需要在不同工序之间转移晶圆，为避免晶圆被污染或损坏，通常是将晶圆放入晶圆盒中，以晶圆盒承载晶圆，实现晶圆的转移。通常，通过自动物料搬送系统(AMHS，AutomatedMaterialHandlingSystem)实现晶圆的转移。自动物料搬送系统包括自动化天车(OHT，overheadhoisttransfer)及承载板。天车能够沿着轨道移动，承载板位于晶圆盒存储位。自动化天车将晶圆盒放置到承载板上前，需要首先对承载板上是否存在有晶圆盒进行确认，以避免出现在承载板上已存在晶圆盒的情况下，再次放置晶圆盒的情形，即，二重搬入。
技术实现思路
基于上述问题，本专利技术提供了一种自动物料搬送设备及方法，其能够准确感测晶圆盒是否存在，即便晶圆盒内无晶片，也不会产生误判情况。为达成上述目的，本专利技术提供一种自动物料搬送设备，包括天车、承载板、光电感测机构及反射机构。天车可活动地安装于天车轨道。承载板位于天车下方，具有相对的第一表面和第二表面，第一表面用于承载物料。光电感测机构安装于天车上。反射机构包括触发部、反射板及传动部，反射板和传动部位于承载板的下方，触发部与反射板通过传动部连接，触发部能够相对于承载板上下活动，第一表面无物料时，触发部的一端突出于承载板的第一表面，反射板处于第一位置；承载板第一表面存在物料时，触发部的一端被物料下压并向下运动，通过传动部带动反射板活动至第二位置；反射板处于第一位置时，反射板能够接收来自光电感测机构的光线，并将光线反射回光电感测机构，光电感测机构产生第一信号；反射板处于第二位置时，反射板不能接收来自光电感测机构的光线，光电感测机构产生第二信号。根据一实施例，传动部包括第一啮合部和第二啮合部，第一啮合部与触发部固定连接，第二啮合部与反射板连接，第一啮合部和第二啮合部啮合，触发部运动过程中能够经由第一啮合部和第二啮合部的传动使得反射板在第一位置与第二位置之间活动。根据一实施例，第一啮合部为齿条，第二啮合部为齿轮。根据一实施例，反射机构还包括安装座、连动杆及轴承，轴承装配于连动杆，反射板通过连动杆与安装座可旋转的连接，安装座44设置于承载板的第二表面，第二啮合部与连动杆固定连接，第二啮合部旋转过程中能够带动反射板在第一位置与第二位置之间旋转。根据一实施例，第一啮合部的一端与触发部的另一端固定连接，并与触发部同轴，反射机构还包括止挡部，止挡部固定于第一啮合部的一端，反射板处于第一位置时，止挡部抵顶于第二表面。根据一实施例，反射机构还包括弹性部，其与触发部连接，触发部未受外力被下压时，反射板处于第一位置，弹性部处于自由状态；触发部受外力被下压时，反射板处于第二位置，弹性部发生形变；外力撤销后，触发部通过弹性部的弹性恢复力上升，使得反射板恢复处于第一位置。根据一实施例，安装座的数量为一对，其对称的设置于反射板的相对两侧，传动部邻近其中一安装座。根据一实施例，反射板处于第一位置时，反射板与承载板相互平行；反射板处于第二位置时，反射板与承载板的夹角为80°至100°。根据一实施例，反射板处于第一位置时，反射板处于水平位置；反射板处于第二位置时，反射板与水平位置相互垂直。根据一实施例，反射板处于第二位置时，反射板处于竖直位置。根据一实施例，反射机构的数量为一个或多个。根据一实施例，反射机构的数量为一个，其位于承载板的中部的下方。根据一实施例，反射机构的数量为多个，其在承载板的中部的下方均匀分布。根据一实施例，反射板的表面具有反光材料。根据一实施例，还包括控制机构，所述控制机构能够响应于所述第一信号控制所述天车的抓取机构下放物料，以及能够响应于所述第二信号控制所述天车移至下一个下放工位。本专利技术另一方面，提供一种自动物料搬送方法，其利用上述的自动物料搬送设备执行，包括：天车移至一工位的承载板上方，根据光电感测机构发出的信号，控制所述天车动作；其中，当所述光电感测机构产生第一信号时，控制所述天车的抓取机构在所述工位下放物料；当光电感测机构产生第二信号时，控制天车移至下一工位。本专利技术相较于现有技术的有益效果在于：本专利技术的反射板能够基于是否有晶圆盒的情况而改变自身位置，使得光电感测机构产生对应的感测信号。相比于相关技术中反射板固定不动的自动物料搬送系统，本专利技术的自动物料搬送设备能够准确感测晶圆盒是否存在，即便晶圆盒内无晶片，也不会产生误判情况。并且，本专利技术的结构简单，容易实施。附图说明图1为相关技术中的自动物料搬送系统的示意图。图2为相关技术中的自动物料搬送系统的承载板的及反射板的俯视图。图3为相关技术中的自动物料搬送系统的承载板的及反射板的侧视图。图4为相关技术中的自动物料搬送系统的二重搬入感测器检测到晶圆盒的示意图。图5为相关技术中的自动物料搬送系统的二重搬入感测器发生误检的示意图。图6为本公开一实施例的自动物料搬送设备的示意图。图7为本公开一实施例的自动物料搬送设备的示意图，其中，反射板处于第一位置。图8为本公开一实施例的自动物料搬送设备的示意图，其中，反射板处于第二位置。图9为本公开一实施例的自动物料搬送设备的承载板及反射板的俯视图，其中，反射板处于第一位置。图10为本公开一实施例的自动物料搬送设备的承载板及反射板的侧视图，其中，反射板处于第一位置。图11为本公开一实施例的自动物料搬送设备的承载板及反射板的侧视图，其中，反射板处于第二位置。图12为图10中A部分的局部放大图。图13为图11中B部分的局部放大图。图14为自动物料搬送方法的流程图。具体实施方式现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本专利技术更全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中，为了清晰，可能夸大了区域和层的厚度。在图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。此外，所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本专利技术的实施例的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本专利技术的技术方案而没有所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、材料等。在其它情况下，不详细示出或描述公知结构、材料或者操作以避免模糊本专利技术的主要技术创意。相关技术中，为了避免出现二重搬入，提出了以下自动物料搬送系统：参照图1至图4，自动物料搬送系统包括自动化天车1、承载板2、二重搬入感测器3及反射板4。二重搬入感测器3安装于自动化天车1的顶部，反射板4位于承载板2的底部。二重搬入感测器3为光电传感器。当承载本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动物料搬送设备，其特征在于，包括：/n天车，可活动地安装于天车轨道；/n承载板，位于所述天车下方，具有相对的第一表面和第二表面，所述第一表面用于承载物料；/n光电感测机构，安装于所述天车上；及/n反射机构，包括触发部、反射板及传动部，所述反射板和所述传动部位于所述承载板的下方，所述触发部与所述反射板通过所述传动部连接，所述触发部能够相对于所述承载板上下活动，所述第一表面无物料时，所述触发部的一端突出于所述承载板的所述第一表面，所述反射板处于第一位置；所述承载板的所述第一表面存在所述物料时，所述触发部的一端被所述物料下压并向下运动，通过所述传动部带动所述反射板活动至第二位置；所述反射板处于所述第一位置时，所述反射板能够接收来自所述光电感测机构的光线，并将光线反射回所述光电感测机构，所述光电感测机构产生第一信号；所述反射板处于所述第二位置时，所述反射板不能接收来自所述光电感测机构的光线，所述光电感测机构产生第二信号。/n

