用于测试被测设备的测试插座制造技术

提供了一种测试插座，该测试插座将具有多个端子的被测设备电连接到测试装置的测试板。测试插座包括多个插针、针支撑件、弹性导电片、壳体、推动器和锁存设备。多个插针被连接到测试板。针支撑件被设置在测试板上，并且将多个插针保持在垂直定向上。弹性导电片可拆卸地安装在针支撑件的顶部上，而被测设备被安置在弹性导电片上。弹性导电片包括在垂直方向上与多个端子和多个插针接触的多个弹性导电部分。壳体耦合至针支撑件并且容纳弹性导电片。推动器耦合至壳体以便可在垂直方向上移动。锁存设备可操作性地连接到壳体和推动器，并且与推动器的运动互锁而可释放地将被测设备固定到弹性导电片。

Test socket for testing equipment under test

【技术实现步骤摘要】
用于测试被测设备的测试插座
本公开涉及测试插座，该测试插座电连接被测设备和测试装置。
技术介绍
测试插座在半导体器件的测试过程中使用。测试插座电连接半导体器件和测试装置。测试插座被安装在测试装置上，并容纳待测试的半导体器件。测试插座与半导体器件和测试装置接触。测试插座将测试装置的测试信号传送到半导体器件，并将半导体器件的回复信号传送到测试装置。通过在半导体器件的测试之中的老化测试，能够测试半导体芯片的功能。同样，可以检查半导体芯片是否在高温下异常地工作。在老化测试期间，半导体器件在将高温和高电场施加到半导体器件的环境下工作。因此，发生故障的半导体器件在老化测试的过程中不能承受恶劣条件，因此产生故障。已通过老化测试的无缺陷半导体器件能够确保长期使用寿命。韩国专利申请公开第10-2012-0054548号提出了一种可用于此类老化测试的测试插座。
技术实现思路
由本专利技术所解决的问题在用于老化测试的常规测试插座中，金属制的插针直接与半导体器件的端子和测试装置的端子接触，并且插针通过焊接接合到测试装置的端子。根据此类测试插座，由于插针与半导体器件的端子之间的直接接触，因此插针损坏了半导体器件的端子，并且在执行了许多测试之后，插针被损坏。要更换损坏的插针，必须将测试插座与测试装置分离开。由于插针被接合到测试装置，因此有必要将热量施加到测试装置并且然后将插针与测试装置分离开。除此之外，还有必要将未使用的插针接合到测试装置。此外，频繁施加到测试装置的热损伤会缩短测试装置的使用寿命。用于老化测试的常规测试插座采用相对长的插针，并且进一步采用用于将插针连接到用于老化测试的印刷电路板的连接器结构。因此，半导体器件的端子与测试装置的端子之间的信号传输路径变长，从而导致测试特性的劣化。这样，用于老化测试的常规测试插座具有与半导体器件直接接触的插针。因此，常规测试插座损坏半导体器件或插针、或者损坏测试装置。同样，常规测试插座增加维护成本并且不确保容易的更换工作。此外，用于老化测试的常规测试插座具有相对长的信号传输路径，并且不保证由此的高度可靠的测试。本公开的一个实施例提供了一种测试插座，该测试插座不损坏被测设备，并且可通过仅更换部分来重复使用。本公开的一个实施例提供了一种测试插座，该测试插座具有被测设备与测试装置之间的最短信号传输路径。解决这些问题的手段本公开的实施例涉及一种测试插座，该测试插座将具有多个端子的被测设备电连接到测试装置的测试板。根据一个实施例的测试插座包括多个插针、针支撑件、弹性导电片、壳体、推动器和锁存设备。多个插针被连接到测试板。针支撑件被设置在测试板上，并且将多个插针保持在垂直定向上。弹性导电片可拆卸地安装在针支撑件的顶部上，而被测设备被安置在弹性导电片上。弹性导电片包括在垂直方向上与多个端子和多个插针接触的多个弹性导电部分。壳体耦合至针支撑件并且容纳弹性导电片。推动器耦合至壳体以便可在垂直方向上移动。锁存设备可操作性地连接到壳体和推动器，并且通过与推动器的运动互锁来将被测设备可释放地固定到弹性导电片。在一个实施例中，通过在垂直方向上彼此接触的多个弹性导电部分和多个插针，在垂直方向上形成多个端子与测试板之间的信号传输路径。在一个实施例中，针支撑件包括：针框，其将多个插针保持在垂直定向；以及多个针孔，多个插针分别嵌合到这些针孔，这些针孔从针框的上表面贯穿针框到针框的下表面。在一个实施例中，针支撑件进一步包括支撑框，该支撑框被安装在测试板上并且支撑针框。壳体被配置成用于容纳弹性导电片和针框，并且可释放地耦合至支撑框。在一个实施例中，支撑框包括上表面和从上表面突出的多个配合突起。壳体包括：下表面，其通过表面接触而与支撑框的上表面接触；以及多个配合凹槽，其从下表面凹入，并且多个配合突起被嵌合到配合凹槽中。在一个实施例中，支撑框可包括可释放地耦合至针框的弹性接合部分。支撑框可包括可释放地耦合至壳体的弹性接合部分。壳体可以通过螺栓可释放地耦合至支撑框。在一个实施例中，弹性导电片包括第一配合部分，并且针支撑件包括可与第一配合部分配合的第二配合部分。因此，通过第一配合部分和第二配合部分的配合，弹性导电片可拆卸地安装在针支撑件上。第一配合部分可包括形成在弹性导电片中的配合孔，并且第二配合部分可包括嵌合到配合孔的配合突起。配合孔可具有圆形、三角形、四边形、五边形、六边形和椭圆形中的一种。在一个实施例中，弹性导电片包括：弹性绝缘部分，其在水平方向上将多个弹性导电部分间隔开且绝缘，并且由弹性聚合物材料构成；以及框架构件，其支撑弹性绝缘部分。壳体包括从壳体的上表面突出且覆盖框架构件的罩部分。在一个实施例中，测试插座包括设置在壳体与推动器之间的偏置设备。偏置设备将推动器向上偏置，以将推动被测设备的力施加到锁存设备。在一个实施例中，锁存设备被配置用于通过与推动器的向上运动互锁而将被测设备朝向弹性导电片推动，并且通过与推动器的向下运动互锁而释放被测设备的推动。本专利技术的作用根据本公开的一个实施例的测试插座具有弹性导电片，该弹性导电片被设置在被测设备与插针之间且与它们两者连接。弹性导电片吸收在被测设备的测试期间产生的外力，从而防止在被测设备的测试期间对插针和测试板的损坏。根据一个实施例中的测试插座，当弹性导电片达到其使用寿命时，可以在测试现场容易地更换弹性导电片。根据一个实施例中的测试插座，在垂直方向上彼此接触的插针和弹性导电部分在垂直方向上形成直线信号传输路径。因此，测试插座设置有被测设备与测试板之间的最短信号传输路径。根据一个实施例中的测试插座，壳体和针支撑件彼此配合且通过可释放的接合耦合彼此耦合。因此，壳体可以以最小高度容纳弹性导电片。因此，根据一个实施例的测试插座可以具有具有减小的高度尺寸的紧凑结构且使得部件能够容易地且精确地被耦合。根据一个实施例中的测试插座，弹性导电片和针支撑件通过配合组件彼此配合，并且因此测试插座实现了弹性导电部分和插针的容易且精确的对准。附图说明图1示意性地示出了应用根据一个实施例的测试插座的示例。图2是根据一个实施例的测试插座的透视图。图3是沿图2的线3-3所得到的剖视图。图4是根据一个实施例的测试插座的局部分解透视图。图5是示出根据一个实施例的弹性导电片和针框的透视图。图6是示出图5所示的弹性导电片的一部分的放大透视图。图7是根据一个实施例的测试插座的另一局部透视图。图8是类似于图3的剖视图并且示出了被测设备被安置在弹性导电片上。图9是根据进一步实施例的测试插座的分解透视图。图10A是示出弹性导电片的配合孔的一个示例的透视图。图10B是示出弹性导电片的配合孔的进一步示例的透视图。图10C是示出弹性导电片的配合孔的另一个示例的透视图。图10D是示出弹性导电片的配合孔的另一个示例的透视图。图10E是示出弹性导电片的配合孔的另一个示例的透视图。图10F是示出弹性导电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于将具有多个端子的被测设备电连接到测试装置的测试板的测试插座，所述测试插座包括：/n多个插针，所述多个插针连接到所述测试板；/n针支撑件，所述针支撑件设置在所述测试板上，并且将所述多个插针保持在垂直定向上；/n弹性导电片，所述被测设备被安置在所述弹性导电片上，所述弹性导电片可拆卸地安装在所述针支撑件的顶部上并且包括在垂直方向上与所述多个端子和所述多个插针接触的多个弹性导电部分；/n壳体，所述壳体耦合至所述针支撑件并且容纳所述弹性导电片；/n推动器，所述推动器耦合至所述壳体以便可在所述垂直方向上移动；以及/n锁存设备，所述锁存设备可操作性地连接到所述壳体和所述推动器，并且与所述推动器的运动互锁而可释放地将所述被测设备固定到所述弹性导电片。/n

