一种高效VUV光电离源及应用制造技术

一种圆环形直流VUV光电离源，包括中空的密闭圆筒状石英管，石英管内圆筒状腔室作为放电腔，于石英管外壁上穿套有三个相互间隔的圆环形放电电极，三个圆环形放电电极与石英管同轴；沿石英管轴向设置的三个圆环形放电电极分别为第一圆环状放电电极和第二圆环状放电电极及第三圆环状电极；第一圆环状放电电极为地电极，第二圆环状放电电极为高压电极，分别与直流电源的接地端和高压输出端相连，位于第一圆环状放电电极和第二圆环状放电电极之间的第三圆环状电极与射频电源相连；所述第一圆环状放电电极与第三圆环状电极之间、第二圆环状放电电极与第三圆环状电极间通过圆环状绝缘介质绝缘间隔。

An efficient VUV photoionization source and its application

【技术实现步骤摘要】
一种高效VUV光电离源及应用
本专利技术涉及分析仪器中的电离源，具体地说是一种高效VUV光电离源技术，具体讲是具有低触发低压和低噪音干扰，通过三电极结构分别连接射频电源和直流电源，利用射频电场实现低击穿电压，而后利用直流电场维持放电稳定避免射频场产生的高噪音，有利于减小仪器的体积和重量，便于实现产业化推广。
技术介绍
离子迁移谱是20世纪70年代发展起来的一种检测技术，其分离原理是通过气态离子的迁移率来表征各种不同的化合物。它具有探测灵敏度高、测量响应快、仪器体积小、造价低等优点，目前已广泛应用于化学毒剂、毒品、危险品和大气环境中的挥发性有机污染物的检测。电离源是离子迁移谱等分析仪器的关键技术之一。传统的离子迁移谱常用的电离源是放射性63Ni电离源。63Ni能够放射出平均能量为17Kev的β射线，与载气经过一系列复杂的反应，最后形成试剂离子H3O+(正离子检测模式)和O2_(负离子检测模式)，试剂离子再与待测样品反应，使得待测样品得到电离。放射性63Ni电离源由于其简单、稳定、无需外部供电等优点而得到科学家的青睐，但是由于其放射性带来的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种圆环形直流VUV光电离源，其特征在于：/n包括中空的密闭圆筒状石英管，石英管内圆筒状腔室作为放电腔(1)，于石英管外壁上穿套有三个相互间隔的圆环形放电电极，三个圆环形放电电极与石英管同轴；所述放电腔(1)内充满氮气和/或惰性气体；所述石英管的至少一端端面是采用透真空紫外光材料制成的光学窗口(4)；沿石英管轴向设置的三个圆环形放电电极分别为第一圆环状放电电极(2)和第二圆环状放电电极(3)及第三圆环状电极(9)；第一圆环状放电电极(2)为地电极，第二圆环状放电电极(3)为高压电极，分别与直流电源的接地端和高压输出端相连，位于第一圆环状放电电极(2)和第二圆环状放电电极(3)之间的第三圆环...

【技术特征摘要】
1.一种圆环形直流VUV光电离源，其特征在于：
包括中空的密闭圆筒状石英管，石英管内圆筒状腔室作为放电腔(1)，于石英管外壁上穿套有三个相互间隔的圆环形放电电极，三个圆环形放电电极与石英管同轴；所述放电腔(1)内充满氮气和/或惰性气体；所述石英管的至少一端端面是采用透真空紫外光材料制成的光学窗口(4)；沿石英管轴向设置的三个圆环形放电电极分别为第一圆环状放电电极(2)和第二圆环状放电电极(3)及第三圆环状电极(9)；第一圆环状放电电极(2)为地电极，第二圆环状放电电极(3)为高压电极，分别与直流电源的接地端和高压输出端相连，位于第一圆环状放电电极(2)和第二圆环状放电电极(3)之间的第三圆环状电极(9)与射频电源相连；所述第一圆环状放电电极(2)与第三圆环状电极(9)之间、第二圆环状放电电极(3)与第三圆环状电极(9)之间通过圆环状绝缘介质(8)绝缘间隔。


2.根据权利要求1所述电离源，其特征在于：所述第三圆环状电极(9)与距离更近的第一圆环状放电电极(2)或第二圆环状放电电极(3)之间在射频场作用下击穿放电形成启动放电区，从而引发在第一圆环状放电电极(2)或第二圆环状放电电极(3)之间在低电压实现放电击穿，通过光学窗口(4)发射VUV光。

【专利技术属性】
技术研发人员：王卫国，仓怀文，李京华，李海洋，
申请(专利权)人：中国科学院大连化学物理研究所，
类型：发明
国别省市：辽宁;21