【技术特征摘要】
1.一种自动物料搬送设备，其特征在于，包括：
天车，可活动地安装于天车轨道；
承载板，位于所述天车下方，具有相对的第一表面和第二表面，所述第一表面用于承载物料；
光电感测机构，安装于所述天车上；及
反射机构，包括触发部、反射板及传动部，所述反射板和所述传动部位于所述承载板的下方，所述触发部与所述反射板通过所述传动部连接，所述触发部能够相对于所述承载板上下活动，所述第一表面无物料时，所述触发部的一端突出于所述承载板的所述第一表面，所述反射板处于第一位置；所述承载板的所述第一表面存在所述物料时，所述触发部的一端被所述物料下压并向下运动，通过所述传动部带动所述反射板活动至第二位置；所述反射板处于所述第一位置时，所述反射板能够接收来自所述光电感测机构的光线，并将光线反射回所述光电感测机构，所述光电感测机构产生第一信号；所述反射板处于所述第二位置时，所述反射板不能接收来自所述光电感测机构的光线，所述光电感测机构产生第二信号。


2.根据权利要求1所述的自动物料搬送设备，其特征在于，所述传动部包括第一啮合部和第二啮合部，所述第一啮合部与所述触发部固定连接，所述第二啮合部与所述反射板连接，所述第一啮合部和所述第二啮合部啮合，所述触发部运动过程中能够经由所述第一啮合部和所述第二啮合部的传动使得所述反射板在所述第一位置与所述第二位置之间活动。


3.根据权利要求2所述的自动物料搬送设备，其特征在于，所述第一啮合部为齿条，所述第二啮合部为齿轮。


4.根据权利要求3所述的自动物料搬送设备，其特征在于，所述反射机构还包括安装座、连动杆及轴承，所述轴承装配于所述连动杆，所述反射板通过所述连动杆与所述安装座可旋转的连接，所述安装座设置于所述承载板的所述第二表面，所述第二啮合部与所述连动杆固定连接，所述第二啮合部旋转过程中能够带动所述反射板在所述第一位置与所述第二位置之间旋转。


5.根据权利要求4所述的自动物料搬送设备，其特征在于，所述第一啮合部的一端与所述触发部的另一端固定连接，并与所述触发部同轴，所述反射机构还包括止挡部，所述止挡部固定于所述第一啮合部的一端，所述反射板处于所述第一位置时，所述止挡部抵顶于所述第二表面。


6.根据权利要求4所述的自动物料搬送设备，其特征在于，所述反射机构还包括弹性部，其与所述触发部连接，所述触发...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦晓峰，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34