【技术特征摘要】
20181122 KR 10-2018-01450531.一种用于将具有多个端子的被测设备电连接到测试装置的测试板的测试插座，所述测试插座包括：
多个插针，所述多个插针连接到所述测试板；
针支撑件，所述针支撑件设置在所述测试板上，并且将所述多个插针保持在垂直定向上；
弹性导电片，所述被测设备被安置在所述弹性导电片上，所述弹性导电片可拆卸地安装在所述针支撑件的顶部上并且包括在垂直方向上与所述多个端子和所述多个插针接触的多个弹性导电部分；
壳体，所述壳体耦合至所述针支撑件并且容纳所述弹性导电片；
推动器，所述推动器耦合至所述壳体以便可在所述垂直方向上移动；以及
锁存设备，所述锁存设备可操作性地连接到所述壳体和所述推动器，并且与所述推动器的运动互锁而可释放地将所述被测设备固定到所述弹性导电片。


2.如权利要求1所述的测试插座，其中通过在所述垂直方向上彼此接触的所述多个弹性导电部分和所述多个插针，在所述垂直方向上形成所述多个端子与所述测试板之间的信号传输路径。


3.如权利要求1所述的测试插座，其中所述针支撑件包括针框，所述针框在所述垂直定向处保持所述多个插针，以及
其中，所述多个插针分别嵌合到的多个针孔从所述针框的上表面贯穿针框到所述针框的下表面。


4.如权利要求3所述的测试插座，其中所述针支撑件进一步包括支撑框，所述支撑框被安装在所述测试板上并支撑所述针框，以及
其中所述壳体被配置成用于容纳所述弹性导电片和所述针框，并且可释放地耦合至所述支撑框。


5.如权利要求4所述的测试插座，其中所述支撑框包括上表面和从所述上表面突出的多个配合突起，以及
其中壳体包括：下表面，所述下表面通过表面接触而与所述支撑框的所述上表面接触；以及多个配合凹槽，所述多个配合凹槽从所述下表面凹入，并且所述多个配合突起嵌合到所...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑永倍，
申请(专利权)人：株式会社ISC，
类型：发明
国别省市：韩国;KR